一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座，应用于化学气相沉积设备技术领域，本实用新型专利技术通过在固定座的内部对称开设四个螺纹孔，并且在螺纹孔的内部均设置有螺栓，使固定座与镀膜加热器的固定面积增大，从而原先的两点固定改为现在的整个圆环接触的设置，实现了提高固定座对玻璃支撑棒牢固性的效果，从而解决固定座固定玻璃支撑棒不牢的问题，提高提升化学气相沉积设备的有效稼动时间，延长化学气相设备的检修周期。延长化学气相设备的检修周期。延长化学气相设备的检修周期。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座


[0001]本技术属于化学气相沉积设备
，特别涉及一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座。

技术介绍

[0002]化学气相沉积，是利用气态的物质在气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，是半导体工业中，不可或缺的过程，液晶半导体产业，设计加热器以利对玻璃载体加热，为了不让玻璃镀膜产生不均匀，造成各种痕迹现象，设计陶瓷顶棒支撐，可以减少接触面积。
[0003]目前，公开号为：CN208266999U的中国技术，公开了一种固定座，包括与墙面相配合的本体，所述本体包括一连接管，所述连接管中部远离墙面一侧向墙面凹陷形成缺口部，位于缺口部两旁侧的连接管内设置有用于夹住直管的抱紧件，所述连接管的两旁侧设置有用于控制抱紧件移动的旋钮，该固定座是一种直扣式固定座，安装或拆卸时方便快捷，可以搭配不同规格直管使用。
[0004]原有结构锁附位置局限两点位置,玻璃支撑棒运动位移存在偏移量,会有超出鍍膜玻璃的安全接触区域,玻璃支撑棒触碰鍍膜层而造成的破坏,此破坏会产生不均匀缺陷,刮伤或破片等风险玻璃，支撑棒运动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)的内部开通有插孔(4)，所述插孔(4)的表面对称设置有四个开通在固定座(1)内部的螺纹孔(2)，所述螺纹孔(2)的内部螺纹连接有螺栓(3)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱善农，吕正一，
申请(专利权)人：惠州市泰鸿精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：