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本实用新型公开了一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座,应用于化学气相沉积设备技术领域,本实用新型通过在固定座的内部对称开设四个螺纹孔,并且在螺纹孔的内部均设置有螺栓,使固定座与镀膜加热器的固定面积增大,从而原先的两点固定改为现在的整个圆环接...该专利属于惠州市泰鸿精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠州市泰鸿精密机械有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种镀膜加热器玻璃支撑棒防偏移固定座,应用于化学气相沉积设备技术领域,本实用新型通过在固定座的内部对称开设四个螺纹孔,并且在螺纹孔的内部均设置有螺栓,使固定座与镀膜加热器的固定面积增大,从而原先的两点固定改为现在的整个圆环接...