一种电阻蒸发水冷电极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电阻蒸发水冷电极，包括电极板，所述电极板的左右两端均固定连接有两个引出脚，所述电极板的上端中部贯穿转动安装有旋转组件，所述旋转组件的上端卡接有电极，所述电极的外表面下部固定连接有卡板，所述电极的下端固定连接有第一安装座，所述第一安装座的外表面固定连接有四个第一连接块，且四个第一连接块呈环形等角度分布，四个所述第一连接块的上端均贯穿开设有第一连接孔，所述电极的下端固定连接有水冷组件。本实用新型专利技术所述的一种电阻蒸发水冷电极，通过设置旋转组件，达到用于多位式阻蒸设备，有效的提高了本实用新型专利技术的使用的范围的目的；通过设置水冷组件，达到快速冷却电极内部、放置电极过热损坏的目的。的目的。的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种电阻蒸发水冷电极


[0001]本技术涉及蒸发器用电极
，特别涉及一种电阻蒸发水冷电极。

技术介绍

[0002]阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜。为了提高靶材的蒸发速度，工作人员便会为用于蒸发靶材的蒸发舟提供高电流，使蒸发舟的温度快速达到靶材的蒸发温度，从而不仅提高了靶材的蒸发速度，也提高了阻蒸镀膜的效率。
[0003]然而，加载到电极装置上的电流越高，其电极装置的温度就越高，现有的电极装置不能在工作中不能进行自动冷却，导致电极装置的温度可高达1000℃左右，致使电极装置内的绝缘和密封部件易被高温损坏，从而极大的缩短了电极装置的使用寿命，且现有电极无法做到旋转，致使其适用范围大大降低。故此，我们提出一种电阻蒸发水冷电极。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种电阻蒸发水冷电极，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种电阻蒸发水冷电极，包括电极板，所述电极板的左右两端均固定连接有两个引出脚，四个所述引出脚两两呈左右对称分布，所述电极板的上端中部贯穿转动安装有旋转组件，所述旋转组件的上端卡接有电极，所述电极的外表面下部固定连接有卡板，所述电极的下端固定连接有第一安装座，所述第一安装座的外表面固定连接有四个第一连接块，且四个第一连接块呈环形等角度分布，四个所述第一连接块的上端均贯穿开设有第一连接孔，所述电极的下端固定连接有水冷组件。
[0007]优选的，所述旋转组件包括轴承，所述轴承的内表面固定连接有连接座，
[0008]所述连接座的上端开设有避让槽与卡槽，且卡槽呈环形结构。
[0009]优选的，所述连接座的直径尺寸与轴承的内径尺寸相等，所述轴承的尺寸与电极板的尺寸相适配，所述卡槽的尺寸与卡板的尺寸相适配，所述避让槽的内径尺寸大于第一安装座的直径尺寸。
[0010]优选的，所述水冷组件包括第二安装座，所述第二安装座的外表面固定连接有四个第二连接块，四个所述第二连接块的上端均贯穿开设有第二连接孔，所述第二安装座的上端固定连接有四个水冷管，四个所述水冷管的下端共同贯穿第二安装座并固定连接有控制器。
[0011]优选的，所述控制器的尺寸小于第二安装座的直径尺寸，四个所述水冷管呈环形等角度分布。
[0012]优选的，四个所述第二连接孔与四个第一连接孔的位置和尺寸对应相适配，所述
第二安装座的直径尺寸与第一安装座的直径尺寸相等。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]一、本技术通过设置旋转组件，利用轴承对电极整体进行旋转，电极利用卡接的方式安装在安装座上，方便后期拆卸安装，同时电极可旋转，
[0015]达到用于多位式阻蒸设备，有效的提高了本技术的使用的范围的目的；
[0016]二、本技术通过设置水冷组件，利用第二安装座与第一安装座相连接使该组件安装在电极的下端，水冷组件由于设置有水冷管，并通过控制器控制水冷管内部的水循环，达到快速冷却电极内部、放置电极过热损坏的目的。
附图说明
[0017]图1为本技术一种电阻蒸发水冷电极的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术一种电阻蒸发水冷电极的固定部件的结构示意图；
[0019]图3为本技术一种电阻蒸发水冷电极旋转组件的结构示意图；
[0020]图4为本技术一种电阻蒸发水冷电极水冷组件的结构示意图。
[0021]图中：1、电极板；2、引出脚；3、旋转组件；4、电极；5、水冷组件；31、轴承；32、连接座；33、避让槽；34、卡槽；41、卡板；42、第一安装座；43、第一连接块；44、第一连接孔；51、第二安装座；52、第二连接块；53、第二连接孔；54、水冷管；55、控制器。
实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，
[0025]术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，
[0026]可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，
[0027]也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]如图1
‑
4所示，一种电阻蒸发水冷电极，包括电极板1，电极板1的左右两端均固定连接有两个引出脚2，四个引出脚2 两两呈左右对称分布，电极板1的上端中部贯穿转动安装有旋转组件3，旋转组件3的上端卡接有电极4，电极4的外表面下部固定连接有卡板41，电极4 的下端固定连接有第一安装座42，第一安装座42 的外表面固定连接有四个第一连接块43，且四个第一连接块43呈环形等角度分布，四个第一连接块43的上端均贯穿开设有第一连接孔44，电极4 的下端固定连接有水冷组件5。
[0029]在本实施例中，旋转组件3包括轴承31，轴承31的内表面固定连接有连接座32，连
接座32的上端开设有避让槽33与卡槽34，且卡槽34呈环形结构，连接座32的直径尺寸与轴承31的内径尺寸相等，轴承31 的尺寸与电极板1的尺寸相适配，卡槽34的尺寸与卡板41的尺寸相适配，避让槽33的内径尺寸大于第一安装座42的直径尺寸；为适应不同的使用场景，可利用旋转组件3对该设备进行转动，直接转动连接座32即可，连接座32通过轴承31与电极板1转动连接，轴承31使转动更加顺滑，同时连接座32的上端开设的卡槽34便于使用者快速拆装电极4，电极4利用卡板41卡接在连接座32内完成固定，设置的避让槽33 起到放置电子元器件的目的，为该设备的安装提供一定的空间。
[0030]在本实施例中，水冷组件5 包括第二安装座51，第二安装座51 的外表面固定连接有四个第二连接块52，四个第二连接块52 的上端均贯穿开设有第二连接孔53，第二安装座51 的上端固定连接有四个水冷管54，四个水冷管54的下端共同贯穿第二安装座51 并固定连接有控制器55，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻蒸发水冷电极，包括电极板（1），其特征在于：所述电极板（1）的左右两端均固定连接有两个引出脚（2），四个所述引出脚（2）两两呈左右对称分布，所述电极板（1）的上端中部贯穿转动安装有旋转组件（3），所述旋转组件（3）的上端卡接有电极（4），所述电极（4）的外表面下部固定连接有卡板（41），所述电极（4）的下端固定连接有第一安装座（42），所述第一安装座（42）的外表面固定连接有四个第一连接块（43），且四个第一连接块（43）呈环形等角度分布，四个所述第一连接块（43）的上端均贯穿开设有第一连接孔（44），所述电极（4）的下端固定连接有水冷组件（5）。2.根据权利要求1 所述的一种电阻蒸发水冷电极，其特征在于：所述旋转组件（3）包括轴承（31），所述轴承（31）的内表面固定连接有连接座（32），所述连接座（32）的上端开设有避让槽（33）与卡槽（34），且卡槽（34）呈环形结构。3.根据权利要求2 所述的一种电阻蒸发水冷电极，其特征在于：所述连接座（32）的直径尺寸与轴承（31）的内径尺寸...

【专利技术属性】
技术研发人员：张松林，
申请(专利权)人：四川超迈智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：