蒸镀坩埚和蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。其中，蒸镀坩埚包括：内坩埚和外坩埚，所述内坩埚用于容纳蒸镀材料；所述内坩埚包括第一本体部和与所述第一本体部连接第一连接部，所述外坩埚包括第二本体部和与所述第二本体部连接的第二连接部；所述第一本体部设置于所述第二本体部的内部；所述第一连接部与所述第二连接部相连，以维持所述第一本体部与所述第二本体部之间存在缝隙。第二本体部之间存在缝隙。第二本体部之间存在缝隙。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚和蒸镀装置


[0001]本技术涉及显示
，具体涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。

技术介绍

[0002]OLED(OrganicLight
‑
Emitting Diode,有机发光二极管)器件是一种自发光器件，其主要由有机无机薄膜通过物理气象沉积法而制成，即将有机材料放置在真空腔内的坩埚中加热，材料受热之后汽化或者升华，蒸汽沉积在温度比较低的基板上，形成多层膜结构的OLED器件。

技术实现思路

[0003]本技术实施例提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。
[0004]第一方面，本技术实施例提供一种蒸镀坩埚包括：内坩埚和外坩埚，所述内坩埚用于容纳蒸镀材料；所述内坩埚包括第一本体部和与所述第一本体部连接第一连接部，所述外坩埚包括第二本体部和与所述第二本体部连接的第二连接部；
[0005]所述第一本体部设置于所述第二本体部的内部；
[0006]所述第一连接部与所述第二连接部相连，以维持所述第一本体部与所述第二本体部之间存在缝隙。
[0007]在一些实施例中，所述第一本体部包括第一底板和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：内坩埚和外坩埚，所述内坩埚用于容纳蒸镀材料；所述内坩埚包括第一本体部和与所述第一本体部连接的第一连接部，所述外坩埚包括第二本体部和与所述第二本体部连接的第二连接部；所述第一本体部设置于所述第二本体部的内部；所述第一连接部与所述第二连接部相连，以维持所述第一本体部与所述第二本体部之间存在缝隙。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一本体部包括第一底板和环绕所述第一底板的第一侧壁；所述第一连接部位于所述第一侧壁远离所述第一底板的一端。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一底板和所述第一侧壁形成有容纳空间，所述第一连接部沿远离所述容纳空间的方向延伸。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述内坩埚还包括外沿部，所述外沿部位于所述第一连接部远离所述第一侧壁的一侧，所述外沿部沿所述第一底板所处平面的法线方向、且远离所述第一底板方向的延伸。5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一连接部在所述第一底板所在平面上的正投影呈环形。6.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一侧壁与水平方向的夹角为80
°
～85
°
。7.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二本体部包括第二底板和环绕所述第二底板的第二侧壁，所述第一底板与所述第二底板之间的间距...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝亮亮，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：