一种大面积BNOx的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种大面积BNOx的制备方法。该方法包括如下步骤：以氨硼烷。氧气为源，以高催化性的液态金属如镓、锗、铋、铟或液态合金镓

【技术实现步骤摘要】
一种大面积BNOx的制备方法


[0001]本专利技术涉及BNOx器件
，具体涉及一种可以精确定位的大面积BNOx的制备方法。

技术介绍

[0002]BNOx独特的二维结构特征使其具有许多独特的物理化学性能，在微纳电子、光学器件等方面有广阔的应用前景。对BN材料的掺杂、vdW异质结、纳米复合材料。掺杂修饰，比如物理静电界面吸附、化学修饰官能团H/F/OH/NH2等；通过h
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BN材料的高能带、高介电常数、高导热系数等独特性质，实现改善其他石墨烯TMD金属等二维材料的性质； BN材料纳米复合结构材料和聚合物的发展，由于BN材料独特的机械性质和导热绝缘性质，能够与其他二维材料构建复合物结构材料，而且在BN
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石墨烯
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MoS2等复合材料在能源存储等领域展示了广泛应用前景。
[0003]基于BNOx微纳电子器件的制备，通常需要对BNOx进行大面积，目前常用的大面积技术有：1）将大面积BNOx转移至液态金属上，再通过光刻、离子刻蚀的方法得到所需的大面积BNOx，这种方法精度高，但不可避免本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大面积BNOx的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1) 清洗液态金属；2) 向腔室中注入液态金属或合金；3) 将绝液态金属与承载物的上表面紧密接触；4) 将结构置于管式炉中，通入载气并加热至BNOx的生长温度，在液态合金表面形成的BNOx；5) 移除基底表面的金属催化剂，得到大面积的BNOx。2.根据权利要求1 所述的大面积BNOx的制备方法，其特征在于：步骤1）中所述反应基源包括环硼氮环、氨硼烷等含硼、氮基元。3.根据权利要求1 所述的大面积BNOx的制备方法，其特征在于：所述步骤2）中催化金属选自镓、锗、铋、铟，所述合金选自镓
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钯、镓
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镍、镓
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铟等催化性合金。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天如，
申请(专利权)人：苏州旌晖创半导体新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：