一种磁控溅射镀膜工装制造技术

本实用新型专利技术提供了一种磁控溅射镀膜工装，属于生产工装技术领域，包括底板与多个放置架，底板与旋转轴固定连接，多个放置架首尾拼接围绕底板圆周设置，且每个放置架与底板之间均为转动连接，每个放置架的端部与底板之间为可拆卸连接，每个放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通；优点是当一面镀膜完毕后将放置架进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高。翻面效率更高。翻面效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜工装


[0001]本技术属于生产工装领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜工装。

技术介绍

[0002]磁控溅射是钕铁硼的一种镀膜方法，属于物理气相沉积的一种，磁控溅射需要使用专门的磁控溅射镀膜设备采用直流磁控溅射的方法，将烧结钕铁硼作为基本体，将镝或者铽作为其靶材，在磁控溅射设备里面注入氩气，经过电子和氩原子发生碰撞后产生了氩离子和新的电子，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，靶材表面的镝或者铽原子脱离原晶格而逸出转移并渗透在钕铁硼表面，且在整个溅射过程中腔内会产生高温，镝或者铽原子在溅射时具有方向性，一次只能溅射靠近靶材的一面，想要对钕铁硼产品的另一边进行渗透须要取出设备腔内盛有产品的工装，将产品一片一片从工装内取出翻面后再放回工装内，以进行反面的磁控溅射工序，需要大量时间来进行翻面，生产效率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种操作简单、翻面效率高的磁控溅射镀膜工装。
[0004]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种磁控溅射镀膜工装，包括底板与多个放置架，所述底板与旋转轴固定连接，多个所述放置架首尾拼接围绕所述底板圆周设置，且每个所述放置架与所述底板之间均为转动连接，每个所述放置架的端部与所述底板之间为可拆卸连接，每个所述放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个所述放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、所述放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通。
[0005]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述底板上固定设置有多个芯轴，所述芯轴的数量与所述放置架的数量一一对应，所述芯轴穿过放置架，将所述放置架与所述底板进行转动连接。
[0006]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述放置架的其中一端设置有转动块，每个所述芯轴穿过相对应的转动块使得所述放置架与所述底板转动连接，且所述放置架的另一端与所述底板可拆卸连接，每个所述放置架对应一个工位，当料仓内的产品远离底板中心的一面被溅射完成后，每个放置架绕着芯轴向着同一圆周方向的下一个工位进行旋转，将内溅射窗口与外溅射窗口进行翻面。
[0007]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，每个所述放置架的另一端靠近所述底板的一面设置有定位销，所述底板上设置有多个定位孔，所述定位销与其中一个相对应的定位孔插接固定。
[0008]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述料仓的两端分别设置有弧形过渡角。
[0009]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述底板包括固定板，所述固定板与旋转轴相固定，所述固定板的圆周方向上间隔设置有多个连接板，所述连接板的数量与芯轴的数
量相对应，所述芯轴、所述定位孔均设置在所述连接板远离所述固定板的一端。
[0010]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述连接板远离所述固定板的一端固定设置有连接块，芯轴固定在连接块上，且每个所述连接块上设置有两个定位孔，两个所述定位孔分别分布在芯轴的两侧。
[0011]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，相邻两个所述连接板之间设置有加强板。
[0012]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述固定板的中心设置有通孔，所述固定板上固定设置有衬套，旋转轴穿过所述通孔、所述衬套后与所述衬套相固定。
[0013]在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述衬套与所述固定板焊接固定，且所述固定板的圆周方向上间隔设置有间隙。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0015](1)、一面镀膜完毕后将放置架进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高；
[0016](2)、料仓的两端分别设置有弧形过渡角，通过设置有弧形过渡角可减少在产品放取过程中的碰撞造成的不良产生，且弧形过渡角可适用于不同宽度尺寸的产品，可有效拓展不同产品的使用空间，利用率更高；
[0017](3)、衬套与固定板焊接固定，固定板的圆周方向上间隔设置有间隙，防止固定板焊接变形。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体结构示意图；
[0019]图2是本技术的仰视图；
[0020]图3是本技术中放置架的立体结构示意图；
[0021]图4是本技术的底板的立体结构示意图。
[0022]图中，底板100；固定板101；连接板102；连接块103；加强板104；衬套105；间隙106；芯轴204；放置架200；料仓201；内溅射窗口202；外溅射窗口203；转动块204；定位销205；定位孔206；弧形过渡角207。
具体实施方式
[0023]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0024]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0025]如图1
‑
图4所示，一种磁控溅射镀膜工装，包括底板100与多个放置架200，底板100与旋转轴(图中未示出)固定连接，多个放置架200首尾拼接围绕底板100圆周设置，且每个放置架200与底板100之间均为转动连接，每个放置架200的端部与底板100之间为可拆卸连接，每个放置架200上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓201，且每个放置架200的内侧设置有内溅射窗口202与料仓201相连通、放置架200的外侧设置有外溅射窗口203与
料仓201相连通。
[0026]一种磁控溅射镀膜工装，包括底板100与多个放置架200，底板100与旋转轴固定连接，多个放置架200首尾拼接围绕底板100圆周设置，且每个放置架200与底板100之间均为转动连接，每个放置架200的端部与底板100之间为可拆卸连接，每个放置架200上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓201，每个料仓201内均可放置多个产品，且每个放置架200的内侧设置有内溅射窗口202与料仓201相连通、放置架200的外侧设置有外溅射窗口203与料仓201相连通，先将产品逐个放入料仓201内，然后通过旋转轴带动底板100转动，此时磁控溅射机对产品远离底板100的一面进行镀膜，一面镀膜完毕后将放置架200进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架200一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架200进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高。
[0027]作为优选，底板100上固定设置有多个芯轴204，芯轴204的数量与放置架200的数量一一对应，芯轴204穿过放置架200，将放置架200与底板100进行转动连接。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜工装，其特征在于，包括底板与多个放置架，所述底板与旋转轴固定连接，多个所述放置架首尾拼接围绕所述底板圆周设置，且每个所述放置架与所述底板之间均为转动连接，每个所述放置架的端部与所述底板之间为可拆卸连接，每个所述放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个所述放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、所述放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜工装，其特征在于，所述底板上固定设置有多个芯轴，所述芯轴的数量与所述放置架的数量一一对应，所述芯轴穿过放置架，将所述放置架与所述底板进行转动连接。3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜工装，其特征在于，所述放置架的其中一端设置有转动块，每个所述芯轴穿过相对应的转动块使得所述放置架与所述底板转动连接，且所述放置架的另一端与所述底板可拆卸连接，每个所述放置架对应一个工位，当料仓内的产品远离底板中心的一面被溅射完成后，每个放置架绕着芯轴向着同一圆周方向的下一个工位进行旋转，将内溅射窗口与外溅射窗口进行翻面。4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜工装，其特征在于，每个所述放置架的另一端靠近所述底板的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹善攀，章槐军，潘道良，庄致远，林法盼，
申请(专利权)人：宁波科星材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：