一种带有防护结构的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，提出了一种带有防护结构的真空镀膜机，包括箱体、电箱，所述电箱远离箱体的一侧固定连接有固定框，所述固定框的一侧设置有固定机构。通过固定机构中设置插柱卡在橡胶筒内可有效降低现有技术结构运转对插柱的影响，起到对网罩防护的作用，同时残留的震动通过插柱传递给缓震弹簧进行消弱消除，能更加有效的解决现有技术中用于安装网罩的固定框因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动的问题；通过固定机构中结构的相互配合，通过拉动与松开拉块的方式，便可起到快速且简单的安装网罩，不需要其他工具的协助即可快速进行安装与拆卸网罩，有效增强了安装的工作效率同时节省了人力的支出。出。出。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防护结构的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体的，涉及一种带有防护结构的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机给所需的产品进行镀膜的过程中，会有部分的镀膜药材吸附到腔体内部的周围，为了保持真空腔体洁净，常用的技术手段是在腔体的内部周围加装防护挡板。
[0003]中国专利公开了一种防护性能好的真空镀膜机，公开号为CN 214032682 U，其所要解决的是现有技术中市场上常见的真空镀膜机普遍存在防护性能较差的现象，导致镀膜机内部易混入其他气体，严重影响镀膜的质量，该申请很好的解决了这个问题，但是通过螺纹孔固定住安装板来防止安装板因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动，这种方式会使整体震动，缓震效果不好，且安装与拆卸需要借助其他工具，不够便捷耗时耗力，需要在此基础上进行改进。
[0004]因此需要一种带有防护结构的真空镀膜机。

技术实现思路

[0005]本技术提出一种带有防护结构的真空镀膜机，解决了相关技术中通过螺纹孔固定住安装板来防止安装板因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动，这种方式会使整体震动，缓震效果不好的问题。
[0006]本技术的技术方案如下：一种带有防护结构的真空镀膜机，包括箱体、电箱，所述电箱远离箱体的一侧固定连接有固定框，所述固定框的一侧设置有固定机构，所述固定机构包括橡胶筒，所述电箱的内壁开设有柱形槽，所述柱形槽的内壁滑动连接有限位板，所述限位板一侧的表面固定连接有缓震弹簧，所述缓震弹簧的一端与柱形槽内壁的一侧固定连接，所述限位板的内壁固定连接有插柱，所述插柱的一端贯穿柱形槽的内壁且延伸至电箱的外部，所述插柱的表面固定连接有拉块，所述固定框的一侧开设有卡槽，所述插柱的另一端贯穿柱形槽的内壁且延伸至橡胶筒的内部。
[0007]优选的，所述固定框的内壁固定连接有网罩，所述固定框的表面固定连接有辅助安装块，通过设置网罩可以防止灰尘落入电箱内现象的发生，同时在网罩外部固定框的表面设置辅助安装块起到便于工作人员安装与拆卸网罩的作用。
[0008]优选的，所述橡胶筒的直径小于卡槽的直径，且橡胶筒的表面与卡槽的内壁固定
连接，起到与插柱进行匹配卡接固定的作用。
[0009]优选的，所述插柱的直径小于橡胶筒的直径，且橡胶筒的内壁与插柱的表面紧贴，由于橡胶具有很强的弹性和良好的绝缘性、缓震、可塑性、隔水隔气、抗拉和耐磨等特点，在卡槽的内壁设置橡胶筒，使橡胶筒与插柱进行卡接后摩擦力更强，同时起到缓震的作用。
[0010]优选的，所述限位板的直径小于柱形槽的直径，且限位板的表面与柱形槽的内壁接触，起到对插柱进行限位的作用，同时起到挤压缓震弹簧的作用。
[0011]优选的，所述箱体的底部固定连接有底板，所述底板的顶部固定连接有控制台，起到控制电源的作用。
[0012]优选的，所述底板的底部固定连接有支撑腿，起到支撑整体装置重量的作用。
[0013]优选的，所述电箱的底部与底板的顶部固定连接。
[0014]本技术的工作原理及有益效果为：
[0015]1、本技术中通过固定机构中设置插柱卡在橡胶筒内可有效降低现有技术结构运转对插柱的影响，起到对网罩防护的作用，同时残留的震动通过插柱传递给缓震弹簧进行消弱消除，能更加有效的解决现有技术中用于安装网罩的固定框因第一电机、第二电机和风机运转产生的震动而松动的问题；
[0016]2、本技术中通过固定机构中结构的相互配合，通过拉动与松开拉块的方式，便可起到快速且简单的安装网罩，不需要其他工具的协助即可快速进行安装与拆卸网罩，有效增强了安装的工作效率同时节省了人力的支出。
附图说明
[0017]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0018]图1为本技术立体结构示意图；
[0019]图2为本技术侧视结构示意图；
[0020]图3为本技术固定框的侧视结构示意图；
[0021]图4为本技术固定机构的结构示意图。
[0022]图中：1箱体；控制台2；3底板；4支撑腿；5电箱；6网罩；7固定框；8辅助安装块；9固定机构；901拉块；902插柱；903柱形槽；904限位板；905缓震弹簧；906卡槽；907橡胶筒。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0024]如图1～图4所示，本实施例提出了一种带有防护结构的真空镀膜机，包括箱体1、电箱5，底板3的底部固定连接有支撑腿4，起到支撑整体装置重量的作用，箱体1的底部固定连接有底板3，电箱5的底部与底板3的顶部固定连接，所述底板3的顶部固定连接有控制台2，起到控制电源的作用；
[0025]所述电箱5远离箱体1的一侧固定连接有固定框7，固定框7的内壁固定连接有网罩6，所述固定框7的表面固定连接有辅助安装块8，通过设置网罩6可以防止灰尘落入电箱5内
现象的发生，同时在网罩6外部固定框7的表面设置辅助安装块8起到便于工作人员安装与拆卸网罩6的作用；
[0026]所述固定框7的一侧设置有固定机构9，所述固定机构9包括橡胶筒907，所述电箱5的内壁开设有柱形槽903，所述柱形槽903的内壁滑动连接有限位板904，限位板904的直径小于柱形槽903的直径，且限位板904的表面与柱形槽903的内壁接触，起到对插柱902进行限位的作用，同时起到挤压缓震弹簧905的作用，所述限位板904一侧的表面固定连接有缓震弹簧905，所述缓震弹簧905的一端与柱形槽903内壁的一侧固定连接，所述限位板904的内壁固定连接有插柱902，插柱902的直径小于橡胶筒907的直径，且橡胶筒907的内壁与插柱902的表面紧贴，由于橡胶具有很强的弹性和良好的绝缘性、缓震、可塑性、隔水隔气、抗拉和耐磨等特点，在卡槽906的内壁设置橡胶筒907，使橡胶筒907与插柱902进行卡接后摩擦力更强，同时起到缓震的作用，所述插柱902的一端贯穿柱形槽903的内壁且延伸至电箱5的外部，所述插柱902的表面固定连接有拉块901，所述固定框7的一侧开设有卡槽906，所述插柱902的另一端贯穿柱形槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防护结构的真空镀膜机，其特征在于，包括箱体(1)、电箱(5)，所述电箱(5)远离箱体(1)的一侧固定连接有固定框(7)，所述固定框(7)的一侧设置有固定机构(9)，所述固定机构(9)包括橡胶筒(907)，所述电箱(5)的内壁开设有柱形槽(903)，所述柱形槽(903)的内壁滑动连接有限位板(904)，所述限位板(904)一侧的表面固定连接有缓震弹簧(905)，所述缓震弹簧(905)的一端与柱形槽(903)内壁的一侧固定连接，所述限位板(904)的内壁固定连接有插柱(902)，所述插柱(902)的一端贯穿柱形槽(903)的内壁且延伸至电箱(5)的外部，所述插柱(902)的表面固定连接有拉块(901)，所述固定框(7)的一侧开设有卡槽(906)，所述插柱(902)的另一端贯穿柱形槽(903)的内壁且延伸至橡胶筒(907)的内部。2.根据权利要求1所述的一种带有防护结构的真空镀膜机，其特征在于，所述固定框(7)的内壁固定连接有网罩(6)，所述固定框(7)的表面固定连接有辅助安装块(8)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：董雷鸣，
申请(专利权)人：河北乐成新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：