封装结构和电子设备制造技术

技术编号:37846404 阅读:27 留言:0更新日期:2023-06-14 22:31
本发明专利技术公开了一种封装结构和电子设备。所述封装结构包括基板、MEMS芯片、防水件和外壳,所述基板上开设有第一开口和第二开口,所述MEMS芯片设置于所述基板上,所述MEMS芯片与所述第一开口相对,所述防水件设置于所述基板远离所述MEMS芯片的一侧,所述防水件在所述基板上的投影至少覆盖所述第一开口和所述第二开口。本发明专利技术的一个技术效果在于,通过在基板远离MEMS芯片的一侧设置防水件,能够利用防水件阻挡水渍、水气或者灰尘等异物的进入,避免这些异物进入到MEMS芯片内部并对MEMS芯片造成影响,从而保证MEMS芯片的正常工作。另外,通过在外壳与基板相接触的一侧形成有泄气通道,以能够利用泄气通道实现泄气均压的目的,保证封装结构的工作可靠性。装结构的工作可靠性。装结构的工作可靠性。

【技术实现步骤摘要】
封装结构和电子设备


[0001]本专利技术涉及半导体封装
,更具体地,本专利技术涉及一种封装结构和电子设备。

技术介绍

[0002]随着科技的发展,电子设备也不断更新换代,以能够满足用户的各种需求。而在电子设备不断更新换代的同时,用户也对电子设备的诸多性能提出了新的要求。
[0003]电子设备在日常使用中,经常会遇到灰尘、水渍等异物,而如果灰尘、水渍等异物不慎进入电子设备内部,有可能会影响电子设备内部MEMS芯片或者其它芯片,导致MEMS芯片或者其它芯片无法正常工作,从而使得电子设备的应用受限。

技术实现思路

[0004]鉴于上述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种新型的封装结构和电子设备,旨在解决现有技术中的电子设备无法保护内部的MEMS芯片的问题。
[0005]根据本专利技术的一个方面,提供了一种封装结构。所述封装结构包括:
[0006]基板,所述基板上开设有第一开口和第二开口;
[0007]MEMS芯片,所述MEMS芯片设置于所述基板上,所述MEMS芯片与所述第一开口相对;...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种封装结构,其特征在于,包括:基板(1),所述基板(1)上开设有第一开口(11)和第二开口(12);MEMS芯片(2),所述MEMS芯片(2)设置于所述基板(1)上,所述MEMS芯片(2)与所述第一开口(11)相对;防水件(3),所述防水件(3)设置于所述基板(1)远离所述MEMS芯片(2)的一侧,所述防水件(3)在所述基板(1)上的投影至少覆盖所述第一开口(11)和所述第二开口(12);外壳(4),所述外壳(4)设置于所述基板(1)靠近所述MEMS芯片(2)的一侧,所述外壳(4)至少覆盖所述MEMS芯片(2),且所述外壳(4)与所述基板(1)相接触的一侧还形成有泄气通道,所述泄气通道的一端与所述第二开口(12)连通,所述泄气通道的另一端用于与外界连通。2.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述泄气通道的宽度沿所述泄气通道延伸的长度变化而改变。3.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述泄气通道的横截面形状为蛇形、弧形或者折线形。4.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述第二开口(12)位于所述外壳(4)的边缘,所述第二开口(12)的尺寸小于所述第一开口(11)的尺寸。5.根据权利要求1所述的一种封装结构,其特征在于,所述泄气通道包括相对的第一端和第二端,所述泄气通道的第一端与所述第二开口(12)连通,所述泄气通道的第二端用于与外界连通,所述泄气通道的第一端的尺寸小于或者等于所述第二开口(12)的尺寸。6.根据权利要求5所述的一种封装结构,其特征在于,还包括阻尼片(6),所述阻尼片(6)设置于所述外壳(4)上并封闭所述泄气通道的第二端。7.根据权利要求6所述的一种封装结构...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵文强
申请(专利权)人:歌尔微电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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