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封装结构和电子设备制造技术
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文档序号:37846404
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本发明公开了一种封装结构和电子设备。所述封装结构包括基板、MEMS芯片、防水件和外壳,所述基板上开设有第一开口和第二开口,所述MEMS芯片设置于所述基板上,所述MEMS芯片与所述第一开口相对,所述防水件设置于所述基板远离所述MEMS芯片的一...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。
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