【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于场发射显示器(FED)
，涉及一种底栅型FED下板 的制作方法，具体涉及下板栅极层、介质层以及阴极图形的制作方法。技术背景场发射显示器(Field Emission Display; FED)是利用电场自发射阴极 (cathode emitter)材料的尖端放出电子来轰击屏幕上的荧光粉，从而激活 荧光粉发光，其特点是轻、薄、亮度高、视角广、反应快。底栅型的场发射显示器的组件结构示意图，如图1所示，包括阳极和阴 极，阳极和阴极之间设置有隔离子4，隔离子4作为上下基板之间的支撑， 并提供阳极与阴极之间真空区域的间隔；阳极包含阳极玻璃基板1、阳极导 电层2以及荧光粉体涂层3;阴极包含阴极玻璃基板8、栅极层7、阴极电阻 层6以及阴极层5;其中该阳极与阴极是由隔离子4保持真空区域，并藉由 栅极和阴极之间电压差形成的电场，使得阴极释出电子，再经过阳极和阴极 之间的高压电场加速电子，使之轰击荧光粉体而发光。现有的底栅型FED下板一般是采用栅极、介质、阴极三层图形依次曝光 显影或者印刷方法来完成制作。由于介质层在烧结后不可能总是足够致密， 在烧结阴极图形...
【技术保护点】
一种底栅型ＦＥＤ下板制作方法，其特征在于，包括以下步骤： １）在阴极玻璃基片上印刷栅极层图形： ａ、在阴极玻璃基片上，通过丝网印刷法印刷感光银浆料，置于烘箱中烘烤，烘烤温度为１００～１２０℃，烘烤时间为２０～３０分钟，然后自然冷 却； ｂ、将印刷感光银浆料后的阴极玻璃基片通过栅极层图形掩膜版在紫外灯下曝光，曝光量为６００～８００ｍＪ／ｃｍ↑［２］； ｃ、将曝光过的阴极玻璃基片采用质量分数为０．４％的Ｎａ↓［２］ＣＯ↓［３］溶液显影，显影时间２０～３０秒， 显影压力为１．５ｋｇｆ／ｃｍ↑［２］； ｄ、将显影过的阴极玻璃基片转入烧结炉...
【技术特征摘要】
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