本实用新型专利技术公开了一种半导体检测用固定装置，涉及半导体固定装置技术领域，包括放置板与检测台，放置板上方固定连接有支撑架，支撑架顶端水平套设有支撑轴，支撑架上竖直设置有第二滑槽，支撑轴可在滑槽中上下滑动，支撑轴贯通设置有检测盒，支撑轴两端伸出检测盒并与设置在支撑架上；通过检测盒内的主动齿轮与从动齿轮的啮合，使检测盒旋转，配合可升降的支撑轴，使得在检测的过程中，能记录不同角度的数据，进行缺陷对比，减少了后续检测工艺的工程量，提升了检测效率；同时通过夹具组件上的2块T型滑块和2块L型挡块通过弹性元件和滑杆滑动连接，能夹持住不同大小不同形状的半导体，具有有很好的适配性。具有有很好的适配性。具有有很好的适配性。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测用固定装置
[0001]本技术涉及半导体固定装置
，具体为一种半导体检测用固定装置。
技术介绍
[0002]半导体生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序，半导体的检测会贯穿整个半导体的制造过程，及时检测出次品，可避免制造损失的指数式增长。目前在使用显微检测仪器检测半导体(如晶圆、PCB板等)外观颗粒和位置尺寸、使用x光进行半导体封装检测等工艺时，大都是直接将半导体固定在检测台上，从特定方向对特定部位进行检测，不能从多种角度进行缺陷检测对比，需要频繁调整检测仪器、增加后续的检测工艺来保证检测的准确，同时不同型号尺寸的半导体也需要不同的固定装置进行固定，导致检测效率降低，为后续的检测增加了较高成本，为此，提出一种半导体检测用固定装置以解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种能固定不同规格尺寸半导体、并且能在检测时随意改变检测角度、高度以适应不同检测工艺的半导体检测用固定装置。
[0004]为实现上述技术目的，本技术所采用的技术方案是：一种半导体检测用固定装置，包括放置板，所述放置板下方设有检测台，所述放置板上表面固定连接有支撑架，所述支撑架顶端水平套设有支撑轴，所述支撑轴贯通连接有检测盒，所述支撑轴两端伸出所述检测盒并套设在支撑架上。所述检测盒表面设置有若干卡槽，所述卡槽用于放置半导体。所述支撑轴上、位于所述检测盒内部套设固定有从动齿轮，所述从动齿轮啮合有主动齿轮，所述主动齿轮固定连接在主动轴上，所述主动轴一端连接有固定在检测盒上的第一电机，另一端旋转套设在检测盒的内壁上。
[0005]优选的，所述支撑架上竖直设置有第二滑槽，所述支撑轴可在滑槽中上下滑动。
[0006]优选的，所述放置板上方固定设置有第二电机，所述第二电机输出轴上固定连接有转盘，所述转盘上连接有一连杆，所述连杆一端转动连接在装盘偏心位置，另一端套设在所述支撑轴伸出所述检测盒的部分上。
[0007]优选的，所述检测台上表面固定设置有导向条，所述放置板下表面设置有与导向条适配的滑槽，所述放置板通过所述滑槽与所述检测台滑动连接。
[0008]优选的，所述放置板内、平行于所述导向条设置有带有螺纹的通孔，所述通孔贯通连接有与通孔螺纹相适配的螺杆，所述螺杆两端伸出所述放置板，所述螺杆一端转动连接在固定设置于检测台上的挡板，所述螺杆另一端穿入固定在所述检测台上电机箱并与第三电机连接。
[0009]优选的，所述导向条的长度等于螺杆外壁的螺纹长度。
[0010]优选的，所述支撑轴伸出所述支撑架的一端可拆卸连接有固定块。
[0011]优选的，根据上述任意一项所述的一种半导体检测用固定装置，还包括设置在所
述卡槽上的夹具组件,所述夹具组件包括与所述卡槽大小相适应的底板，所述底板表面设置有两个对称且在一条直线上的凹槽,所述凹槽内沿其长度方向设置有第一滑轴，所述第一滑轴上套设有T型滑块，所述T型滑块的横部伸出所述凹槽且贯穿设置有第二滑轴，所述第二滑轴的两端分别滑动套设有L型挡块，两个所述第二滑轴上的L型挡块对称设置；所述第一滑轴上套设有第一伸缩元件，使两个所述T型滑块始终受到使之相互靠近的力；所述第二滑轴上套设有第二伸缩元件，所述第二伸缩元件一端与L型挡块固定连接，另一端与所述T型滑块固定连接，所述第二伸缩元件始终使L型挡块受到朝向T型滑块的拉力。
[0012]优选的，置于所述T型滑块两端的L型挡块，其中一端所垂直于第二滑轴的块段长度超出所述凹槽的对称中心线，所述T型滑块和所述L型挡块在未工作时在底板上呈中心对称。
[0013]优选的，所述T型滑块和所述L型挡块内侧设置有向内凹陷的槽体。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、该半导体检测用固定装置，通过采用检测盒内部的主动齿轮与从动齿轮的啮合，使检测盒旋转，配合可升降的支撑轴和可滑动的放置板，增加了在检测过程中的灵活性，使得在检测的过程中，可以记录不同角度的数据，进行缺陷对比，也能自由调整检测角度和高度，适应不同的检测工艺，减少了后续检测工艺的工程量，较大提升了检测效率。
[0016]2、该半导体检测用固定装置，将半导体通过夹持组件固定，可滑动的T型滑块能适应不同大小的半导体，两端可滑动的L型挡块实现了对不同形状半导体的夹持。
附图说明
[0017]图1为本技术的立体示意图；
[0018]图2为本技术的检测盒内部的立体示意图；
[0019]图3为本技术的侧视图；
[0020]图4为本技术夹具组件的立体示意图；
[0021]图5为本技术的夹具组件未夹持状态的俯视图；
[0022]图6为本技术的夹具组件夹持矩形有限元器件的俯视图；
[0023]图7为本技术的夹具组件夹持圆形有限元器件的俯视图。
具体实施方式
[0024]下面将结合技术实施例中的附图，对技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是技术一部分实施例，而不是全部的实施例。若未特别指明，实施例中所用的技术手段为本领域技术人员所熟知的常规手段。
[0025]在技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对技术的限制。
[0026]如图1、图3所示的一种半导体检测用固定装置，包括放置板1，所述放置板1下方设有检测台2，所述放置板1上表面固定连接有支撑架14，所述支撑架14顶端水平套设有支撑
轴16，所述支撑轴16贯通连接有检测盒4，所述支撑轴16两端伸出所述检测盒4并套设在支撑架14上。所述检测盒4表面设置有若干卡槽11，所述卡槽用于放置半导体。
[0027]进一步的，如图2所示的检测和4内部结构的示意图，所述支撑轴16上、位于所述检测盒4内部套设固定有从动齿轮21，所述从动齿轮21啮合有主动齿轮20，所述主动齿轮20固定连接在主动轴19上，所述主动轴19一端连接有固定在检测盒4上的第一电机18，另一端旋转套设在检测盒4的内壁上。
[0028]具体的，通过第一电机18的转动，使之能控制检测盒4绕着支撑轴16转动，将卡槽11内的半导体呈现出不同角度，同时检测盒四周都能设置卡槽11，能夹持更多的半导体，在同一批次的检测中，通过检测盒4的转动使四个面的半导体都被检测，极大提高了检测效率。
[0029]进一步的，所述支撑架14上竖直设置有第二滑槽22，所述支撑轴16可在滑槽22中上下滑动。
[0030]进一步的，所述放置板1上方固定设置有第二电机13，所述第二电机13输出轴上固定连接有转盘12，所述转盘12上连本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用固定装置，包括放置板(1)，其特征在于：所述放置板(1)下方设有检测台(2)，所述放置板(1)上表面固定连接有支撑架(14)，所述支撑架(14)顶端水平套设有支撑轴(16)，所述支撑轴(16)贯通连接有检测盒(4)，所述支撑轴(16)两端伸出所述检测盒(4)并套设在支撑架(14)上；所述检测盒(4)表面设置有若干卡槽(11)，所述卡槽用于放置半导体；所述支撑轴(16)上、位于所述检测盒(4)内部套设固定有从动齿轮(21)，所述从动齿轮(21)啮合有主动齿轮(20)，所述主动齿轮(20)固定连接在主动轴(19)上，所述主动轴(19)一端连接有固定在检测盒(4)上的第一电机(18)，另一端旋转套设在检测盒(4)的内壁上。2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用固定装置，其特征在于：所述支撑架(14)上竖直设置有第二滑槽(22)，所述支撑轴(16)可在滑槽(22)中上下滑动。3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用固定装置，其特征在于：所述放置板(1)上方固定设置有第二电机(13)，所述第二电机(13)输出轴上固定连接有转盘(12)，所述转盘(12)上连接有一连杆(15)，所述连杆(15)一端转动连接在转盘(12)偏心位置，另一端套设在所述支撑轴(16)伸出所述检测盒(4)的部分上。4.根据权利要求3所述的一种半导体检测用固定装置，其特征在于：所述检测台(2)上表面固定设置有导向条(8)，所述放置板(1)下表面设置有与导向条适配的滑槽，所述放置板(1)通过所述滑槽与所述检测台滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体检测用固定装置，其特征在于：所述放置板(1)内、平行于所述导向条(8)设置有带有螺纹的通孔，所述通孔贯通连接有与通孔螺纹相适配的螺杆(10)，所述螺杆两端伸出所述放置板(1)，所述螺杆(10)一端转动连接在固定设置于检测台(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员：喻晶晶，于国军，王军年，张文军，王增敏，王红玲，
申请(专利权)人：金川集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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