一种PVD真空镀膜用真空腔检测机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种检测机，尤其涉及一种PVD真空镀膜用真空腔检测机。本实用新型专利技术提供一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机，包括有机体、电离真空计、进气管、滤框、出气管、滤架和挡板，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。通过设置滤架可以过滤气体的细微杂质，将细微杂质吸附在滤架上，保证进入电离真空计电离的气体清洁性，使电离真空计的示数准确性高,达到了可以准确测出数值并且检测密封性的效果。性的效果。性的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD真空镀膜用真空腔检测机


[0001]本技术涉及一种检测机，尤其涉及一种PVD真空镀膜用真空腔检测机。

技术介绍

[0002]PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术；其工作原理就是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上；它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。
[0003]在真空镀膜过程中，如果真空腔室的密封性能如果无法保证，则会直接影响PVD涂层的性能，所以需要用电离真空计时刻监控真空腔室内当密封性，但真空镀膜过程中会产生微小杂质，微小杂质进入电离真空计会影响实验数值，使其不能准确判断真空腔室的密封性。
[0004]因此亟需设计一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机。

技术实现思路

[0005]为了克服真空镀膜过程中会产生微小杂质，微小杂质进入电离真空计会影响实验数值，使其不能准确判断真空腔室的密封性的缺点，提供一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机。
[0006]一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，包括有机体、电离真空计、进气管、滤框、出气管、滤架和挡板，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。
[0007]进一步的是，还包括有固定板、弹簧、顶板和密封垫，挡板内侧设有密封垫，密封垫上方对称式镶嵌有顶板，滤架上方一侧固定有固定板，固定板与顶板之间连接有弹簧。
[0008]进一步的是，还包括有蓄液框、单向进料管、单向出料管和气囊，进气管一侧设置有蓄液框，蓄液框下方连接有单向出料管，单向出料管的另一端与机体连接，蓄液框上方连接有单向进料管，单向进料管位于气囊一侧。
[0009]进一步的是，还包括有雾化器，单向出料管末端安装有雾化器。
[0010]进一步的是，还包括有密封圈，进气管与滤框连接处设置有密封圈。
[0011]本技术具有如下优点：
[0012]通过设置滤架，滤架过滤气体的细微杂质，将细微杂质吸附在滤架上，保证进入电离真空计电离的气体是清洁的，使电离真空计的示数准确性高，达到了可以准确测出数值并且检测密封性的效果。
[0013]通过设置固定板、弹簧和顶板，用力按压挡板，弹簧复位，推动顶板向外，顶板向外推动密封垫，从而脱离密封垫，将挡板自动推开，可以简单的将挡板打开进行更换滤架。
[0014]通过设置雾化器，雾化器可以将液体的乙醇雾化，使得更乙醇分子更好的运动分
布在机体内的各个角落，观察电离真空计的示数是否发生变化来判断该装置的密封性，达到简单快捷的测出装置密封性的效果。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体结构示意图。
[0016]图2为本技术的第一种部分立体结构示意图。
[0017]图3为本技术的第二种部分立体结构示意图。
[0018]图4为本技术的第三种部分立体结构示意图。
[0019]图5为本技术的第四种部分立体结构示意图。
[0020]附图标记说明：1：机体，2：电离真空计，3：进气管，4：滤框，5：出气管，6：密封圈，7：滤架，8：固定板，9：弹簧，10：顶板，11：挡板，1101：密封垫，12：蓄液框，13：单向进料管，14：单向出料管，15：气囊，16：雾化器。
具体实施方式
[0021]下面参照附图对本技术的实施例进行详细描述。
[0022]实施例1
[0023]一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，如图1
‑
图3所示，包括有机体1、电离真空计2、进气管3、滤框4、出气管5、滤架7和挡板11，机体1顶部前侧焊接有电离真空计2，机体1与电离真空计2之间连通有滤框4，滤框4上方连通有进气管3，进气管31前端与机体1下侧连通，滤框4下方连通有呈直角状的出气管5，出气管5的末端连接有电离真空计2，滤框4内部设置有若干滤架7，所述滤架7的数量为三个，滤框4右侧呈铰接式安装有挡板11。
[0024]当使用该装置进行真空镀膜时，机体1内真空腔室的气体通过进气管3进入滤框4内，滤框4内有滤架7，滤架7过滤气体的细微杂质，通过出气管5进入电离真空计2，电离真空计2将过滤的气体电离出产生离子流，然而待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系，观察电离真空计2的数值是否发生大幅度变化来判断真空腔室的密封性。
[0025]实施例2
[0026]在实施例1的基础之上，如图4所示，还包括有固定板8、弹簧9、顶板10和密封垫1101，挡板11内侧固定有密封垫1101，每个密封垫1101内侧均呈对称式镶嵌有顶板10，最顶端的滤架7上方左侧固定有固定板8，固定板8与顶板10之间连接有弹簧9，弹簧9一端与固定板8固定，弹簧9另一端与顶板10固定。
[0027]为了保证装置的密封性及方便打开挡板11，在挡板11内壁固定有密封垫1101，密封垫1101可以起一个很好的密封作用，当挡板11处于闭合状态时，弹簧9压缩，顶板10镶嵌在密封垫1101内，需要打开更换时，用力按压挡板11，弹簧9复位，推动顶板10向外，顶板10向外推动密封垫1101，从而顶板10脱离密封垫1101，将挡板11推开。
[0028]如图5所示，还包括有蓄液框12、单向进料管13、单向出料管14和气囊15，进气管3下侧设置有蓄液框12，蓄液框12下方连通有单向出料管14，单向出料管14的末端与机体1连通，蓄液框12上方设有气囊15，单向进料管13位于气囊15左侧。
[0029]为了可以更加准确的判断装置的密封性，向单向进料管13添加乙醇，乙醇进入蓄液框12存储，用力挤压气囊15，在大气压强差的作用下，将蓄液框12的乙醇通过单向出料管
14进入机体1内，观察电离真空计2的示数是否发生变化来判断该装置的密封性。
[0030]如图5所示，还包括有雾化器16，单向出料管14末端安装与之适配的雾化器16。
[0031]为进入的乙醇可以更好的挥发，在单向出料管14的末端装有雾化器16，可以将液体的乙醇雾化，更好的运动分布在机体1内的各个角落。
[0032]如图1所示，还包括有密封圈6，进气管3与滤框4连接处设置有密封圈6。
[0033]为了保障连接处的密封性，在进气管3于滤框4的连接处套有密封圈6，可以更好的隔绝外部。
[0034]本行业的技术人员应该了解，上述实施例不以任何形式限制本技术，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其包括有机体、电离真空计、进气管、滤框和出气管，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，其特征在于，包括有滤架和挡板，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。2.如权利要求1所述的一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其特征在于，还包括有固定板、弹簧、顶板和密封垫，挡板内侧设有密封垫，密封垫上方对称式镶嵌有顶板，滤架上方一侧固定有固定板，固定板与顶板之间连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐海明，向炜，
申请(专利权)人：厦门世鑫达工贸有限公司，
类型：新型
国别省市：