一种用于大型精密仪器的防微振平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于大型精密仪器的防微振平台，包括顶板、空气弹簧、支撑腿和驱动器，所述空气弹簧为四个分别安装在顶板底部的四个角，所述空气弹簧底部连接支撑腿，所述支撑腿内侧壁上连接有驱动器，所述驱动器包括外壳和推杆，所述外壳焊接在支撑腿内侧壁上，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆插入通孔，所述推杆顶部与顶板底部连接，所述推杆底部连接有支撑板，所述推杆的外侧套装有金属弹簧，所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固定，所述金属弹簧的底部与支撑板的顶部连接固定。本实用新型专利技术本实用新型专利技术承载力大，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型精密仪器的防微振平台


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于大型精密仪器的防微振平台。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]隔振器能够直接当作是低通的滤波器，这种滤波器能够有效地滤除其固有频率以上的环境振动干扰，但是对于其固有频率附近的振动干扰的抑制效果较弱，甚至有时会出现因为共振现象而放大该振动幅值的现象。因此，为了系统在低频段获得更好的隔振效果，通常采用降低其固有频率的方法，从而避免在某些频率处发生共振。
[0004]目前半导体车间大型精密仪器对基座刚度及隔振要求较高。主动气浮隔振装置虽然能够较好的低频隔离振动，但承重能力差，不适合光刻机等大型的精密仪器，且多是单一的低频领域，隔振带较窄，适用范围较小。

技术实现思路

[0005]技术的目的在于提供一种用于大型精密仪器的防微振平台，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的：
[0007]一种用于大型精密仪器的防微振平台，包括顶板、空气弹簧、支撑腿和驱动器，所述空气弹簧为四个分别安装在顶板底部的四个角，所述空气弹簧底部连接支撑腿，所述支撑腿内侧壁上连接有驱动器，所述驱动器包括外壳和推杆，所述外壳焊接在支撑腿内侧壁上，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆插入通孔，所述推杆顶部与顶板底部连接，所述推杆底部连接有支撑板，所述推杆的外侧套装有金属弹簧，所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固定，所述金属弹簧的底部与支撑板的顶部连接固定，所述支撑板底部与外壳底部内侧之间安装有音圈电机，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述支撑腿之间分别连接有横梁，所述横梁顶部安装有一个控制器。
[0008]进一步地，所述顶板包括框体A，所述框体A由不锈钢板制成矩形结构，所述框体A内部焊接有横向钢筋A和纵向钢筋，所述框体A内部浇筑有混凝土A。
[0009]进一步地，所述支撑腿包括框体B，所述框体B由不锈钢板制成矩形结构，所述框体B内部焊接有横向钢筋B和竖向钢筋，所述横向钢筋B为双层分别焊接在框体B 的上部和下部，所述框体B内部浇筑有混凝土B。
[0010]进一步地，所述外壳底部固定在横梁上。
[0011]进一步地，所述横梁包括方钢管和混凝土C，所述混凝土C浇筑在方钢管内部。
[0012]进一步地，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、音圈电机连接 。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]本技术通过钢筋混凝土顶板和支撑腿，以及与空气弹簧的配合可以实现大负载承重，满足大型精密仪器的承重要求；通过空气弹簧与金属弹簧的并联设计，可以实现被动高频隔振，通过音圈电机实现低频主动隔振。本技术承载力大，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图。
[0016]图中1
‑
顶板，101
‑
框体A，102
‑
横向钢筋A，103
‑
纵向钢筋，104
‑
混凝土A，2
‑
空气弹簧，3
‑
支撑腿，301
‑
框体B，302
‑
横向钢筋B，303
‑
竖向钢筋，304
‑
混凝土B，4
‑
驱动器，401
‑
外壳，402
‑
通孔，403
‑
推杆，404
‑
支撑板，405
‑
金属弹簧，406
‑
音圈电机，5
‑
横梁，501
‑
方钢管，502
‑
混凝土C，6
‑
位置传感器，7
‑
速度传感器，8
‑
控制器。
具体实施方式
[0017]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]如图1所示，一种用于大型精密仪器的防微振平台，包括顶板1、空气弹簧2、支撑腿3和驱动器4，所述空气弹簧2为四个分别安装在顶板1底部的四个角，所述空气弹簧2底部连接支撑腿3，所述支撑腿3内侧壁上连接有驱动器4，所述驱动器4包括外壳401和推杆403，所述外壳401焊接在支撑腿3内侧壁上，所述外壳401顶部开设有通孔402，所述推杆403插入通孔402，所述推杆403顶部与顶板1底部连接，所述推杆403底部连接有支撑板404，所述推杆403的外侧套装有金属弹簧405，所述金属弹簧405的顶部与外壳401的顶部内侧连接固定，所述金属弹簧405的底部与支撑板404的顶部连接固定，所述支撑板404底部与外壳401底部内侧之间安装有音圈电机406，所述顶板1底部还安装有位置传感器6和速度传感器7，所述支撑腿3之间分别连接有横梁5，所述横梁5顶部安装有一个控制器8。
[0019]所述顶板1包括框体A101，所述框体A101由不锈钢板制成矩形结构，所述框体A101内部焊接有横向钢筋A102和纵向钢筋103，所述框体A101内部浇筑有混凝土A104。
[0020]所述支撑腿3包括框体B301，所述框体B301由不锈钢板制成矩形结构，所述框体B301内部焊接有横向钢筋B302和竖向钢筋303，所述横向钢筋B302为双层分别焊接在框体B 301的上部和下部，所述框体B301内部浇筑有混凝土B304。
[0021]所述外壳401底部固定在横梁5上。
[0022]所述横梁5包括方钢管501和混凝土C502，所述混凝土C502浇筑在方钢管501内部。
[0023]所述控制器8通过电缆与位置传感器6、速度传感器7、音圈电机406连接 。
[0024]工作时， 大型精密仪器放在顶板1上，通过空气弹簧2和支撑腿3实现承重，通过位置传感器6、速度传感器7采集振动信号，然后将信号传递给控制器8；高频振源时，通过空气弹簧2和金属弹簧405并联实现高频隔振；低频振源时，通过控制器8控制音圈电机406驱动推杆403实现低频隔振。
[0025]金属弹簧405通过推杆403上下推动实现其压缩和拉伸。
[0026]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型精密仪器的防微振平台，包括顶板、空气弹簧、支撑腿和驱动器，其特征在于，所述空气弹簧为四个分别安装在顶板底部的四个角，所述空气弹簧底部连接支撑腿，所述支撑腿内侧壁上连接有驱动器，所述驱动器包括外壳和推杆，所述外壳焊接在支撑腿内侧壁上，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆插入通孔，所述推杆顶部与顶板底部连接，所述推杆底部连接有支撑板所述推杆的外侧套装有金属弹簧，所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固定，所述金属弹簧的底部与支撑板的顶部连接固定，所述支撑板底部与外壳底部内侧之间安装有音圈电机，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述支撑腿之间分别连接有横梁，所述横梁顶部安装有一个控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的防微振平台，其特征在于，所述顶板包括框体A，所述框体A由...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙乐，胡振伟，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：