一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。本实用新型专利技术可以实现水平向和垂向双自由度减振，且定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】
一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。
[0004]在EUV等光刻机中，运动台都是处在真空环境中，而目前市场上常用的主动气浮型隔振器排放的气体会污染真空环境，而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄，定位不够精确等问题。

技术实现思路

[0005]技术的目的在于提供一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的：
[0007]一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。
[0008]进一步地，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。
[0009]进一步地，所述浮板呈倒置U型结构，所述浮板内侧安装有一层铝合金板。
[0010]进一步地，所述支腿同侧之间分别安装有横梁，所述横梁上安装有一个控制器，所述控制器安装在前侧的横梁顶部。
[0011]进一步地，所述支撑板由不锈钢板制成矩形结构。
[0012]进一步地，所述控制器通过电缆与电磁铁A、电磁铁B、位置传感器、速度传感器连接。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]本技术通过被动空气弹簧组件与磁浮组件串联的形式扩宽了系统垂向隔振带宽，并通过在水平向上设置磁浮组件实现水平向减振；并在浮板内侧安装有铝合金板避免系统磁场泄漏影响上层精密仪器运转。本技术可以实现水平向和垂向双自由度减
振，且定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图。
[0016]图中1
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顶板，2
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浮板，3
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支撑板，4
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支腿，5
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空气弹簧，6
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电磁铁A，7
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永磁铁A，8
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电磁铁B，9
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永磁铁B， 10
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位置传感器，11
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速度传感器，12
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控制器，13
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铝合金板，14
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横梁。
具体实施方式
[0017]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]如图1所示，一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板1、浮板2、支撑板3和支腿4，所述顶板1底部四个角分别安装有空气弹簧5，所述空气弹簧5底部安装在浮板2顶部，所述支撑板3底部四个角分别垂直安装有支腿4，所述支撑板2两侧分别安装有电磁铁A6，所述浮板2两侧内部与电磁铁A6同一水平向上分别对应安装有永磁铁A7，所述支撑板3顶部中间位置安装有电磁铁B8，所述浮板2底部中间位置与电磁铁B8垂直对应位置安装有永磁铁B9，所述顶板1底部还安装有位置传感器10和速度传感器11。
[0019]所述顶板1由不锈钢板制成矩形结构。
[0020]所述浮板2呈倒置U型结构，所述浮板2内侧安装有一层铝合金板13。
[0021]所述支腿4同侧之间分别安装有横梁14，所述横梁14上安装有一个控制器12，所述控制器12安装在前侧的横梁14顶部。
[0022]所述支撑板3由不锈钢板制成矩形结构。
[0023]所述控制器12通过电缆与电磁铁A6、电磁铁B8、位置传感器10、速度传感器11连接。
[0024]工作时， 精密仪器放在顶板1上，通过空气弹簧5、电磁铁B8与永磁铁B9之间的磁浮力实现承重，并通过位置传感器10、速度传感器11采集振动信号，然后将信号传递给控制器12；垂向振动时，通过空气弹簧5实现高频减振，通过控制器12控制电磁铁B8的磁场大小从而控制与永磁铁B9之间的磁力强弱从而驱动浮板2上下移动实现垂向低频减振；水平向振动时，通过控制器12控制电磁铁A6的磁场大小从而控制与永磁铁A7之间的磁力强弱从而驱动浮板2左右移动实现水平向低频减振。
[0025]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。2.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，李斌，孙乐，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：