一种全自动BSGS气体供应设备箱制造技术

本发明专利技术公开了一种全自动BSGS气体供应设备箱，包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构；所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头，所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接，通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除，其喷气范围更加灵活，提高了吹尘效率；所述回收机构包括回收腔以及若干个调节板，通过调节组件控制所述转动轴转动，所述调节板之间形成间隙，使所述吹尘机构对所述箱体内部吹起的灰尘进行吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔以及收集腔内部，最终从所述出口排出，提高了气体供应设备箱内部灰尘的清扫效率。部灰尘的清扫效率。部灰尘的清扫效率。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动BSGS气体供应设备箱


[0001]本专利技术涉及气体供应设备
，具体为一种全自动BSGS气体供应设备箱。

技术介绍

[0002]大流量特殊气体供应系统(Bulk Specialty Gas Supply System),简称BSGS，可实现电子特殊气体的持续大流量不间断安全供应，主要适用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工厂特气(如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCl)的集中供气。BSGS采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、温控等装置，实现设备安全有效的运行。同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
[0003]对于全自动BSGS气体供应设备箱来说，在日常使用过程中，其箱体内部容易积攒灰尘，而对于设备的清理一般需要人工进行清扫，效率低下，同时人工清扫无法保证正常的生产以及工人的安全。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种全自动BSGS气体供应设备箱，解决了现有气体供应设备箱体内部缺少对灰尘的装置以及通过人工清扫，易造成工人的安全本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构；所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头，所述移动架位于所述箱体前端，且所述移动架两端与所述箱体两侧的内壁滑动相连，所述移动架之间设有两组转动管，若干所述喷头分别安装在所述转动管外壁，且所述转动管两端与所述移动架之间相互转动，两组所转动管呈上下竖直布置，且所述喷头跟随所述转动管转动，所述转动管两侧分别设有连接接头，所述连接接头下端设有一接口，所述接口通过所述连接接头与所述转动管内部相互连通，所述气体输送模块位于所述箱体底端设有的放置腔内部，所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接，通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除；所述回收机构包括回收腔以及若干个调节板，所述回收腔位于所述箱体内部两侧，所述调节板分别位于所述回收腔内部，且所述回收腔两侧壁面分别对应设有转动孔，所述调节板两侧壁面分别设有转动轴，所述转动轴分别插在所述转动孔内部，且所述调节板通过所述转动轴与所述转动孔转动相连，若干所述调节板初始状态下保持竖直，且通过所述调节板一侧设有的调节组件进行控制，进而调整所述调节板摆动角度，所述回收腔下端设有收集腔，所述收集腔通过设有的出口与外界的吸尘装置相连，通过调节组件控制所述转动轴转动，所述调节板之间形成间隙，使所述吹尘机构对所述箱体内部吹起的灰尘进行吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔内，然后进入下端的所述收集腔内部，最终从所述出口排出。2.根据权利要求1所述的一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：所述移动架两侧分别设有固定块，且所述固定块之间通过设有的连杆相连。3.根据权利要求2所述的一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：所述移动架两侧设有移动组件，所述移动组件包括移动块、第一螺纹杆以及第一电机，所述箱体前端两侧分别设有移动槽，所述第一螺纹杆位于所述移动槽内部，所述第一螺纹杆上下两端分别与所述移动槽上下端转动相连，所述第一电机位于所述第一螺纹杆下端，所述第一电机输出端与所述第一螺纹杆下端相连，所述移动块分别位于所述移动架两侧的所述固定块外侧端，且两侧的所述移动块位于所述移动槽内部，且所述移动块中心位置设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述第一螺纹杆相互配合，通过所述第一电机控制所述第一螺纹杆转动，进而控制所述移动块在所述移动槽内上下移动，进而通过所述移动组件对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金海，何康，李利，
申请(专利权)人：上海弗川自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：