本发明专利技术公开了一种全自动BSGS气体供应设备箱，包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构；所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头，所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接，通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除，其喷气范围更加灵活，提高了吹尘效率；所述回收机构包括回收腔以及若干个调节板，通过调节组件控制所述转动轴转动，所述调节板之间形成间隙，使所述吹尘机构对所述箱体内部吹起的灰尘进行吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔以及收集腔内部，最终从所述出口排出，提高了气体供应设备箱内部灰尘的清扫效率。部灰尘的清扫效率。部灰尘的清扫效率。
【技术实现步骤摘要】
一种全自动BSGS气体供应设备箱
[0001]本专利技术涉及气体供应设备
，具体为一种全自动BSGS气体供应设备箱。
技术介绍
[0002]大流量特殊气体供应系统(Bulk Specialty Gas Supply System),简称BSGS，可实现电子特殊气体的持续大流量不间断安全供应，主要适用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工厂特气(如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCl)的集中供气。BSGS采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、温控等装置，实现设备安全有效的运行。同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
[0003]对于全自动BSGS气体供应设备箱来说，在日常使用过程中，其箱体内部容易积攒灰尘，而对于设备的清理一般需要人工进行清扫，效率低下，同时人工清扫无法保证正常的生产以及工人的安全。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种全自动BSGS气体供应设备箱，解决了现有气体供应设备箱体内部缺少对灰尘的装置以及通过人工清扫，易造成工人的安全以及清扫效率低下的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种全自动BSGS气体供应设备箱，包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构；
[0006]所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头，所述移动架位于所述箱体前端，且所述移动架两端与所述箱体两侧的内壁滑动相连，所述移动架之间设有两组转动管，若干所述喷头分别安装在所述转动管外壁，且所述转动管两端与所述移动架之间相互转动，两组所转动管呈上下竖直布置，且所述喷头跟随所述转动管转动，所述转动管两侧分别设有连接接头，所述连接接头下端设有一接口，所述接口通过所述连接接头与所述转动管内部相互连通，所述气体输送模块位于所述箱体底端设有的放置腔内部，所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接，通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除；
[0007]所述回收机构包括回收腔以及若干个调节板，所述回收腔位于所述箱体内部两侧，所述调节板分别位于所述回收腔内部，且所述回收腔两侧壁面分别对应设有转动孔，所述调节板两侧壁面分别设有转动轴，所述转动轴分别插在所述转动孔内部，且所述调节板通过所述转动轴与所述转动孔转动相连，若干所述调节板初始状态下保持竖直，且通过所述调节板一侧设有的调节组件进行控制，进而调整所述调节板摆动角度，所述回收腔下端设有收集腔，所述收集腔通过设有的出口与外界的吸尘装置相连，通过调节组件控制所述转动轴转动，所述调节板之间形成间隙，使所述吹尘机构对所述箱体内部吹起的灰尘进行吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔内，然后进入下端的所述收集腔内部，最终从所述出口排出。
[0008]优选的，所述移动架两侧分别设有固定块，且所述固定块之间通过设有的连杆相
连。
[0009]优选的，所述移动架两侧设有移动组件，所述移动组件包括移动块、第一螺纹杆以及第一电机，所述箱体前端两侧分别设有移动槽，所述第一螺纹杆位于所述移动槽内部，所述第一螺纹杆上下两端分别与所述移动槽上下端转动相连，所述第一电机位于所述第一螺纹杆下端，所述第一电机输出端与所述第一螺纹杆下端相连，所述移动块分别位于所述移动架两侧的所述固定块外侧端，且两侧的所述移动块位于所述移动槽内部，且所述移动块中心位置设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述第一螺纹杆相互配合，通过所述第一电机控制所述第一螺纹杆转动，进而控制所述移动块在所述移动槽内上下移动，进而通过所述移动组件对所述移动架高度进行控制。
[0010]优选的，所述箱体正面下端位置设有通槽，所述通槽与所述箱体底部放置所述气体输送模块的区域相互连通，所述移动架不工作时，通过所述移动组件移动至所述通槽内。
[0011]优选的，所述移动架一侧的所述固定块内部设有一转动组件，所述转动组件包括第二电机、蜗杆以及蜗轮，所述第二电机位于所述固定块内部，所述蜗杆一端位于所述第二电机输出端，且所述蜗杆另一端与所述固定块壁面转动相连，所述蜗轮分别位于上下两组的所述转动管一端，所述蜗轮位于一侧的所述固定块内部，且所述蜗轮分别位于所述蜗杆上下两侧，所述蜗杆与上下端的所述蜗轮分别啮合，通过所述第二电机控制所述蜗杆转动，进而带动所述蜗轮转动，所述蜗轮与所述转动杆一同转动，进而对所述转动管上的喷头角度进行调节。
[0012]优选的，所述调节组件包括齿条板以及若干齿轮，所述箱体靠近背面一侧两端分别设有调节槽，所述齿轮位于所述调节槽内部，且所述齿轮与所述调节板靠近所述箱体背面一侧的所述转动轴相连，所述齿轮与所述转动轴一同转动，所述齿条板竖直位于所述调节槽内部，且所述齿条板两侧壁面沿着所述调节槽内壁平滑竖直移动，所述齿条板分别与若干所述齿轮相互啮合，所述齿条板上下移动过程中，所述齿条板将带动所述齿轮转动，进而带动所述调节板转动，以控制所述调节板之间的间隙。
[0013]优选的，所述齿条板两侧壁面分别设有导轨，所述调节槽两侧内壁分别设有滑动槽，所述导轨与所述滑动槽相互配合滑动。
[0014]优选的，所述齿条板下端设有一控制组件，所述控制组件包括第三电机、第二螺纹杆以及连接块，所述第三电机位于所述调节槽下端，所述第二螺纹杆位于所述调节槽内，且所述第二螺纹杆上下端分别与所述调节槽上下端转动相连，所述连接块位于所述齿条板背面，所述连接块表面设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第二螺纹杆相互配合，通过所述第三电机控制所述第二螺纹杆转动，进而控制所述连接块上下移动，使所述齿条板带动所述齿轮转动。
[0015]优选的，所述调节板外侧表面分别设有密封条，所述调节板保持竖直状态时，所述密封条之间相互挤压，保持所述箱体内部的密封性。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0017]1、本专利技术中，设置了吹尘机构，通过吹尘机构中的气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除，且吹除过程中不仅可以通过移动组件对移动架进行高度调节，还可通过移动架两侧位于固定块内部的转动组件对转动管进行转动调节，扩大了喷头吹气的区域，使喷气区域更加灵活，提高了
吹尘效率。
[0018]2、本专利技术中，设置了回收机构，通过调节组件中齿条板与齿轮相互配合，进而控制所述转动轴转动，对调节板之间的间隙进行调节，当调节板从竖直状态，向一侧倾斜时，通过吹尘机构对箱体内部的设备表面的灰尘进行吹起，此时灰尘将被回收腔内的负压吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔内，然后进入下端的所述收集腔内部，最终从所述出口排出，本专利技术提高了气体供应设备箱内部灰尘的清扫效率，同时保证了清扫过程中设备箱的密闭状态，无需人工进行清扫，保证了生产的效率以及工人的安全。
附图说明
[0019]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构；所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头，所述移动架位于所述箱体前端，且所述移动架两端与所述箱体两侧的内壁滑动相连，所述移动架之间设有两组转动管，若干所述喷头分别安装在所述转动管外壁，且所述转动管两端与所述移动架之间相互转动，两组所转动管呈上下竖直布置，且所述喷头跟随所述转动管转动，所述转动管两侧分别设有连接接头，所述连接接头下端设有一接口，所述接口通过所述连接接头与所述转动管内部相互连通，所述气体输送模块位于所述箱体底端设有的放置腔内部，所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接，通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体，并通过所述喷头前端喷出，对所述箱体内部仪器表面的灰尘进行吹除；所述回收机构包括回收腔以及若干个调节板，所述回收腔位于所述箱体内部两侧，所述调节板分别位于所述回收腔内部，且所述回收腔两侧壁面分别对应设有转动孔，所述调节板两侧壁面分别设有转动轴，所述转动轴分别插在所述转动孔内部，且所述调节板通过所述转动轴与所述转动孔转动相连，若干所述调节板初始状态下保持竖直，且通过所述调节板一侧设有的调节组件进行控制，进而调整所述调节板摆动角度，所述回收腔下端设有收集腔，所述收集腔通过设有的出口与外界的吸尘装置相连，通过调节组件控制所述转动轴转动，所述调节板之间形成间隙，使所述吹尘机构对所述箱体内部吹起的灰尘进行吸引，使灰尘通过所述调节板之间的间隙进入所述回收腔内，然后进入下端的所述收集腔内部，最终从所述出口排出。2.根据权利要求1所述的一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：所述移动架两侧分别设有固定块，且所述固定块之间通过设有的连杆相连。3.根据权利要求2所述的一种全自动BSGS气体供应设备箱，其特征在于：所述移动架两侧设有移动组件，所述移动组件包括移动块、第一螺纹杆以及第一电机，所述箱体前端两侧分别设有移动槽，所述第一螺纹杆位于所述移动槽内部，所述第一螺纹杆上下两端分别与所述移动槽上下端转动相连，所述第一电机位于所述第一螺纹杆下端，所述第一电机输出端与所述第一螺纹杆下端相连，所述移动块分别位于所述移动架两侧的所述固定块外侧端，且两侧的所述移动块位于所述移动槽内部，且所述移动块中心位置设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述第一螺纹杆相互配合，通过所述第一电机控制所述第一螺纹杆转动，进而控制所述移动块在所述移动槽内上下移动，进而通过所述移动组件对所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄金海，何康，李利，
申请(专利权)人：上海弗川自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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