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本发明公开了一种全自动BSGS气体供应设备箱,包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构;所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头,所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接,通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体,...该专利属于上海弗川自动化技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海弗川自动化技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种全自动BSGS气体供应设备箱,包括箱体、位于箱体内部的吹尘机构以及回收机构;所述吹尘机构包括移动架、气体输送模块以及若干喷头,所述气体输送模块通过设有的输送管道与所述接口相互连接,通过所述气体输送模块向所述转动管内输送气体,...