一种硅烷高空紧急放散系统及方法技术方案

一种硅烷高空紧急放散系统及方法,系统包括钢结构塔架、设在钢结构塔架内的放散立管，放散立管上设有分子封，分子封上设有分子封排凝管线，分子封与放散燃烧器连接，钢结构塔架的中部设有水平硅烷放散气管线，水平硅烷放散气管线上依次设有压力变送器和放散快关阀；钢结构塔架的下部设有新鲜水管线，钢结构塔架的上部设有氮气吹扫管线，氮气吹扫管线上设有支管，支管上设有止回阀，进入水平硅烷放散气管线的放散气体经压力变送器和放散快关阀进入放散立管，经分子封进入放散燃烧器内燃烧无污染排放，分子封内部的凝液通过分子封排凝管线流入污水收集处。其结构紧凑，操作方便，可实现多级放散，安全可靠，火焰稳定且刚性强、设备寿命高。命高。命高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷高空紧急放散系统及方法


[0001]本专利技术涉及一种硅烷高空紧急放散系统及方法，尤其适用于处理电子、信息、能源、材料、化工、机械及光学等领域产生的硅烷废气。

技术介绍

[0002]硅烷通过热分解或与其它气体的化学反应，可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质，在高科技中被广泛应用并且越来越重要。浓度大于8％的硅烷遇氧发生剧烈反应，出现剧烈燃烧现象，反应产生大量热量使硅烷迅速分解成(S
i
H2)X并进一步燃烧生成S
i
O2，硅烷同时还会刺激眼睛、皮肤及呼吸系统。鉴于硅烷的自燃性和危害性，放散系统上游装置超压或生产过程中产生的硅烷废气需特殊处理，此时就需要配备一种硅烷紧急放散系统。
[0003]现有技术中，通常放散气管线仅设置一台放散快关阀控制放散气的排放，放散快关阀出现故障则易造成放散系统上游装置憋压。同时，在小流量工况下，放散系统检测的压力信号值较小，较难设置匹配放散快关阀开启压力的准确信号。现有技术中分子封内凝液通过分子封排凝管线处手阀的排凝易本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：它包括钢结构塔架(6)、设在钢结构塔架(6)内的放散立管(2)，所述放散立管(2)的顶部设有分子封(3)，所述分子封(3)的底部设有分子封排凝管线(4)，分子封(3)上端经连接管延伸出钢结构塔架(6)顶部，与放散燃烧器(5)法兰连接，所述钢结构塔架(6)的中部设有与放散立管(2)相通的水平硅烷放散气管线(1)，所述的水平硅烷放散气管线(1)上依次设有压力变送器(1
‑
1)和放散快关阀(1
‑
2)；所述钢结构塔架(6)的下部设有与分子封排凝管线(4)下部相通的新鲜水管线(4
‑
2)，钢结构塔架(6)的上部设有与放散立管(2)相通持续对水平硅烷放散气管线(1)、分子封(3)注入氮气的氮气吹扫管线(7)，所述氮气吹扫管线(7)上设有与水平硅烷放散气管线(1)相通的支管，支管上设有止回阀(7
‑
1)，进入水平硅烷放散气管线(1)的放散气体经压力变送器(1
‑
1)和放散快关阀(1
‑
2)进入放散立管(2)，经分子封(3)进入放散燃烧器(5)内燃烧无污染排放，分子封(3)内部的凝液通过分子封排凝管线(4)流入污水收集处。2.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的放散气动快关阀(1
‑
2)入口管路上设有连通出口管路的旁通管，旁通管路上并联有爆破片或爆破针阀(1
‑
3)及DN50小口径阀门(1
‑
4)。3.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的放散立管(2)下部设有可定期排放凝集液的倾斜挡板(2
‑
1)，倾斜挡板(2
‑
1)处设有阀门控制的排凝管线(2
‑
2)。4.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的分子封(3)的底板(3
‑
1)倾斜布置，以防止空气由燃烧器出口渗入放散立管及上游系统，在底板(3
‑
1)倾斜角处设有随时排出积液的排凝口。5.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的分子封排凝管线(4)底部为U型水封结构(4
‑
1)，U型水封结构(4
‑
1)的U型底部设有排污管(4
‑
3)。6.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的放散燃烧器(5)上依次设有多孔型的防风罩(5
‑
1)及稳火圈(5
‑
2)。7.根据权利要求1所述的一种硅烷高空紧急放散系统，其特征在于：所述的氮气吹扫管线(7)上分别设有控制进入放散立管(2)和与水平硅烷放散气管线(1)相通支管(8)的控制阀。8.根据权利要求1
‑
7任一项所述硅烷高空紧急放散...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯贺，李朝辉，黄东方，毛军亮，
申请(专利权)人：徐州燃烧控制研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：