一种晶圆测试载具制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆测试载具，包括夹持组件以及支撑组件；夹持组件包括至少二个夹持臂，多个夹持臂的第一端连接于中心块，至少一个夹持臂与中心块铰接并可相对于中心块转动，每一夹持臂上均设置有止挡块，止挡块与中心块之间的距离可调；支撑组件设置在夹持组件的下方，且支撑组件铰接于中心块。本实用新型专利技术的晶圆测试载具可以避免也晶圆的表面接触，从而避免对晶圆表面造成污染，提高晶圆检测的准确性，还能够避免造成晶圆的损坏。还能够避免造成晶圆的损坏。还能够避免造成晶圆的损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试载具


[0001]本技术涉及半导体器件制造的
，尤其涉及一种用于在晶圆进行测试时使用的晶圆测试载具。

技术介绍

[0002]随着电子技术的发展，半导体器件的应用越来越广泛。半导体器件制造过程中，经常需要涉及晶圆表面分析等操作，例如需要进行ICP
‑
MS测试，以对晶圆表面的金属杂质进行分析，通过金相显微镜观察晶圆表面形貌等。
[0003]通常，晶圆放置在一个晶圆盒中，需要对晶圆进行测试时，需要将晶圆从晶圆盒中取出，然后将晶圆放置在测试装置上，例如放置在测试装置的工作台上。对晶圆测试完毕后，需要将晶圆从测试装置取下，再放回去晶圆盒中。但由于没有专用的晶圆取放装置，通常需要使用真空吸笔或镊子进行晶圆取放的操作。如图1所示，对晶圆11进行测试时，使用真空吸笔13取出晶圆。真空吸笔13包括一个吸附头14以及笔杆15，取放晶圆11时，需要将吸附头14贴合在晶圆的表面上，通过真空吸笔13将晶圆11吸附并放置到工作台12上，例如放置在显微镜台上。
[0004]但是，由于真空吸笔13需要与晶圆11的表面直接接触，容易对晶圆11表面造成污染，在后续对晶圆11进行分析时，对分析结果造成干扰，导致分析结果不准确。因此，在对晶圆11表面进行分析的情况下，不宜使用真空吸笔13取放晶圆11。另一方面，使用真空吸笔13取出晶圆11后，还需要将晶圆11放到测试装置的工作台12上，由于工作台12也会与晶圆11的表面接触，导致将晶圆11放置到工作台12的过程同样会对晶圆11的表面造成污染，如果对晶圆背面进行检测，则容易因为晶圆11的背面与工作台12接触后引入污染物而影响检测的准确性。
[0005]并且，由于晶圆11需要通过真空吸笔13放置到工作台12上，需要执行放置晶圆11的操作，一旦操作不慎，容易导致晶圆11掉落，导致晶圆11损坏甚至破损。可见，现有的晶圆11测试过程存在容易引入污染物以及容易导致晶圆11损坏的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是提供一种能够避免对晶圆表面造成污染且不容易损坏晶圆的晶圆测试载具。
[0007]为了实现上述的目的，本技术提供的晶圆测试载具包括夹持组件以及支撑组件；夹持组件包括至少二个夹持臂，多个夹持臂的第一端连接于中心块，至少一个夹持臂与中心块铰接并可相对于中心块转动，每一夹持臂上均设置有止挡块，止挡块与中心块之间的距离可调；支撑组件设置在夹持组件的下方，且支撑组件铰接于中心块。
[0008]由上述方案可见，使用多个夹持臂可以夹持晶圆，例如将多个夹持臂展开后，通过调节止挡块在合适的位置，由止挡块对晶圆的边缘进行夹持，而不是对晶圆的表面进行夹持，从而避免真空笔与晶圆表面接触而对晶圆表面造成污染，提高对晶圆表面分析的准确
性。
[0009]另一方面，由于晶圆测试载具设置有支撑组件，因此晶圆载具能够直接放置在工作台上，例如将支撑组件放置在工作台上，直接使用晶圆测试载具对晶圆进行支撑并完成测试操作，而不需要将晶圆从晶圆载具放置到工作台上，因此不存在将晶圆放置到工作台的操作，减少晶圆掉落而导致晶圆损坏的风险。
[0010]并且，由于止挡块与中心块之间的距离可调，可以根据待测试的晶圆尺寸的不同调节止挡块的位置，使得晶圆测试载具能够适应不同尺寸的晶圆，兼容性好。
[0011]一个优选的方案是，多个夹持臂中的一个为固定夹持臂，中心块固定于固定夹持臂的第一端。
[0012]由此可见，固定夹持臂不能相对于固定块转动，夹持组件的结构简单，甚至将中心块与固定夹持臂一体成型，降低夹持组件的组装难度与组装成本。
[0013]一个优选的方案是，多个夹持臂中的至少一个为活动夹持臂，活动夹持臂的第一端与中心块铰接。
[0014]由此可见，活动夹持臂可以相对于中心块转动，从而可以在展开状态与收纳状态之间转动，方便晶圆测试载具收纳。
[0015]进一步的方案是，至少一个夹持臂为伸缩夹持臂，伸缩夹持臂具有固定部以及可相对于固定部伸缩滑动的滑动部，止挡块位于滑动部远离中心块的一端。
[0016]可见，通过滑动部的滑动，可以带动止挡块的移动，从而实现止挡块的位置调节。
[0017]进一步的方案是，固定部设置有第一滑槽，滑动部在第一滑槽内滑动，第一滑槽设置有至少一个第一定位孔，滑动部的第一定位件与第一定位孔连接。
[0018]可见，在调节滑动部的长度后，通过第一定位件与第一定位孔的配合，将滑动部固定在固定部的特定位置上，避免夹持晶圆、晶圆测试过程中滑动部伸缩而导致晶圆掉落。
[0019]更进一步的方案是，第一定位孔为螺纹孔，第一定位件为螺钉。由于螺钉与螺纹孔的配合非常稳定、牢固，可以有效避免滑动部意外伸缩的情况发生。
[0020]更进一步的方案是，固定部上设置有至少一个刻度标记，每一刻度标记对应于一个第一定位孔。
[0021]可见，在调节滑动部的滑动距离时，可以根据可读标记来确定第一定位件固定到哪个第一定位孔中。
[0022]更进一步的方案是，一个夹持臂为长度固定夹持臂，长度固定夹持臂设置有第二滑槽，调节滑块可在第二滑槽内滑动，止挡块设置于调节滑块上。
[0023]由此可见，通过调节滑块带动止挡块滑动，也可以实现止挡块位置的调节，满足不同尺寸晶圆测试的需求。
[0024]更进一步的方案是，第二滑槽设置有至少一个第二定位孔，调节滑块的第二定位件与第二定位孔连接。
[0025]更进一步的方案是，止挡块靠述中心块的一侧设置有斜面。优选的，晶圆的边缘可以抵接在该斜面上。这样，通过该斜面的支撑作用，晶圆的下表面并不会与夹持臂接触，从而避免夹持臂对晶圆的表面造成污染，对晶圆的背面进行测试时，能够确保不会引入污染物，提高检测的准确性。
[0026]可选的方案是，支撑组件包括支撑杆，支撑杆的第一端铰接于中心块，支撑杆的第
二端设置有支撑爪组件。
[0027]由此可见，支撑杆可以相对于中心块转动，在需要展开时，只需要将支撑杆转动一定角度即可，操作非常简单。并且，通过对支撑杆进行转动，在收纳时可以减少晶圆测试载具的体积，晶圆测试载具占用的空间很小。
[0028]更进一步的方案是，支撑爪组件包括至少三个支撑臂，每一支撑臂均铰接于支撑杆的第二端，每一支撑臂均可以相对于支撑杆在第一方向上转动。
[0029]可见，多个支撑臂可以展开，从而形成三个以上的支撑点，使得晶圆测试载具牢固的支撑在工作台上。
[0030]可选的方案是，支撑臂的数量为三个，三个支撑臂沿第二方向依次布置，沿第二方向，两个端部支撑臂可相对于支撑杆沿第二方向转动。
[0031]由此可见，两个端部支撑臂可以在两个不同的方式上转动，使得支撑爪组件更快牢固的支撑在工作台上。
[0032]更进一步的方案是，支撑杆的第一端的端壁处，靠近中心块的边缘设置成弧面，远离中心块的边缘设置成直角面。
[0033]这样，当支撑杆需要转动时，弧面的设计能够确保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆测试载具，其特征在于，包括：夹持组件以及支撑组件；所述夹持组件包括至少二个夹持臂，多个所述夹持臂的第一端连接于中心块，至少一个所述夹持臂与所述中心块铰接并可相对于所述中心块转动，每一所述夹持臂上均设置有止挡块，所述止挡块与所述中心块之间的距离可调；所述支撑组件设置在所述夹持组件的下方，且所述支撑组件铰接于所述中心块。2.根据权利要求1所述的晶圆测试载具，其特征在于：多个所述夹持臂中的一个为固定夹持臂，所述中心块固定于所述固定夹持臂的第一端。3.根据权利要求2所述的晶圆测试载具，其特征在于：多个所述夹持臂中的至少一个为活动夹持臂，所述活动夹持臂的第一端与所述中心块铰接。4.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆测试载具，其特征在于：至少一个所述夹持臂为伸缩夹持臂，所述伸缩夹持臂具有固定部以及可相对于所述固定部伸缩滑动的滑动部，所述止挡块位于所述滑动部远离所述中心块的一端。5.根据权利要求4所述的晶圆测试载具，其特征在于：所述固定部设置有第一滑槽，所述滑动部在所述第一滑槽内滑动，所述第一滑槽设置有至少一个第一定位孔，所述滑动部的第一定位件与所述第一定位孔连接。6.根据权利要求5所述的晶圆测试载具，其特征在于：所述第一定位孔为螺纹孔，所述第一定位件为螺钉。7.根据权利要求5所述的晶圆测试载具，其特征在于：所述固定部上设置有至少一个刻度标记，每一所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘睿，
申请(专利权)人：英诺赛科珠海科技有限公司，
类型：新型
国别省市：