一种多自由度运动平台及位移台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备领域，公开了一种多自由度运动平台及位移台装置，其中多自由度运动平台包括第一柔性运动机构和第二柔性运动机构，所述第一柔性运动机构包括第一柔性铰链，以及用于驱动所述第一柔性铰链沿Rx、Ry及Z三自由度运动的第一驱动组件；第二柔性运动机构，架设于所述第一柔性铰链上方并与所述第一柔性铰链紧固；所述第二柔性运动机构包括第二柔性铰链，以及用于驱动所述第二柔性铰链沿X、Y及Rz三自由度运动的第二驱动组件。本实用新型专利技术结构简单，易于装配，且便于维护，同时还能够通过第一柔性运动机构和第二柔性机构的组合，较为精准的满足工件多自由度运动需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种多自由度运动平台及位移台装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，特别是涉及一种多自由度运动平台及位移台装置。

技术介绍

[0002]现有技术下的多自由度位移台大多采用刚性件装配而成，由于刚性件装配后会存在响应滞后、装配间隙大、零件之间容易磨损等缺点，因此使得以此方式装配而成的位移台精度和寿命都大大降低。
[0003]柔性铰链通过材料自身的弹性弯曲形变来实现高精度的相对运动，具有无摩擦损耗、无需润滑、无迟滞、无需维护、结构紧凑、易于制造等优点，但在运动的自由度上，仍存在缺陷，要么运动受限，要么轴漂过大。因此如何采用柔性铰链设计一款稳定的能够满足多自由度运动的位移台，成为一个亟需解决的技术问题。
[0004]因此本领域技术人员致力于开发一种多自由度的运动平台及位移台装置。

技术实现思路

[0005]有鉴于现有技术的上述缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种多自由度的运动平台及位移台装置。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种多自由度运动平台，包括：
[0007]第一柔性运动机构，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多自由度运动平台，其特征是，包括：第一柔性运动机构(2)，所述第一柔性运动机构(2)包括第一柔性铰链，以及用于驱动所述第一柔性铰链沿Rx、Ry及Z三自由度运动的第一驱动组件；第二柔性运动机构(3)，架设于所述第一柔性铰链上方并与所述第一柔性铰链紧固；所述第二柔性运动机构(3)包括第二柔性铰链，以及用于驱动所述第二柔性铰链沿X、Y及Rz三自由度运动的第二驱动组件。2.如权利要求1所述的多自由度运动平台，其特征是：还包括用于架设所述第一柔性铰链的底板(23)，所述底板(23)与所述第一柔性铰链间隔设置，所述第一驱动组件安装于所述底板与所述第一柔性铰链之间。3.如权利要求1所述的多自由度运动平台，其特征是：所述第一柔性铰链包括支撑部(21)，所述支撑部(21)连接有多个延伸臂(221)，各所述延伸臂(221)另一端一一对应连接有安装座(222)，所述安装座(222)顶部连接所述第二柔性运动机构(3)，所述安装座(222)下底面设置有第一斜面(2221)。4.如权利要求3所述的多自由度运动平台，其特征是：所述第一驱动组件包括电机(242)，所述电机(242)连接有与延伸臂(221)长度方向一致的丝杆(243)，所述丝杆(243)与滑块(241)螺纹连接，所述滑块(241)上部设置有与所述第一斜面(2221)滑动配合的第二斜面，所述滑块(241)下方与导轨(244)滑动配合。5.如权利要求1所述的多自由度运动平台，其特征是:所述第二柔性运动机构(3)包...

【专利技术属性】
技术研发人员：娄飞，
申请(专利权)人：深圳市雕拓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：