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本实用新型涉及半导体加工设备领域，公开了一种多自由度运动平台及位移台装置，其中多自由度运动平台包括第一柔性运动机构和第二柔性运动机构，所述第一柔性运动机构包括第一柔性铰链，以及用于驱动所述第一柔性铰链沿Rx、Ry及Z三自由度运动的第一驱动组...
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