一种晶圆切割剥膜工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割剥膜工装，包括底板和电动推杆，所述底板的两侧固定连接侧板，所述侧板的表面固定连接电动推杆，所述电动推杆的另一侧设有固定柱，所述固定柱的另一侧固定连接第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的另一侧设有转盘，所述转盘呈对称分布形式，所述转盘的一侧设有第一夹持环，所述第一夹持环的侧边设有第二夹持环，所述第一夹持环和第二夹持环的中间开设放置处。该一种晶圆切割剥膜工装，通过在夹持环的侧边设置转盘，使夹持环可以进行来回翻转，这样就可以由工作人员根据实际的情况来改变晶圆薄膜的方向进行转动，从而调节工作人员在操作过程中的角度位置，减低工作难度，使用时非常方便。使用时非常方便。使用时非常方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割剥膜工装


[0001]本技术属于晶圆切割
，尤其涉及一种晶圆切割剥膜工装。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，之后就需要在晶圆的表面放置一层薄膜保证其不受损伤，需要使用时就需要将薄膜剥离，在这种情况下，对剥离技术也是越发重视。
[0003]现市面上的晶圆切割剥膜工装在使用时存在以下问题：
[0004]1、传统的晶圆切割剥膜工装通常在使用时，通常放置晶圆结构的为固定角度，所以在工作人员进行剥离薄膜时就只能按照其固定角度操作，这样就导致了无法根据实际的情况来随时调整晶圆的角度，使操作时费时费力，剥膜操作时不够方便；
[0005]2、传统的晶圆切割剥膜工装通常功能性较为单一，由于剥离晶圆表面的薄膜属于细致的工作，所以工作人员在进行薄膜工作时需要特别注意小心剥离，但由于传统的晶圆切割剥膜工装缺少能够放大晶圆的结构，导致工作人员在操作过程中可能会看不清楚，造成在操作的难度较高。

技术实现思路

[0006]本技术目的在于提供一种晶圆切割剥膜工装，以解决
技术介绍
中所提出的技术问题。
[0007]为实现上述目的，本技术的具体技术方案如下：一种晶圆切割剥膜工装，包括底板和电动推杆，所述底板的两侧固定连接侧板，所述侧板的表面固定连接电动推杆，所述电动推杆的另一侧设有固定柱，所述固定柱的另一侧固定连接第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的另一侧设有转盘，所述转盘的一侧设有第一夹持环，所述第一夹持环的侧边设有第二夹持环，所述第一夹持环和第二夹持环的中间开设放置处。
[0008]优选的，所述底板的外部设有外壳，所述外壳的内部设有放大镜，所述外壳的外表设有照明灯。
[0009]优选的，所述外壳的顶部固定连接万向杆，所述万向杆的底部固定连接转轴，所述底板的表面固定连接固定座，所述固定座固定在转轴两边，所述转轴和固定座通过轴杆旋转。
[0010]优选的，所述第二夹持环的底面固定连接套筒，所述第一夹持环的底部固定连接第二伸缩杆，所述第二伸缩杆在套筒的内部滑动。
[0011]优选的，所述电动推杆的设有限位板，所述限位板固定连接在侧板上。
[0012]优选的，所述照明灯分布在外壳四周。
[0013]本技术的一种晶圆切割剥膜工装具有以下优点：
[0014]1.该一种晶圆切割剥膜工装，通过在夹持环的侧边设置转盘，使夹持环可以进行来回翻转，这样就可以由工作人员根据实际的情况来改变晶圆薄膜的方向进行转动，使得
工作人员在剥膜操作过程中可以方便的调整角度位置，操作时省时省力，使用时非常方便；
[0015]2.该一种晶圆切割剥膜工装，通过在晶圆切割剥膜工装添加放大镜设备结合照明灯，放大镜设备的底部固定连接有一个万向杆，这样工作人员在工作时就可以自由调整万向杆来调整放大镜的位置，而后通过放大镜对晶圆的剥膜处进行剥膜，同时照明灯还可以额外提供光源，让工作人员看的更加清楚，降低了剥膜时的难度。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的转轴结构示意图；
[0019]图3为本技术的万向杆结构示意图；
[0020]图4为本技术的放大镜结构示意图；
[0021]图中标记说明：1、底板；2、侧板；3、电动推杆；4、夹持环；5、放置处；6、套筒；7、转盘；8、第一伸缩杆；9、固定柱；10、限位板；11、万向杆；12、转轴；13、第二伸缩杆；14、放大镜；15、照明灯；16、外壳；17、固定座；18、轴柱；19、第二夹持环。
具体实施方式
[0022]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0023]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0026]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术实施例的不同结构。为了简化本技术实施例的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术实施例。此外，本技术实施例可
以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
[0027]为了更好地了解本技术的目的、结构及功能，下面结合附图，对本技术一种晶圆切割剥膜工装做进一步详细的描述。
[0028]如图1
‑
4所示，本技术的一种晶圆切割剥膜工装，包括底板1和电动推杆3，所述底板1的两侧固定连接侧板2，所述侧板2的表面固定连接电动推杆3，所述电动推杆3的另一侧设有固定柱9，所述固定柱9的另一侧固定连接第一伸缩杆8，所述第一伸缩杆8的另一侧设有转盘7，所述转盘7呈对称分布形式，所述转盘7的一侧设有第一夹持环4，所述第一夹持环4的侧边设有第二夹持环19，所述第一夹持环4和第二夹持环19的中间开设放置处5，通过设置转盘7，这样就可以由工作人员根据实际的情况来改变晶圆薄膜的方向进行转动，从而调节工作人员在操作过程中的角度位置，减低工作难度，使用时非常方便。
[0029]所述底板1的外部设有外壳16，所述外壳16的内部设有放大镜14，所述外壳16本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割剥膜工装，包括底板(1)和电动推杆(3)，其特征在于：所述底板(1)的两侧固定连接侧板(2)，所述侧板(2)的表面固定连接电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的另一侧设有固定柱(9)，所述固定柱(9)的另一侧固定连接第一伸缩杆(8)，所述第一伸缩杆(8)的另一侧设有转盘(7)，所述转盘(7)呈对称分布形式，所述转盘(7)的一侧设有第一夹持环(4)，所述第一夹持环(4)的侧边设有第二夹持环(19)，所述第一夹持环(4)和第二夹持环(19)的中间开设放置处(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割剥膜工装，其特征在于：所述底板(1)的外部设有外壳(16)，所述外壳(16)的内部设有放大镜(14)，所述外壳(16)的外表设有照明灯(15)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割剥膜工装，...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌业中，纪东礼，
申请(专利权)人：无锡有容微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：