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一种晶圆切割剥膜工装制造技术
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下载一种晶圆切割剥膜工装的技术资料
文档序号:37753834
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本实用新型公开了一种晶圆切割剥膜工装,包括底板和电动推杆,所述底板的两侧固定连接侧板,所述侧板的表面固定连接电动推杆,所述电动推杆的另一侧设有固定柱,所述固定柱的另一侧固定连接第一伸缩杆,所述第一伸缩杆的另一侧设有转盘,所述转盘呈对称分布形...
该专利属于无锡有容微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡有容微电子有限公司授权不得商用。
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