一种半导体加工用防尘工作台制造技术

技术编号:37741995 阅读:18 留言:0更新日期:2023-06-02 09:43
本实用新型专利技术公开了一种半导体加工用防尘工作台,包括工作台,所述半导体加工用防尘工作台还包括:防尘构件安装在所述工作台的顶端外壁;封闭构件安装在所述防尘构件的前表面;其中,所述防尘构件用于对工作台进行防尘工作,所述封闭构件用于对防尘构件形成封闭和取消封闭。本实用新型专利技术设置,通过设置的防尘构架在使用过程中,可以使工作台形成防尘空间,可以防止灰尘进入,同时通过设置的槽板和滤网,达到了可以对框架的内部进行通风工作,同时可以防止灰尘进入,通过设置的封闭构件,达到了配合防尘构件进行防尘工作,同时可以便于工作人员的进出工作,同时增加框架内部的通风性。同时增加框架内部的通风性。同时增加框架内部的通风性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用防尘工作台


[0001]本技术涉及半导体加工
,具体为一种半导体加工用防尘工作台。

技术介绍

[0002]半导体材料在工业方面的应用越来越多,新型半导体材料表现为其结构稳定,拥有卓越的电学特性,而且成本低廉,可被用于制造现代电子设备中广泛使用,我国与其他国家相比在这方面还有着很大一部分的差距,通常会表现在对一些基本仪器的制作和加工上,近几年来,国家很多的部门已经针对我国相对于其他国家存在的弱势,这一方面统一的组织了各个方面的群体,对其进行有效的领导,然后共同努力去研制更加高水平的半导体材料;
[0003]目前,在半导体加工时,无法做到对工作台在工作过程中形成无尘空间,在对半导体加工时会受到灰尘影响,导致影响加工后的半导体的使用性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体加工用防尘工作台,以解决上述
技术介绍
中提出的目前,在半导体加工时,无法做到对工作台在工作过程中形成无尘空间,在对半导体加工时会受到灰尘影响,导致影响加工后的半导体的使用性的问题。
[0005]为实现上述目的,本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用防尘工作台,包括工作台(1),其特征在于,所述半导体加工用防尘工作台还包括:防尘构件(2),安装在所述工作台(1)的顶端外壁;封闭构件(3),安装在所述防尘构件(2)的前表面。2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用防尘工作台,其特征在于,所述防尘构件(2)包括:扣板(201),螺纹连接在所述工作台(1)的顶端;框架(202),插接在所述扣板(201)的外壁;螺纹块(203),螺纹连接在所述扣板(201)的外侧;凸块(204),插接在所述框架(202)的底端内部;槽板(205),插接在所述框架(202)的内部;滤网(206),固接在所述槽板(205)的内部。3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用防尘工作台,其特征在于,所述框...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴智茂
申请(专利权)人:莒南县金来电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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