下载一种半导体加工用防尘工作台的技术资料

文档序号:37741995

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本实用新型公开了一种半导体加工用防尘工作台,包括工作台,所述半导体加工用防尘工作台还包括:防尘构件安装在所述工作台的顶端外壁;封闭构件安装在所述防尘构件的前表面;其中,所述防尘构件用于对工作台进行防尘工作,所述封闭构件用于对防尘构件形成封闭...
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