一种液体取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种液体取样装置，包括依次连通的第一管路、第二管路和第三管路，第二管路为向上的管路，第一管路和第三管路均为水平管路，且第三管路的水平高度高于第一管路的水平高度；第三管路上连接有取样管路，取样管路与第三管路呈角度设置，取样管路向下延伸至取样瓶内；第三管路的内径大于第二管路和取样管路的内径。本实用新型专利技术通过设置向上延伸的第二管路，使液体在第二管路中得到缓冲，液体从湍流状态变成层流状态，同时，通过将第三管路的内径设置为大于第二管路的内径，使液体流经第三管路时，有一定的空间释放气泡，进一步稳定液体产品的状态，减小对产品检测的影响。减小对产品检测的影响。减小对产品检测的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种液体取样装置


[0001]本技术属于液体检测
，具体为一种液体取样装置。

技术介绍

[0002]在电路制造过程中，常需要在晶圆上定义出极细微尺寸的图案，这些图案主要的形成方式，就是使用蚀刻技术，将微影(微光刻)后所产生的光阻图案忠实地转印至光阻的材质上，以形成积体电路的复杂架构。因此蚀刻技术在半导体制造过程中占有极其重要的地位。
[0003]蚀刻液的成品取样检测是判断蚀刻液产品是否符合要求的唯一方式，是蚀刻液生产制造过程中最重要的一环，在传统的蚀刻液生产过程中，蚀刻液成品取样时，是将取样管路连接到反应釜后，直接打开阀门取样，由于釜内压力很大，使蚀刻液产品在取样管路中高速流动，导致液体产品流动的雷诺数＞4000，蚀刻液在管路中形成湍流，同时存在较多气泡，直接取样的样品状态不稳定，致使在检测过程中样品颗粒通常高于实际值；为了检测的准确性，检测样品需要静置很长时间，待样品状态稳定、气泡消除后再去检测，最终才能检测出实际颗粒数值，在这一过程中样品的静置时间通常要超过24h，生产效率较低。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中的问题，本技术提供一种液体取样装置，该装置能够减少管路中的液体湍流，使取样时样品状态稳定，实现样品状态与产品实际状态相符合。
[0005]本技术采用以下技术方案：
[0006]一种液体取样装置，包括依次连通的第一管路、第二管路和第三管路，第一管路和第三管路均为水平管路，且第三管路的水平高度高于第一管路的水平高度；第三管路上连接有取样管路，取样管路与第三管路呈角度设置，取样管路向下延伸至取样瓶内；第三管路的内径大于第二管路和取样管路的内径。
[0007]进一步的，第二管路和取样管路均为竖直管路，第二管路、第三管路和取样管路连通形成倒U型管路。
[0008]进一步的，第三管路的内径与第二管路和取样管路的内径比例均为n,n取值范围为1.25～1.5。
[0009]进一步的，第三管路与取样管路的连接处还连接有回流支路，第一管路和回流支路均连接至反应釜内，液体自第一管路流出，液体中的气体和未进入取样瓶的液体自回流支路回流至反应釜内。
[0010]一种技术方案中，第三管路通过三通接头连接取样管路和回流支路，三通接头有三个接口端，分别为水平设置的第一接口端和第二接口端以及竖直设置的第三接口端，第三接口端连接取样管路，第一接口端和第二接口端分别连接第三管路和回流支路。
[0011]另外一种技术方案中，第三管路自与取样管路的连接处向外延伸形成回流支路，第三管路、取样管路、回流支路一体成型设置。
[0012]进一步的，第一管路上安装有第一控制阀门，取样管路上安装有第二控制阀门。
[0013]进一步的，第二控制阀门为气动阀门。
[0014]进一步的，还包括取样柜，第三管路、第二管路、取样管路和取样瓶均位于取样柜内，取样柜的一侧设有开孔，第一管路经开孔伸入取样柜内，并与第二管路连通。
[0015]进一步的，第一管路与第二管路的连接处、第二管路与第三管路的连接处、第三管路与取样管路的连接处均为圆角结构。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0017](1)本技术的取样装置通过设置向上延伸的第二管路，使第二管路、第三管路和取样管路形成倒U形管路，取样时，液体流经倒U形管路，第二管路向上设计可以使液体得到缓冲，从湍流状态变成层流状态，同时，通过将第三管路的内径设置为大于第二管路的内径，使液体流经水平段的第三管路时，有一定的气泡释放空间，进一步稳定取样液体产品的状态，减小对产品检测的影响。
[0018](2)本技术的取样装置在第三管路上还连接有水平设置的回流支路，从反应釜流出的部分液体经取样管路流入取样瓶，液体中的气体和未进入取样瓶的液体经回流支路回到反应釜中，形成稳定的自循环，进一步稳定液体产品状态，最大程度减小对产品的影响。
[0019](3)本技术的取样装置在管路的连接处均做成圆角结构，减少了产品流动时的冲击，同时也减少了管路死角处颗粒的堆积，间接提高检测效果。
附图说明
[0020]为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0021]图1为本技术液体取样装置较佳实施例整体结构图；
[0022]图2为本技术液体取样装置的较佳实施例管路示意图(一)；
[0023]图3为本技术样品取样装置的较佳实施例管路示意图(二)；
[0024]图4为本技术样品取样装置的较佳实施例管路示意图(三)；
[0025]其中，1
‑
第一管路，2
‑
第二管路，3
‑
第三管路，4
‑
取样管路，5
‑
取样瓶，6
‑
回流支路，7
‑
第一控制阀门，8
‑
第二控制阀门，9
‑
取样柜，10
‑
三通接头。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术的保护范围。
[0027]下面结合附图1至附图4以及具体实施例详细论述本技术。
[0028]如图1
‑
4所示，本技术提供一种液体取样装置，包括依次连通的第一管路1、第二管路2和第三管路3，第一管路1和第三管路3均为水平管路，且第三管路3的水平高度高于
第一管路1的水平高度；第三管路3上连接有取样管路4，取样管路4与第三管路3呈角度设置，取样管路3向下延伸至取样瓶5内；第三管路3的内径大于第二管路2和取样管路4的内径。
[0029]使用本技术的取样装置时，通过第一管路1连接反应釜，液体自第一管路1流出后，进入第二管路2，由于第二管路2向上延伸设置，使液体从湍流状态变成层流状态，即液体在第二管路2中得到缓冲；之后进入水平设置的第三管路3，第三管路3的内径大于第二管路2的内径，液体进入第三管路3后在第三管路3的上层会空出一定的空间，液体内的气泡得以释放，稳定液体的状态，无气泡的液体再经取样管路4流出进入取样瓶5内，通过上述取样装置收集的液体无气泡，无需进行静置，且检测结果较准确，不影响产品的连续生产。
[0030]需要说明的是，第一管路1和第三管路3之间的第二管路2为向上设置的管路，取样管路4为向下设置的管路，本技术并不限制第二管路2和取样管路4为竖直或者倾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体取样装置，其特征在于，包括依次连通的第一管路、第二管路和第三管路，所述第一管路和第三管路均为水平管路，且所述第三管路的水平高度高于所述第一管路的水平高度；所述第三管路上连接有取样管路，所述取样管路与所述第三管路呈角度设置，所述取样管路向下延伸至取样瓶内；所述第三管路的内径大于所述第二管路和取样管路的内径。2.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第二管路和取样管路均为竖直管路，所述第二管路、第三管路和取样管路连通形成倒U型管路。3.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路的内径与所述第二管路和取样管路的内径比例均为n,n取值范围为1.25～1.5。4.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路与所述取样管路的连接处还连接有回流支路，所述第一管路和回流支路均连接至反应釜内，液体自所述第一管路流出，液体中的气体和未进入取样瓶的液体自所述回流支路回流至反应釜内。5.根据权利要求4所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路通过三通接头分别连接所述取样管路和回...

【专利技术属性】
技术研发人员：江卫健，齐博，
申请(专利权)人：南通新宙邦电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：