一种液体取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种液体取样装置，包括依次连通的第一管路、第二管路和第三管路，第二管路为向上的管路，第一管路和第三管路均为水平管路，且第三管路的水平高度高于第一管路的水平高度；第三管路上连接有取样管路，取样管路与第三管路呈角度设置，取样管路向下延伸至取样瓶内；第三管路的内径大于第二管路和取样管路的内径。本实用新型专利技术通过设置向上延伸的第二管路，使液体在第二管路中得到缓冲，液体从湍流状态变成层流状态，同时，通过将第三管路的内径设置为大于第二管路的内径，使液体流经第三管路时，有一定的空间释放气泡，进一步稳定液体产品的状态，减小对产品检测的影响。减小对产品检测的影响。减小对产品检测的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种液体取样装置


[0001]本技术属于液体检测
，具体为一种液体取样装置。

技术介绍

[0002]在电路制造过程中，常需要在晶圆上定义出极细微尺寸的图案，这些图案主要的形成方式，就是使用蚀刻技术，将微影(微光刻)后所产生的光阻图案忠实地转印至光阻的材质上，以形成积体电路的复杂架构。因此蚀刻技术在半导体制造过程中占有极其重要的地位。
[0003]蚀刻液的成品取样检测是判断蚀刻液产品是否符合要求的唯一方式，是蚀刻液生产制造过程中最重要的一环，在传统的蚀刻液生产过程中，蚀刻液成品取样时，是将取样管路连接到反应釜后，直接打开阀门取样，由于釜内压力很大，使蚀刻液产品在取样管路中高速流动，导致液体产品流动的雷诺数＞4000，蚀刻液在管路中形成湍流，同时存在较多气泡，直接取样的样品状态不稳定，致使在检测过程中样品颗粒通常高于实际值；为了检测的准确性，检测样品需要静置很长时间，待样品状态稳定、气泡消除后再去检测，最终才能检测出实际颗粒数值，在这一过程中样品的静置时间通常要超过24h，生产效率较低。

技术实现思路

[0004]为解决上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体取样装置，其特征在于，包括依次连通的第一管路、第二管路和第三管路，所述第一管路和第三管路均为水平管路，且所述第三管路的水平高度高于所述第一管路的水平高度；所述第三管路上连接有取样管路，所述取样管路与所述第三管路呈角度设置，所述取样管路向下延伸至取样瓶内；所述第三管路的内径大于所述第二管路和取样管路的内径。2.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第二管路和取样管路均为竖直管路，所述第二管路、第三管路和取样管路连通形成倒U型管路。3.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路的内径与所述第二管路和取样管路的内径比例均为n,n取值范围为1.25～1.5。4.根据权利要求1所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路与所述取样管路的连接处还连接有回流支路，所述第一管路和回流支路均连接至反应釜内，液体自所述第一管路流出，液体中的气体和未进入取样瓶的液体自所述回流支路回流至反应釜内。5.根据权利要求4所述的液体取样装置，其特征在于，所述第三管路通过三通接头分别连接所述取样管路和回...

【专利技术属性】
技术研发人员：江卫健，齐博，
申请(专利权)人：南通新宙邦电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：