【技术实现步骤摘要】
一种使用效果稳定的减压干燥设备
[0001]本技术涉及减压干燥设备
，具体为一种使用效果稳定的减压干燥设备。
技术介绍
[0002]随着显示技术的发展，液晶显示器和有机发光二极管显示器等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、笔记本电脑等各种消费性电子产品中，无论是液晶显示器还是有机发光二极管显示器在制作过程中都经常用到光刻工序，其目的是使玻璃基板上的金属或非金属膜层在依次经过光刻胶涂布、掩膜曝光、显影和刻蚀工序之后在其相应的位置不受到损害，从而达到在玻璃基板上形成图案的目的，光刻胶涂布是光刻制程中的一个重要工序，在涂布之后还必须进行溶剂去除的步骤，目前溶剂去除主要采用先减压干燥再加热烘烤相结合的方式进行的，其中减压干燥可通过减压去除光刻胶中的挥发溶剂，使得光刻胶的流动性减弱，能够均匀的分布在基板上。
[0003]现有技术存在以下问题：
[0004]目前市场上存在的一种减压干燥设备，其出气口是设置在装置主体腔室底部的，在使用时利用出气口将腔室内的空气抽出从而...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用效果稳定的减压干燥设备，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)内设置有第一升降杆(2)，且第一升降杆(2)的上端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面设置有顶针(4)，且第一升降杆(2)的一侧开设有弧形凹槽(5)，所述弧形凹槽(5)的底部开设有收纳槽(6)，且收纳槽(6)内设置有第二升降杆(7)，所述第二升降杆(7)的上端设置有收集板(8)，且装置主体(1)的内壁上设置有抽气管(9)，所述抽气管(9)上设置有出气口(10)，且装置主体(1)侧壁的上表面开设有密封槽(11)，所述装置主体(1)的侧壁上设置有液压升降机构(12)，且液压升降机构(12)的上端连接有密封盖(13)，所述密封盖(13)的下底面设置有进气管(14)，且进气管(14)上设置有进气口(15)，所述密封盖(13)侧壁的下端设置有密封块(16)。2.根据权利要求1所述的一种使用效果稳定的减压干燥设备，其特征在于：每组所述支撑板(3)的下方连接有两组对称设置有的第一升降...
【专利技术属性】
技术研发人员：钮旭升，张长城，李艳华，张玉全，孟宪敏，
申请(专利权)人：葵花药业集团吉林临江有限公司，
类型：新型
国别省市：
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