一种使用效果稳定的减压干燥设备制造技术

本实用新型专利技术属于减压干燥设备技术领域，尤其为一种使用效果稳定的减压干燥设备，包括装置主体，所述装置主体内设置有第一升降杆，且第一升降杆的上端设置有支撑板，所述支撑板的上表面设置有顶针，且第一升降杆的一侧开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的底部开设有收纳槽，且收纳槽内设置有第二升降杆，所述第二升降杆的上端设置有收集板，且装置主体的内壁上设置有抽气管，所述抽气管上设置有出气口，且装置主体侧壁的上表面开设有密封槽，所述装置主体的侧壁上设置有液压升降机构。本实用新型专利技术通过在装置主体底部设置弧形凹槽，在弧形凹槽底部开设收纳槽，同时在收纳槽内设置第二升降杆和收集板，可以达到便于工作人员对装置主体内部进行清洁的目的。进行清洁的目的。进行清洁的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种使用效果稳定的减压干燥设备


[0001]本技术涉及减压干燥设备
，具体为一种使用效果稳定的减压干燥设备。

技术介绍

[0002]随着显示技术的发展，液晶显示器和有机发光二极管显示器等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、笔记本电脑等各种消费性电子产品中，无论是液晶显示器还是有机发光二极管显示器在制作过程中都经常用到光刻工序，其目的是使玻璃基板上的金属或非金属膜层在依次经过光刻胶涂布、掩膜曝光、显影和刻蚀工序之后在其相应的位置不受到损害，从而达到在玻璃基板上形成图案的目的，光刻胶涂布是光刻制程中的一个重要工序，在涂布之后还必须进行溶剂去除的步骤，目前溶剂去除主要采用先减压干燥再加热烘烤相结合的方式进行的，其中减压干燥可通过减压去除光刻胶中的挥发溶剂，使得光刻胶的流动性减弱，能够均匀的分布在基板上。
[0003]现有技术存在以下问题：
[0004]目前市场上存在的一种减压干燥设备，其出气口是设置在装置主体腔室底部的，在使用时利用出气口将腔室内的空气抽出从而实现减压的目的，然而装置在使用的过程中，支撑板上放置的玻璃基板由于碰撞或操作不当等原因会发生碎裂的现象，当玻璃基板碎裂后玻璃残渣会落至装置主体腔室的底部，从而易对出气口造成堵塞，继而影响出气口的正常使用，同时由于相邻支撑板之间的距离较小，导致了落在相邻两组支撑板之间的玻璃残渣难以清除，从而给工作人员带来了很大的不便。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种使用效果稳定的减压干燥设备，解决了现今存在的装置出气口易发生堵塞的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种使用效果稳定的减压干燥设备，包括装置主体，所述装置主体内设置有第一升降杆，且第一升降杆的上端设置有支撑板，所述支撑板的上表面设置有顶针，且第一升降杆的一侧开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的底部开设有收纳槽，且收纳槽内设置有第二升降杆，所述第二升降杆的上端设置有收集板，且装置主体的内壁上设置有抽气管，所述抽气管上设置有出气口，且装置主体侧壁的上表面开设有密封槽，所述装置主体的侧壁上设置有液压升降机构，且液压升降机构的上端连接有密封盖，所述密封盖的下底面设置有进气管，且进气管上设置有进气口，所述密封盖侧壁的下端设置有密封块。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，每组所述支撑板的下方连接有两组对称设置有的第一升降杆，且多组支撑板等距排布在装置主体的底部。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，每组所述支撑板的上表面均等距设置有多
组顶针，且顶针为锥形结构。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述收集板的上表面开设有凹槽，且多组收集板与支撑板呈等距交叉排布。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述抽气管平行环绕在装置主体的内壁上，且多组出气口呈等距排布。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述密封盖的尺寸与装置主体的尺寸相匹配，且四组液压升降机构对称设置在装置主体的两侧壁上。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，多组所述进气口等距设置在进气管上，且进气管与外设进气泵之间设置有电磁控制阀。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种使用效果稳定的减压干燥设备，具备以下有益效果：
[0014]1、该一种使用效果稳定的减压干燥设备，通过在装置主体的底部设置弧形凹槽，并在弧形凹槽的底部开设收纳槽，同时在收纳槽内设置第二升降杆和收集板，当玻璃基板在装置主体内发生碎裂时，工作人员首先将支撑板呈交叉式的升起，然后将落至装置主体底部的大块玻璃碎渣清理走，最后尺寸较小的玻璃残渣则扫至收集板上，并将收集板升起以方便将玻璃残渣清理掉，通过该设置能够便于工作人员对装置主体的底部进行清洁。
[0015]2、该一种使用效果稳定的减压干燥设备，通过将抽气管环绕设置在装置主体的内壁上，并在抽气管上设置等距排布的出气口，同时在密封盖的下底面设置进气管和出气口，使用时利用抽气管和出气口将装置主体内部的空气抽出，或者利用进气管和进气口向装置主体内部注入洁净的空气，该设计通过将出气口设置在装置主体的内壁上，将进气口灯具设置在密封板的下底面上，不仅可避免出气口被堵塞，同时还能保证基板周围空气流动的一致性和稳定性，从而能够保证光刻胶涂布的均匀性。
附图说明
[0016]图1为本技术剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术收集板升起后效果示意图；
[0018]图3为本技术支撑板排布结构示意图；
[0019]图4为本技术密封盖下底面结构示意图。
[0020]图中：1、装置主体；2、第一升降杆；3、支撑板；4、顶针；5、弧形凹槽；6、收纳槽；7、第二升降杆；8、收集板；9、抽气管；10、出气口；11、密封槽；12、液压升降机构；13、密封盖；14、进气管；15、进气口；16、密封块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本实施方案中：一种使用效果稳定的减压干燥设备，包括装置主体1，装置主体1内设置有第一升降杆2，第一升降杆2的上端设置有支撑板3，支撑板3的上表面
设置有顶针4，第一升降杆2的一侧开设有弧形凹槽5，弧形凹槽5的底部开设有收纳槽6，收纳槽6内设置有第二升降杆7，第二升降杆7的上端设置有收集板8，用于收集玻璃残渣，装置主体1的内壁上设置有抽气管9，抽气管9上设置有出气口10，用于抽取装置主体1内的空气，装置主体1侧壁的上表面开设有密封槽11，装置主体1的侧壁上设置有液压升降机构12，液压升降机构12的上端连接有密封盖13，密封盖13的下底面设置有进气管14，进气管14上设置有进气口15，密封盖13侧壁的下端设置有密封块16。
[0023]本实施例中，每组支撑板3的下方连接有两组对称设置有的第一升降杆2，多组支撑板3等距排布在装置主体1的底部，以便对玻璃基板进行升降；每组支撑板3的上表面均等距设置有多组顶针4，顶针4为锥形结构，利用顶针4可降低与基板的接触面积从而降低基板碎裂的概率；收集板8的上表面开设有凹槽，多组收集板8与支撑板3呈等距交叉排布，以便通过收集板8对玻璃残渣进行收集；抽气管9平行环绕在装置主体1的内壁上，多组出气口10呈等距排布，以保证基板周围空气流动的稳定性和均匀性；密封盖13的尺寸与装置主体1的尺寸相匹配，四组液压升降机构12对称设置在装置主体1的两侧壁上，以便进行开腔和合腔；多组进气口15等距设置在进气管14上，进气管14与外设进气泵之间设置有电磁控制阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用效果稳定的减压干燥设备，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)内设置有第一升降杆(2)，且第一升降杆(2)的上端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面设置有顶针(4)，且第一升降杆(2)的一侧开设有弧形凹槽(5)，所述弧形凹槽(5)的底部开设有收纳槽(6)，且收纳槽(6)内设置有第二升降杆(7)，所述第二升降杆(7)的上端设置有收集板(8)，且装置主体(1)的内壁上设置有抽气管(9)，所述抽气管(9)上设置有出气口(10)，且装置主体(1)侧壁的上表面开设有密封槽(11)，所述装置主体(1)的侧壁上设置有液压升降机构(12)，且液压升降机构(12)的上端连接有密封盖(13)，所述密封盖(13)的下底面设置有进气管(14)，且进气管(14)上设置有进气口(15)，所述密封盖(13)侧壁的下端设置有密封块(16)。2.根据权利要求1所述的一种使用效果稳定的减压干燥设备，其特征在于：每组所述支撑板(3)的下方连接有两组对称设置有的第一升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：钮旭升，张长城，李艳华，张玉全，孟宪敏，
申请(专利权)人：葵花药业集团吉林临江有限公司，
类型：新型
国别省市：