N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池技术领域，具体公开了一种N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法。包括以下步骤：S1、选取多片生产硅片，对所述硅片依次进行双面碱制绒、双面硼扩散处理，得质控用硅片；S2、将所述质控用硅片投入N型双面太阳能电池的湿化学氧钝化清洗生产工序，按照实际工艺对硅片进行处理；S3、对湿化学氧钝化清洗后的质控用硅片依次进行双面氮化硅钝化和烧结处理，得待检片；S4、测定所述待检片的反向饱和电流密度，根据反向饱和电流密度判断湿化学氧钝化工序是否合格。本发明专利技术提供的方法可实现生产过程湿化学氧钝化清洗工序质量的快速监测，效率高，准确性好，操作简便，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法。

技术介绍

[0002]N型双面太阳能电池因其在发电量和可靠性方面的优势，使其成为未来高效电池的发展方向。目前常规的生产工艺流程及所需时间为：双面碱制绒(35min)，磷扩散(60min)，背面绕扩散去除清洗(15min)，硼扩散(150min)，湿化学氧钝化清洗(70min)，双面氮化硅钝化(15min)，丝网印刷电极(10min)，烧结测试(5min)，共8个步骤，用时约365min。其中，湿化学氧钝化清洗包括酸洗、水洗、药液清洗、水洗、强氧化清洗、水洗和烘干工序，是N型双面太阳能电池生产过程中最重要的湿法氧钝化环节，钝化效果的好坏直接影响到电池效率。
[0003]在实际生产过程中，经常出现电池产品连续出现大批量低效电池的情况，在排查低效电池的产生问题时，湿化学氧钝化清洗工序的质量的影响很大。因为湿化学氧钝化清洗步骤较多，涉及到的药液以及杂质较为复杂，无法通过常规手段从湿化学氧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选取多片生产硅片，对所述硅片依次进行双面碱制绒、双面硼扩散处理，得质控用硅片；S2、将所述质控用硅片投入N型双面太阳能电池的湿化学氧钝化清洗生产工序，按照实际工艺对硅片进行处理；S3、对湿化学氧钝化清洗后的质控用硅片依次进行双面氮化硅钝化和烧结处理，得待检片；S4、测定所述待检片的反向饱和电流密度，根据反向饱和电流密度判断湿化学氧钝化工序是否合格。2.如权利要求1所述的N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法，其特征在于，所述根据反向饱和电流密度判断湿化学氧钝化工序是否合格，具体为：当反向饱和电流密度≤10mA/cm2时，湿化学氧钝化清洗工序合格；当反向饱和电流密度＞10mA/cm2时，调整湿化学氧钝化清洗工序的药液或工艺参数。3.如权利要求1所述的N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法，其特征在于，步骤S1中，将所述质控用硅片放入充满惰性气体的容器中，每间隔3～5小时从中选取3～10片，进行后续湿化学氧钝化清洗、双面氮化硅钝化和烧结处理，用于监测湿化学氧钝化清洗工序的稳定性。4.如权利要求1所述的N型双面太阳能电池湿化学氧钝化清洗工序的监测方法，其特征在于，步骤S1中，经过所述双面碱制绒工序处理后的硅片反射率不超过10％。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青娟，吝占胜，刘新玉，张东升，王静，李倩，于波，何广川，张树骞，王志国，李志彬，陈晨，刘伟，张雷，张红妹，魏双双，刘莉丽，
申请(专利权)人：英利能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：