高增益快响应微通道板及其制备方法技术

本发明专利技术涉及微通道板技术领域，具体而言涉及高增益快响应微通道板及其制备方法，包括：第一微通道板，设有第一侧端面和第二侧端面，所述第一微通道板设有贯通第一侧端面和第二侧端面的多个第一孔结构；第二微通道板，设有第一侧端面和第二侧端面，所述第二微通道板设有贯通第一侧端面和第二侧端面的多个第二孔结构。本申请通过将两片具有不同孔径的微通道板贴合到一起形成一块微通道板，使该微通道板的输入面微通道通径大于输出面微通道通径，这种大孔对小孔、一孔对多孔的特征能降低位置分辨能力的劣化程度，同时仍具有优异的时间特性和高增益性。和高增益性。和高增益性。

【技术实现步骤摘要】
高增益快响应微通道板及其制备方法


[0001]本专利技术涉及微通道板
，具体而言涉及高增益快响应微通道板及其制备方法。

技术介绍

[0002]微通道板(Microchannel Plate，MCP)是于20世纪60年代末开发成功的一种简单紧凑的电子倍增器件，可以探测带荷粒子、电子、X射线和UV光子，具有低功耗、自饱和、高速探测和低噪声等优点，并以多种形式应用于各类探测器中。
[0003]微通道板的增益来自于通道内壁的二次电子发射形成的级联倍增，单片微通道板的增益通常可以达到104，由于存在单通道的输出电荷量饱和作用，单片微通道板的增益很难超过105。在单光子探测、离子探测等微弱信号探测领域，为了达到更高的增益，通常使用两片微通道板呈V字型叠加，例如专利文献1所示的技术方案，甚至是使用三片微通道板呈Z字型叠加，以此获得更高的增益性能。
[0004]但是，通过多片MCP叠加使用来提高增益的同时也牺牲了一些性能，包括时间分辨能力以及位置分辨能力。由于电子倍增放大的路径变长以及多片MCP叠加时中间存在一定的无电场间隙区域，对于时间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高增益快响应微通道板，其特征在于，包括：第一微通道板(10)，设有第一侧端面和第二侧端面，所述第一微通道板(10)设有贯通第一侧端面和第二侧端面的多个第一孔结构(11)；第二微通道板(20)，设有第一侧端面和第二侧端面，所述第二微通道板(20)设有贯通第一侧端面和第二侧端面的多个第二孔结构(21)；其中，所述第一微通道板(10)的第二侧端面与第二微通道板(20)的第一侧端面贴合，形成贴合面(102)，定义所述第一微通道板(10)的第一侧端面为输入面(101)，定义所述第二微通道板(20)的第二侧端面为输出面(103)；所述第一孔结构(11)比所述第二孔结构(21)的孔径大，且在贴合面(102)内，所述第一孔结构(11)至少对应一个以上的第二孔结构(21)。2.根据权利要求1所述的高增益快响应微通道板，其特征在于，所述第二孔结构(21)的孔径小于所述第一孔结构(11)孔径的1/2。3.根据权利要求1所述的高增益快响应微通道板，其特征在于，所述第一微通道板(10)的厚度被设置成使所述第一孔结构(11)的长径比为40:1～60:1，所述第二微通道板(20)的厚度被设置成使所述第二孔结构(21)的长径比为40:1～60:1。4.根据权利要求1所述的高增益快响应微通道板，其特征在于，所述第一孔结构(11)的孔径为4μm
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8μm，所述第一微通道板(10)的厚度为0.2
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0.4mm，所述第二孔结构(21)的孔径为1μm
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3μm，所述第二微通道板(20)的厚度为0.05mm
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0.15mm。5.根据权利要求1
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4中的任意一项所述的高增益快响应微通道板，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱祥彪，姜博文，王健，丛晓庆，金戈，乔芳建，林焱剑，闵信杰，杨晓明，聂慧君，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：