电子管、电子管模块和光学装置制造方法及图纸

电子管包括：真空容器，其具有透光性基板；光电面，其设置于透光性基板的内表面；阳极，其设置于真空容器内；和棱镜。棱镜具有：底面，其与透光性基板的外表面接合；光入射面；和光反射面，其通过使经由棱镜和透光性基板入射到光电面并在光电面与真空空间的界面反射的光进一步反射，从而使该光再次入射到光电面。光反射面具有向外侧凸出的曲面形状。光入射面位于比沿着光反射面的假想的球面靠内侧的位置。比沿着光反射面的假想的球面靠内侧的位置。比沿着光反射面的假想的球面靠内侧的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子管、电子管模块和光学装置


[0001]本专利技术涉及电子管、电子管模块和光学装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，已知有检测从试样产生的荧光等微弱光的光电倍增管等电子管。电子管包括：具有透光性基板的真空容器；和设置于透光性基板的真空侧的内表面的光电面(photocathode)。非专利文献1公开了在上述透光性基板的外表面设置有半球面状的棱镜的结构。在该结构中，入射到棱镜的光入射面的光在光电面与真空空间的界面反射，之后在棱镜的与光入射面相反的一侧的光反射面进一步反射而返回到光电面。由此，实现了光电面的量子效率(QE：Quantum Efficiency)的提高。
[0003]现有技术文献
[0004][非专利文献][0005][非专利文献1]J.B.Oke and Rudolph E.Schild.A Practical Multiple Reflection Technique for Improving the Quantum Efficiency of Photomultiplier Tubes.APPLIED OP本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电子管，其特征在于，包括：真空容器，其具有透光性基板，构成真空空间；光电面，其设置于所述透光性基板的作为所述真空空间侧的面的内表面，根据经由所述透光性基板入射的光而向所述真空空间中放出光电子；电子检测部，其设置在所述真空容器内，检测源自所述光电子的电子；和棱镜，其接合于所述透光性基板的与所述内表面相反的一侧的外表面，所述棱镜具有：底面，其接合于所述透光性基板的所述外表面；光入射面，其具有供光入射的光入射部；和光反射面，其通过使入射到所述光入射部并在所述光电面与所述真空空间的界面反射的光进一步反射，从而使该光再次入射到所述光电面，所述光反射面具有向外侧凸出的曲面形状，所述光入射部位于比沿着所述光反射面的假想的球面靠内侧的位置。2.如权利要求1所述的电子管，其特征在于：所述光电面沿着所述透光性基板的所述内表面形成为平板状。3.如权利要求1或2所述的电子管，其特征在于：所述光电面形成于所述透光性基板的所述内表面的一部分。4.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：所述光入射部形成为平面状。5.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：所述光入射部具有向外侧凸出的曲面形状。6.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：所述光入射部具有向内侧凸出的曲面形状。7.如权利要求1～6中任一项所述的电子管，其特征在于：所述光入射部由所述光入射面的整体构成。8.如权利要求1～6中任一项所述的电子管，其特征在于：所述光入射部由在所述光入射面的一部分开口的凹部构成。9.如权利要求1～8中任一项所述的电子管，其特征在于：在所述光入射面的至少所述光入射部设...

【专利技术属性】
技术研发人员：金野里奈，小林俊介，杉浦银治，近藤淳一，松冈泰正，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：