微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法技术方案

本申请提供的微机电系统谐振器包括振动主体、锚固件、以及耦合部，耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少部分耦合部连接振动主体和锚固件，耦合部设置有用于将微机电系统谐振器的谐振频率从初始谐振频率调整为目标谐振频率的沉积层。在本申请实施例中，通过沿不同方向设置耦合部，且对位于不同方向上的耦合部进行沉积处理，从而来调整耦合部的刚度等参数以影响微机电系统谐振器的谐振频率，调整微机电系统谐振器的谐振频率位于目标频率范围内。目标频率范围内。目标频率范围内。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法


[0001]本申请涉及微机电系统
，具体涉及一种微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法。

技术介绍

[0002]石英谐振器指的是利用电信号频率等于石英晶片固有频率时晶片因压电效应而产生谐振现象的原理制成的器件，是晶体谐振器和窄带滤波器等的关键元件。但随着技术的进步，由于微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)谐振器具有耐冲击、可编程等优点，使得MEMS谐振器正逐渐取代石英晶体谐振器，成为被广泛应用的微系统重要元件。
[0003]其中，MEMS谐振器的谐振频率取决于振动主体的物理尺寸，然而，MEMS谐振器的谐振频率往往因制造工艺等因素而难以实现设计的目标值。
[0004]因此，如何使MEMS谐振器输出所需的谐振频率是现有MEMS谐振器厂家亟需解决的难题。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法，可以使MEMS谐振器输出所需的谐振频率。
[0006]第一方面，本申请提供一种微机电系统谐振器，包括振动主体、锚固件、以及耦合部，所述耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少部分耦合部连接所述振动主体和所述锚固件，所述耦合部设置有用于将所述微机电系统谐振器的谐振频率从初始谐振频率调整为目标谐振频率的沉积层。
[0007]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有不同的杨氏模量和/或密度。
[0008]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层具有不同的沉积厚度或在相应耦合部上的沉积位置不同。
[0009]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有相同的杨氏模量和/或密度。
[0010]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，位于同一方向上的耦合部对称设置，且沿同一方向设置的耦合部上形成有相同的沉积层。
[0011]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述耦合部至少具有沿第一方向设置的第一耦合部、以及沿第二方向设置的第二耦合部，所述振动主体在所述第一方向具有与所述第一耦合部相关的振动模态，所述振动主体在所述第二方向具有与所述第二耦合部相关的振动模态。
[0012]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述第一方向和所述第二方向垂直设置。
[0013]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述振动主体大致呈方形，所述第一耦合部具有对称设置的第一耦合件和第二耦合件，所述第二耦合部具有对称设置的第三耦合件和第四耦合件，所述第一耦合件和所述第二耦合件位于所述振动主体的相对两侧并均连接所述振动主体和所述锚固件，所述第三耦合件和所述第四耦合件位于所述振动主体的相对两侧并均连接所述振动主体和所述锚固件，所述振动主体在振动时在所述第一耦合件和所述第二耦合件沿所述第一方向连接形成的直线上拉伸振动，所述振动主体在振动时在所述第三耦合件和所述第四耦合件沿所述第二方向连接形成的直线上拉伸振动。
[0014]在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述振动主体具有呈环形的第一振动部和位于所述第一振动部中心区域的第二振动部，所述第一耦合部具有对称设置的第五耦合件和第六耦合件，所述第二耦合部具有对称设置的第七耦合件和第八耦合件，所述第五耦合件和所述第六耦合件位于所述第一振动部的相对两侧并均连接所述第一振动部和所述锚固件，所述第七耦合件和所述第八耦合件位于所述第二振动部的相对两侧并均连接所述第二振动部和所述第一振动部，所述第一振动部在振动时以所述第五耦合件和所述第六耦合件沿所述第一方向连接形成的直线为轴线旋转振动，所述第二振动部在振动时以所述第七耦合件和所述第八耦合件沿所述第二方向连接形成的直线为轴线旋转振动。
[0015]第二方面，本申请实施例还提供一种微机电系统谐振器的谐振频率调整方法，所述微机电系统谐振器包括振动主体、锚固件、以及耦合部，所述耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少存在一方向上的耦合部连接所述振动主体和所述锚固件，所述谐振频率调整方法包括：获取所述微机电系统谐振器的初始谐振频率；根据所述初始谐振频率确定各耦合部上的沉积位置和相应的调整材料；对沿不同方向设置的耦合部进行沉积处理以在所述耦合部上形成沉积层，其中，所述沉积层将所述微机电系统谐振器的谐振频率从所述初始谐振频率调整为目标谐振频率。
[0016]在本申请提供的微机电系统谐振器中，包括振动主体、耦合部以及锚固件。通过沿不同方向设置耦合部，且对位于不同方向上的耦合部进行沉积处理，从而来调整耦合部的刚度等参数以影响微机电系统谐振器的谐振频率，调整微机电系统谐振器的谐振频率位于目标频率范围内。
附图说明
[0017]图1示出了本申请实施例提供的微机电系统谐振器的结构示意图。
[0018]图2示出了图1中微机电系统谐振器在某一角度的俯视示意图。
[0019]图3示出了本申请另一实施例提供的微机电系统谐振器的结构示意图。
[0020]图4示出了图3中的微机电系统谐振器在某一角度的俯视示意图。
[0021]图5示出了本申请实施例提供的微机电系统谐振器的谐振频率调整方法的流程示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实
施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]此外，本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0024]请参阅图1以及图2，图1示出了本申请实施例提供的微机电系统谐振器的结构示意图。图2示出了图1中微机电系统谐振器的俯视示意图。参见图1和图2，本申请实施例提供的微机电系统谐振器10包括振动主体101、耦合部102以及锚固件103。其中，振动主体101可以用于振动。锚固件103可以用于固定振动主体101。耦合部102的数量被配置为多个，且至少部分耦合部102用于连接振动主体101和锚固件103。由此，能够保证锚固件103可稳定地固定振动主体101。
[0025]在本申请的实施例中，锚固件103可以环绕振动主体101设置。例如，参见图1和图2，4个锚固件103环绕振动主体101设置并分别对应设置在振动主体101的各侧面。在这种情况下，在振动主体101的各侧面均设置锚固件103，使锚固件103环绕振动主体101设置，能够提高锚固件103固定振动主体101的稳定性。
[0026]在本申请的实施例中，振动主体101的形状可以与其所需的振动模态和振动频率等相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统谐振器，包括振动主体、锚固件、以及耦合部，其特征在于，所述耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少部分耦合部连接所述振动主体和所述锚固件，所述耦合部设置有用于将所述微机电系统谐振器的谐振频率从初始谐振频率调整为目标谐振频率的沉积层。2.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有不同的杨氏模量和/或密度。3.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层具有不同的沉积厚度或在相应耦合部上的沉积位置不同。4.根据权利要求3所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有相同的杨氏模量和/或密度。5.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，位于同一方向上的耦合部对称设置，且沿同一方向设置的耦合部上形成有相同的沉积层。6.根据权利要求5所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述耦合部至少具有沿第一方向设置的第一耦合部、以及沿第二方向设置的第二耦合部，所述振动主体在所述第一方向具有与所述第一耦合部相关的振动模态，所述振动主体在所述第二方向具有与所述第二耦合部相关的振动模态。7.根据权利要求6所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向垂直设置。8.根据权利要求7所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述振动主体大致呈方形，所述第一耦合部具有对称设置的第一耦合件和第二耦合件，所述第二耦合部具有对称设置的第三耦合件和第四耦合件，所述第一耦合件和所述第二耦合件位于所述振动主体的相对两侧并均连接所述振动主体和所述锚固件，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，舒赟翌，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：