【技术实现步骤摘要】
一种不含羟胺的水系清洗剂
[0001]本专利技术涉及一种不含羟胺的水系清洗剂制备方法及应用。
技术介绍
[0002]国际上集成电路工艺的最小芯片尺寸以达到5nm,国内主流的技术节点在350nm
‑
90nm之间,处于深亚微米级。随着关键尺寸的缩小,对工艺的要求越来越高和精确,也使得对工艺要有更深入的理解和掌握。
[0003]对于芯片而言.经干法蚀刻工艺处理后能得到理想的刻蚀速率、选择比、侧壁形貌等。但干法刻蚀后会产生无机、有机、有机
‑
金属聚合物和光阻等残留,会影响芯片后续工艺的稳定性和良率,这些残留物去除的有效性变的越来也重要。
[0004]铝制程芯片刻蚀后残留物是和介电质蚀刻共生的,随着技术的升级,不同的材料类型被应用于铝制程中。羟胺能在不破坏介电质层的同时有效去除蚀刻残留物,目前铝制程残留物的去除多以羟胺清洗液为主。但由于使用羟胺,导致清洗剂原料来源固定化,且羟胺在储存和使用过程中存在爆炸风险。因此使用羟胺替代物,开发低成本、高效、兼容性更强的水系清洗剂是本领域改进优化的方向。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是为了提供一种不含羟胺的水系清洗剂,对多种膜层材料腐蚀速率小,低成本、安全、使用温度窗口大,且能有效去除铝制程刻蚀后残留物。
[0006]本专利技术通过以下技术方案来解决上述问题,该新型清洗液组合物含有:
[0007]a)醇胺;
[0008]b)1
‑
羟基吡咯烷及其衍生物;
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,包含以下组分:(a)醇胺;(b)1
‑
羟基吡咯烷或其衍生物;(c)邻苯二酚;(d)二甲基亚砜;(e)余量的水。2.根据权利要求1所述的不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,所述的醇胺质量分数为1
‑
60%,1
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羟基吡咯烷或其衍生物质量分数为10
‑
40%,邻苯二酚质量分数为1
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12%,二甲基亚砜的质量分数为0.1
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40%,水的质量分数为1%
‑
30%。3.根据权利要求2所述的不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,所述的1
‑
羟基吡咯烷及其衍生物含有的结构通式如下:中的任意一种。4.根据权利要求3所述的不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,结构通式中,所述取代基R1和R2独立地选自氢原子、甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、羟基、羧基、乙烯基中的一种或多种;X独立地选自碳原子、氧原子中的一种;n的数值包括1或2。5.根据权利要求4所述的不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,结构通式中,其特征在于,所述取代基R1位置为杂环中任意位置。6.根据权利要求1所述的不含羟胺的水系清洗剂,其特征在于,所述的1
‑
羟基吡咯烷、1
‑
技术研发人员:王亮,尹印,贺兆波,叶瑞,陈小超,余迪,万杨阳,臧洋,
申请(专利权)人:湖北兴福电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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