一种集灰系统技术方案

本发明专利技术公开了一种集灰系统，涉及半导体制备技术领域，包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；排灰除尘器设有第一出风口、第一进风口和清灰口，壳体中设有第一净气室和第一浊气室，第一净气室内设有若干第一过滤结构和振打结构，振打结构用于对第一过滤结构进行振打，第一浊气室设有用于将第一过滤结构过滤出的灰尘吹扫至清灰口的吹扫结构；集灰罐包括筒体和灰仓，筒体开设有第二进风口和第二出风口，清灰口与第二进风口通过输灰管路连通，筒体中设有第二净气室和第二浊气室，第二浊气室内设有第二过滤结构，灰仓与第二浊气室连通，灰仓内设有用于收集灰尘的集灰结构。本发明专利技术解决了人工清理灰仓效率低，容易造成二次污染的问题。容易造成二次污染的问题。容易造成二次污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种集灰系统


[0001]本专利技术涉及半导体制备
，特别是涉及一种集灰系统。本实用专利技术涉及单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中工艺粉尘处理的除尘系统。

技术介绍

[0002]单/多晶炉拉晶过程产生大量遇空气可自燃的SiO粉尘，简谐式真空除尘器将这些SiO粉尘过滤后储存在灰仓中，灰仓中的粉尘达到一定的量后需进行卸灰作业。目前，除尘器卸灰，一般采用灰仓振打，清灰口星型卸灰阀卸灰。对于小型除尘器，由于结构尺寸较小，一般采用人工掏、铲、扫等原始方式达到卸灰的目的。
[0003]鉴于SiO粉尘遇空气可自燃甚至爆炸的特性，人工清灰前必须对SiO粉尘进行缓慢氧化，将SiO粉尘缓慢氧化为SiO2粉尘，但这个过程需要消耗大量的时间，大量的时间损耗已经严重制约了产能增长。
[0004]除尘器在一个工作周期后，开始灰仓清灰作业。清灰前需经过90
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120分钟缓慢氧化，人工手动清除时，需穿戴好防护服、护目镜、口罩。使用刮板和扫把，把灰尘收集到袋子中，操作的过程中会产生扬尘，使车间环境造成二次污染。给后续车间的保洁，设备的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集灰系统，其特征在于：包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；所述排灰除尘器包括壳体，所述壳体上开设有第一出风口、第一进风口和清灰口，所述壳体中设置有第一净气室和第一浊气室，所述第一净气室内设置有若干第一过滤结构和振打结构，所述振打结构用于对所述第一过滤结构进行振打，所述第一浊气室设置有吹扫结构，所述吹扫结构用于将所述第一过滤结构过滤出的灰尘吹扫至所述清灰口；所述集灰罐包括筒体和灰仓，所述筒体开设有第二进风口和第二出风口，所述清灰口与所述第二进风口通过所述输灰管路连通，所述筒体中设置有第二净气室和第二浊气室，所述第二浊气室内设置有第二过滤结构，所述灰仓与所述第二浊气室连通，所述灰仓内设置有集灰结构，所述集灰结构用于收集灰尘。2.根据权利要求1所述的集灰系统，其特征在于：所述排灰除尘器还包括第一气包，所述第一气包位于所述壳体的外部，所述第一气包上设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀，所述第一气包通过第一喷吹管路与所述第一净气室连通，所述第一喷吹管路的出风端位于所述第一过滤结构的上方，所述第一喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述第一气包与所述吹扫结构连通。3.根据权利要求1所述的集灰系统，其特征在于：所述集灰罐还包括第二气包，所述第二气包位于所述筒体的外部，所述第二气包通过第二喷吹管路与所述第二净气室连通，所述第二喷吹管路的出风端位于所述第二过滤结构的上方。4.根据权利要求1所述的集灰系统，其特征在于：所述壳体包括上壳体和下壳体，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有所述第一出风口和上测温口，所述下壳体上开设有所述第一进风口、下测温口和所述清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有第一花板，所述上壳体与所述第一花板之间的空间为所述第一净气室，所述下壳体与所述第一花板之间的空间为第一浊气室。5.根据权利要求1所述的集灰系统，其特征在于：所述集灰罐包括上筒体和下筒体，所述上筒体和所述下筒体连接，所述上筒体和所述下筒体之间设置有第二花板，所述上筒体与所述第二花板之间的空间为第二净气室，所述下筒体与所述第二花板之间的空间为第二浊气室；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘峰岳，单海涛，师洋，王磊，王刚，
申请(专利权)人：北京中兴汇融节能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：