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本发明公开了一种集灰系统，涉及半导体制备技术领域，包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；排灰除尘器设有第一出风口、第一进风口和清灰口，壳体中设有第一净气室和第一浊气室，第一净气室内设有若干第一过滤结构和振打结构，振打结构用于对第一过滤结构进行振...
该专利属于北京中兴汇融节能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中兴汇融节能科技有限公司授权不得商用。

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