弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在支承基板设置有空洞部的情况下提高散热性的弹性波装置。本发明专利技术涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)和支承部(12)；压电膜(铌酸锂膜(3))，设置在支承部(12)上，且具有第1主面(3a)、第2主面(3b)；功能电极(4)，设置在第1主面(3a)；以及散热膜(5)，设置在压电膜的第1主面(3a)、第2主面(3b)中的至少一者，包含半导体或绝缘体。功能电极(4)具有至少一对第1电极(6)、第2电极(7)。在将压电膜的厚度设为dx并将相邻的第1电极(6)、第2电极(7)的中心间距离设为p的情况下，dx/p为0.5以下。在俯视下，散热膜(5)与支承部(12)的至少一部分重叠。散热膜(5)的热导率比压电膜的热导率高，且散热膜(5)的厚度比压电膜的厚度薄。厚度比压电膜的厚度薄。厚度比压电膜的厚度薄。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，已知有利用了在包含LiNbO3或LiTaO3的压电膜传播的板波的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，公开了利用了作为板波的拉姆波的弹性波装置。在此，在支承体上设置有压电基板。在支承体(即，支承基板)设置有空洞部。压电基板与空洞部重叠。压电基板包含LiNbO3或LiTaO3。在压电基板的上表面设置有IDT电极。在IDT电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压。由此，激励拉姆波。在该IDT电极的两侧设置有反射器。由此，构成了利用了板波的弹性波谐振器。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
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257019号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1记载的弹性波装置中，在压电基板面向空洞部的部分，散热性低。因此，作为弹性波装置整体，散热性也低。在此，若对IDT电极施加电力，则在设置有I本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有空洞部和支承部；压电膜，设置在所述支承部上，使得覆盖所述空洞部，且具有相互对置的第1主面以及第2主面；功能电极，设置在所述压电膜的所述第1主面；以及散热膜，设置在所述压电膜的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者，包含半导体或绝缘体，所述功能电极具有相互对置的至少一对第1电极以及第2电极，在将所述压电膜的厚度设为dx并将相邻的所述第1电极和所述第2电极的中心间距离设为p的情况下，dx/p为0.5以下，在俯视下，所述散热膜与所述支承部的至少一部分重叠，所述散热膜的热导率比所述压电膜的热导率高，且所述散热膜的厚度比所述压电膜的厚度薄。2.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有空洞部和支承部；压电膜，设置在所述支承部上，使得覆盖所述空洞部，且具有相互对置的第1主面以及第2主面；功能电极，设置在所述压电膜的所述第1主面；以及散热膜，设置在所述压电膜的所述第1主面以及所述第2主面中的至少一者，所述功能电极具有相互对置的至少一对第1电极以及第2电极，在将所述压电膜的厚度设为dx并将相邻的所述第1电极和所述第2电极的中心间距离设为p的情况下，dx/p为0.5以下，在俯视下，所述散热膜与所述支承部的至少一部分重叠，所述散热膜的厚度比所述压电膜的厚度薄，所述散热膜为硅膜、氮化硅膜或碳化硅膜。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述散热膜设置在所述压电膜的所述第2主面，且与所述支承基板的所述支承部接触。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述散热膜以及所述支承基板设置为一体。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，在俯视下，所述散热膜与所述空洞部的全部重叠。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述散热膜具有：第1部分，在俯视下与所述第1电极或所述第2电极重叠；以及第2部分，在俯视下与所述第1电极与所述第2电极之间的部分重叠，所述第2部分的至少一部分的厚度比所述第1部分的厚度厚。7.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述散热膜的热导率为所述压电膜的热导率的5倍以上。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电膜为铌酸锂膜或钽酸锂膜。9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，所述散热膜的厚度为所述压电膜的厚度的25％以下。10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，将相邻的所述第1电极和所述第2电极的中心间距离设为p，...

【专利技术属性】
技术研发人员：永友翔，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：