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弹性波装置制造方法及图纸
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文档序号:37704636
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本发明提供一种能够在支承基板设置有空洞部的情况下提高散热性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(1)具备:支承基板(2),具有空洞部(10)和支承部(12);压电膜(铌酸锂膜(3)),设置在支承部(12)上,且具有第1主面(3a)、第2主面...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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