校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具制造方法及图纸

提供一种校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具。校正量确定装置(300)具备：衍射数据存储部(310)，其存储衍射数据，衍射数据是对作为各向同性且无应变的晶体颗粒的集合体的标准试样照射X射线而得到的，包括相对于试样旋转角和试样表面高度的照射X射线的衍射角度的组合；对应关系决定部(320)，其基于衍射数据来决定第1对应关系；以及校正量确定部(330)，其通过第1函数来确定相对于希望的试样旋转角和衍射角度的试样表面高度的校正量。衍射角度的试样表面高度的校正量。衍射角度的试样表面高度的校正量。

【技术实现步骤摘要】
校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具


[0001]本专利技术涉及用于校正射束照射位置的校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具。

技术介绍

[0002]电视机、个人计算机或便携电话等电子设备的部件的尺寸逐年下降。伴随于此，在评估这些电子设备的功能、性能时也经常分析微小区域。另外，汽车等运输机械的部件为了削减CO2或提高燃料效率也有小型化的倾向，分析微小区域的情况也变多。
[0003]在这些分析中，一般使用X射线。分析微小区域的装置为了对某一点照射X射线射束，需要各轴的交叉精度高。因此，在这样的装置中，多是采用将比较有重量的X射线源固定的垂直型测角仪。
[0004]但是，在这种情况下，需要以从重力方向倾斜90
°
的朝向将试样设置于测角仪。而有必须在载台上牢固地设置试样、无法测定重物等缺点。另一方面，在近年来的X射线衍射装置中，将试样设置在与地面水平的载台的水平型测角仪逐渐成为主流。在这样的机构中，不需要大规模的固定，即使是重物也比较容易测定。另外，试样的设置变得简便，另一方面，降低了用于分析微小区域的交叉精度。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种校正量确定装置，是针对因试样相对于测定系统的旋转而产生的X射线照射位置的偏移确定校正量的校正量确定装置，其特征在于，具备：衍射数据存储部，其存储衍射数据，所述衍射数据是对作为各向同性且无应变的晶体颗粒的集合体的标准试样照射X射线而得到的，包括相对于试样旋转角和试样表面高度的照射X射线的衍射角度的组合；对应关系决定部，其基于所述衍射数据来决定第1对应关系；以及校正量确定部，其通过所述第1对应关系来确定相对于希望的所述试样旋转角和所述衍射角度的所述试样表面高度的校正量。2.根据权利要求1所述的校正量确定装置，其特征在于，所述试样旋转角是与散射矢量垂直且绕X射线行进方向的轴的角度χ和绕垂直于光路面的方向的轴的角度ω中的至少一方。3.根据权利要求1或权利要求2所述的校正量确定装置，其特征在于，所述第1对应关系是具有所述试样旋转角的多项式作为系数并表示所述试样表面高度的校正量的所述衍射角度的多项式。4.根据权利要求1或权利要求2所述的校正量确定装置，其特征在于，还具备试样位置控制部，所述试样位置控制部相对于所述希望的所述试样旋转角和所述衍射角度，以所述试样表面高度的校正量来控制所述试样的相对位置。5.根据权利要求4所述的校正量确定装置，其特征在于，还具备基准位置数据存储部，所述基准位置数据存储部相对于所述希望的所述试样旋转角和所述衍射角度，存储使用将所述试样表面高度方向的位置进行了校正控制后的夹具测定出的平行于试样表面的方向的基准位置数据，所述校正量确定部通过第2对应关系并基于所述基准位置数据来确定所述平行于试样表面的方向的校正量。6.根据权利要求5所述的校正量确定装置，其特征在于，所述第2对应关系是具有所述试样旋转角的多项式作为系数并表示所述平行于试样表面的方向的校正量的所述衍射角度的多项式。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：菊地拓哉，小泽哲也，松尾隆二，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：