抽真空装置及太阳能电池加工系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光伏技术领域，提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，包括真空泵、抽气管道、检测反应室压力的压力检测元件和控制器，抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，第一抽气管道和第二抽气管道进气口与反应室连通，第一抽气管道和第二抽气管道出气口与真空泵连通；第一抽气管道设有控制第一抽气管道通断的第一阀门；第二抽气管道设有检测和控制第二抽气管道气体流量的流量控制装置，第一阀门、流量控制装置和压力检测元件均与控制器通信连接，控制器根据压力检测元件的检测信号控制流量控制装置开度和第一阀门启闭。通过带有流量控制装置的第二抽气管道对反应室进行慢抽气，使通入反应室的气体流量减小，可节省工艺所需的气体。工艺所需的气体。工艺所需的气体。

【技术实现步骤摘要】
抽真空装置及太阳能电池加工系统


[0001]本技术涉及光伏
，尤其涉及一种抽真空装置及太阳能电池加工系统。

技术介绍

[0002]随着光伏产品的成本降低，光伏设备不可避免地需要降低成本，增大产能，管式PECVD是电池片产线中的重要设备。真空系统是管式PECVD的重要组成部分。
[0003]在进行PECVD工艺时，需要向PECVD系统的反应室通入稀有气体，随着稀有气体的通入，反应室内的压力会增大，而为了维持系统的气压平衡，需要利用真空系统将反应室内的部分气体抽出，以保证反应室气压平衡。
[0004]但是，由于真空系统的真空泵的抽速较快，会造成稀有气体排出较多，而致使稀有气体的通入量相应地增大，从而增加了稀有气体的消耗，增加了PECVD工艺的成本。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，用以解决现有技术中在进行PECVD工艺时，由于真空系统的真空泵的抽速较快，会造成稀有气体排出较多，而增加稀有气体的消耗，从而增加PECVD工艺的成本的缺陷。
[0006]本技术提供一种抽真空装置，包括：
[0007]真空泵；
[0008]抽气管道，用于连接所述真空泵和反应室，所述抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，所述第一抽气管道的进气口和所述第二抽气管道的进气口均与所述反应室连通，所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口均与所述真空泵连通；所述第一抽气管道上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第一抽气管道的通断；所述第二抽气管道上设置有流量控制装置，所述流量控制装置用于检测和控制经过所述第二抽气管道的气体流量；
[0009]压力检测元件，用于检测所述反应室内的压力；
[0010]控制器，所述第一阀门、所述流量控制装置和所述压力检测元件均与所述控制器通信连接，且所述控制器能够根据所述压力检测元件的检测信号控制所述流量控制装置的开度和所述第一阀门的启闭。
[0011]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述抽气管道还包括：
[0012]主管道，所述主管道的进气口分别与所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口连通，所述主管道的出气口与所述真空泵连通。
[0013]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述主管道上设置有主控制阀，所述主控制阀用于控制经过所述主管道的气体流量，且所述主控制阀与所述控制器通信连接，所述控制器能够根据所述压力检测元件的检测信号控制所述主控制阀的开度。
[0014]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述抽真空装置包括多个所述抽气管
道，多个所述抽气管道的进气口分别与多个所述反应室连通，且多个所述抽气管道的出气口均与所述主管道的进气口连通。
[0015]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述流量控制装置为质量流量控制器。
[0016]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述抽气管道还包括：
[0017]慢抽管道，所述慢抽管道的进气口与所述反应室连通，所述慢抽管道的出气口与所述真空泵连通，且所述慢抽管道的管径分别小于所述第一抽气管道和所述第二抽气管道的管径。
[0018]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述慢抽管道上设置有第二阀门，所述第二阀门用于控制所述慢抽管道的通断，所述第二阀门与所述控制器通信连接。
[0019]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述第二抽气管道的管径小于所述第一抽气管道的管径。
[0020]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述第一阀门为电动角阀，所述主控制阀为电动蝶阀。
[0021]本技术还提供一种太阳能电池加工系统，包括反应室和如上述任意一项所述的抽真空装置。
[0022]本技术提供的抽真空装置及太阳能电池加工系统，包括真空泵、抽气管道、压力检测元件和控制器，抽气管道用于连接真空泵和反应室，以使真空泵能够将反应室中的气体抽出；抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，第一抽气管道的进气口和第二抽气管道的进气口均与反应室连通，第一抽气管道的出气口和第二抽气管道的出气口均与真空泵连通；第一抽气管道上设置有第一阀门，第一阀门用于控制第一抽气管道的通断；第二抽气管道上设置有流量控制装置，流量控制装置用于检测和控制经过第二抽气管道的气体流量。这样，通过第一阀门和流量控制装置可以对抽出的气体的量进行调控。
[0023]并且，压力检测元件用于检测反应室的压力，第一阀门、流量控制装置和压力检测元件均与控制器通信连接，控制器能够根据压力检测元件的检测信号控制流量控制装置的开度和第一阀门的启闭。
[0024]如此设置，在反应室通入气体的过程中，真空泵通过流量控制装置和第一阀门根据反应室内的压力实时调节抽气速度或抽气流量，可以使反应室的压力保持平衡，并且当反应室内的压力较大时，可以通过带有流量控制装置的第二抽气管道对反应室进行慢抽气，可以使得通入反应室的气体流量减小，从而可以节省工艺所需的气体，降低工艺运行成本。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术提供的抽真空装置的结构示意图；
[0027]图2是本技术提供的两个抽真空装置的侧视图；
[0028]图3是本技术提供的两个抽真空装置的俯视图；
[0029]图4是本技术提供的两个抽真空装置的立体图之一(隐藏第二抽气管道和流量控制装置)；
[0030]图5是本技术提供的两个抽真空装置的立体图之二(隐藏第二抽气管道和流量控制装置)；
[0031]图6是本技术提供的两个抽真空装置的立体图之三(隐藏第二抽气管道和流量控制装置)；
[0032]图7是本技术提供的抽真空装置的立体图(隐藏第二抽气管道和流量控制装置)。
[0033]附图标记：
[0034]1、反应室；2、真空泵；3、第一抽气管道；
[0035]4、第二抽气管道；5、第一阀门；6、流量控制装置；
[0036]7、主管道；8、主控制阀；9、压力检测元件；
[0037]10、支撑固定件。
具体实施方式
[0038]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0039]下面结合图1至图7描述本技术的抽真空装置及太阳能电池加工系统。
[0040]如图1所示，本技术提供的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：真空泵；抽气管道，用于连接所述真空泵和反应室，所述抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，所述第一抽气管道的进气口和所述第二抽气管道的进气口均与所述反应室连通，所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口均与所述真空泵连通；所述第一抽气管道上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第一抽气管道的通断；所述第二抽气管道上设置有流量控制装置，所述流量控制装置用于检测和控制经过所述第二抽气管道的气体流量；压力检测元件，用于检测所述反应室内的压力；控制器，所述第一阀门、所述流量控制装置和所述压力检测元件均与所述控制器通信连接，且所述控制器能够根据所述压力检测元件的检测信号控制所述流量控制装置的开度和所述第一阀门的启闭。2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽气管道还包括：主管道，所述主管道的进气口分别与所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口连通，所述主管道的出气口与所述真空泵连通。3.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于，所述主管道上设置有主控制阀，所述主控制阀用于控制经过所述主管道的气体流量，且所述主控制阀与所述控制器通信连接，所述控制器能够根...

【专利技术属性】
技术研发人员：左忆康，汤芳，廖惠东，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：