抽真空装置及太阳能电池加工系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光伏技术领域，提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，包括真空泵、抽气管道、检测反应室压力的压力检测元件和控制器，抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，第一抽气管道和第二抽气管道进气口与反应室连通，第一抽气管道和第二抽气管道出气口与真空泵连通；第一抽气管道设有控制第一抽气管道通断的第一阀门；第二抽气管道设有检测和控制第二抽气管道气体流量的流量控制装置，第一阀门、流量控制装置和压力检测元件均与控制器通信连接，控制器根据压力检测元件的检测信号控制流量控制装置开度和第一阀门启闭。通过带有流量控制装置的第二抽气管道对反应室进行慢抽气，使通入反应室的气体流量减小，可节省工艺所需的气体。工艺所需的气体。工艺所需的气体。

【技术实现步骤摘要】
抽真空装置及太阳能电池加工系统


[0001]本技术涉及光伏
，尤其涉及一种抽真空装置及太阳能电池加工系统。

技术介绍

[0002]随着光伏产品的成本降低，光伏设备不可避免地需要降低成本，增大产能，管式PECVD是电池片产线中的重要设备。真空系统是管式PECVD的重要组成部分。
[0003]在进行PECVD工艺时，需要向PECVD系统的反应室通入稀有气体，随着稀有气体的通入，反应室内的压力会增大，而为了维持系统的气压平衡，需要利用真空系统将反应室内的部分气体抽出，以保证反应室气压平衡。
[0004]但是，由于真空系统的真空泵的抽速较快，会造成稀有气体排出较多，而致使稀有气体的通入量相应地增大，从而增加了稀有气体的消耗，增加了PECVD工艺的成本。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，用以解决现有技术中在进行PECVD工艺时，由于真空系统的真空泵的抽速较快，会造成稀有气体排出较多，而增加稀有气体的消耗，从而增加PECVD工艺的成本的缺陷。
[0006]本技术提供一种抽真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：真空泵；抽气管道，用于连接所述真空泵和反应室，所述抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，所述第一抽气管道的进气口和所述第二抽气管道的进气口均与所述反应室连通，所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口均与所述真空泵连通；所述第一抽气管道上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第一抽气管道的通断；所述第二抽气管道上设置有流量控制装置，所述流量控制装置用于检测和控制经过所述第二抽气管道的气体流量；压力检测元件，用于检测所述反应室内的压力；控制器，所述第一阀门、所述流量控制装置和所述压力检测元件均与所述控制器通信连接，且所述控制器能够根据所述压力检测元件的检测信号控制所述流量控制装置的开度和所述第一阀门的启闭。2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述抽气管道还包括：主管道，所述主管道的进气口分别与所述第一抽气管道的出气口和所述第二抽气管道的出气口连通，所述主管道的出气口与所述真空泵连通。3.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于，所述主管道上设置有主控制阀，所述主控制阀用于控制经过所述主管道的气体流量，且所述主控制阀与所述控制器通信连接，所述控制器能够根...

【专利技术属性】
技术研发人员：左忆康，汤芳，廖惠东，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：