本申请提供一种沉积炉支撑装置，涉及沉积炉领域。该沉积炉支撑装置，包括主体、用于调节沉积炉高度的升降机构、用于使沉积炉转动的旋转机构和用于对沉积炉夹持固定的夹持机构，所述夹持机构具有用于承载沉积炉的盛料筒。该沉积炉支撑装置，通过设置第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆对沉积炉进行夹持固定，有效的解决了以往的沉积炉支撑装置只能对固定大小的沉积炉进行夹持的问题，实现了对不同直径大小和不同高度的沉积炉进行固定，对沉积炉的不同高度位置进行固定，提高沉积炉的稳定性和装置适用性的有益效果，通过设置两个大小不同的副齿轮与主齿轮啮合，通过调节主齿轮的转速从而控制沉积炉的转动速度，实现了提高工作效率的有益效果。益效果。益效果。
【技术实现步骤摘要】
一种沉积炉支撑装置
[0001]本申请涉及沉积炉
，具体为一种沉积炉支撑装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。一般地，化学气相沉积可以理解为两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后两种原材料之间发生气相热分解反应，形成一种新的材料，沉积到基体晶片表面上，使得基体获得更好的表面质量效果，在化学气相沉积工艺中需要用到沉积炉，且需要使用支撑装置对沉积炉进行支撑。
[0003]公开号为CN212770942U公开了一种化学气相沉积炉的支承装置，该装置将沉机炉安装后，通过齿轮与齿圈的啮合带动沉积炉转动，但是该装置只能对固定大小的沉积炉使用，且无法调节沉积炉的转动速度。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本申请提供了一种沉积炉支撑装置，解决了上述
技术介绍
中所提到的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本申请通过以下技术方案予以实现：一种沉积炉支撑装置，包括主体、用于调节沉积炉高度的升降机构、用于使沉积炉转动的旋转机构和用于对沉积炉夹持固定的夹持机构，所述夹持机构具有用于承载沉积炉的盛料筒，所述盛料筒的内部圆周阵列有三个贯穿盛料筒侧壁的第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的一端焊接有与盛料筒固定连接的固定板。
[0008]通过采用上述技术方案，可以利用第一电动伸缩杆将不同大小的沉积炉固定在盛料筒内部，提高装置的适用性，便于重复利用，节省设备成本。
[0009]优选的，所述夹持机构还包括圆周阵列在盛料筒上表面的三个第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的一端焊接有圆盘，所述圆盘的表面固定安装有伸缩柱，所述伸缩柱的一端和第一电动伸缩杆的另一端均固定连接有用于对沉积炉进行夹持的夹具。
[0010]通过采用上述技术方案，可以利用第二电动伸缩杆调节夹具的高度，使装置对沉积炉的不同高度位置进行夹持固定，提高沉积炉的稳定性。
[0011]优选的，所述升降机构包括与主体一端活动连接的套筒和固定安装在主体上表面的第一电机，所述套筒的一端螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一电机的输出轴与套筒的另一端均连接有链轮，且两者连接的链轮之间连接有链条。
[0012]通过采用上述技术方案，可以利用第一螺纹杆与套筒螺纹连接的方式调节装置的整体高度，方便不同高度的工作人员对沉积炉进行操作。
[0013]优选的，所述旋转机构包括与第一螺纹杆一端固定连接的支撑板，所述支撑板的
底部活动连接有主齿轮，所述主齿轮的两侧均设置有嵌套在支撑板底部的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的表面螺纹连接有滑板，所述滑板的表面固定安装有第三电机，所述第三电机的输出轴连接有副齿轮。
[0014]通过采用上述技术方案，可以利用主齿轮与副齿轮啮合的方式使盛料筒中的沉积炉转动，以便获得均匀的沉积薄膜。
[0015]优选的，所述副齿轮的数量为两个，两个所述副齿轮的直径大小一个大于主齿轮的直径大小，另外一个小于主齿轮的直径大小，所述第二螺纹杆的一端连接有第二电机。
[0016]通过采用上述技术方案，可以利用不同大小的副齿轮与主齿轮啮合，从而能够调节沉积炉的转动速度。
[0017]优选的，所述伸缩柱的表面缠绕有用于对大小不同的沉积炉进行夹持固定的弹簧。
[0018]通过采用上述技术方案，可以利用弹簧的弹力使伸缩柱一端的夹具始终与沉积炉贴合对其进行夹持固定，也起到了对不同大小的沉积炉进行固定的作用。
[0019]优选的，所述夹持机构活动连接有旋转机构的上方。
[0020]通过采用上述技术方案，可以利用旋转机构带动夹持机构中的沉积炉转动。
[0021]优选的，所述第二电动伸缩杆位于两个第一电动伸缩杆之间。
[0022]通过采用上述技术方案，可以使夹具分布在沉积炉表面的不同位置，扩大夹持面积，提高夹持力度。
[0023](三)有益效果
[0024]本申请提供了一种沉积炉支撑装置。具备有益效果如下：
[0025]1.该沉积炉支撑装置，通过设置第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆对沉积炉进行夹持固定，有效的解决了以往的沉积炉支撑装置只能对固定大小的沉积炉进行夹持的问题，实现了对不同直径大小和不同高度的沉积炉进行固定，对沉积炉的不同高度位置进行固定，提高沉积炉的稳定性和装置适用性的有益效果。
[0026]2.该沉积炉支撑装置，通过设置两个大小不同的副齿轮与主齿轮啮合，通过调节主齿轮的转速从而控制沉积炉的转动速度，实现了提高工作效率的有益效果。
附图说明
[0027]图1为本申请第一种立体结构示意图；
[0028]图2为本申请第二种立体结构示意图；
[0029]图3为本申请夹持机构立体结构示意图；
[0030]图4为本申请主体俯视剖视图。
[0031]图中：1、主体；2、升降机构；201、套筒；202、第一螺纹杆；203、第一电机；204、链轮；3、旋转机构；301、支撑板；302、第二电机；303、滑板；304、第三电机；305、副齿轮；306、主齿轮；307、第二螺纹杆；4、夹持机构；401、盛料筒；402、第一电动伸缩杆；403、固定板；404、夹具；405、第二电动伸缩杆；406、圆盘；407、伸缩柱；408、弹簧。
具体实施方式
[0032]下面通过附图和实施例对本申请作进一步详细阐述。
[0033]参照图1至图3，本申请实施例提供一种沉积炉支撑装置，包括主体1、用于调节沉积炉高度的升降机构2、用于使沉积炉转动的旋转机构3和用于对沉积炉夹持固定的夹持机构4，夹持机构4具有用于承载沉积炉的盛料筒401，盛料筒401的内部圆周阵列有三个贯穿盛料筒401侧壁的第一电动伸缩杆402，第一电动伸缩杆402的一端焊接有与盛料筒401固定连接的固定板403。
[0034]夹持机构4还包括圆周阵列在盛料筒401上表面的三个第二电动伸缩杆405，第二电动伸缩杆405的一端焊接有圆盘406，圆盘406的表面固定安装有伸缩柱407，伸缩柱407的一端和第一电动伸缩杆402的另一端均固定连接有用于对沉积炉进行夹持的夹具404。
[0035]夹持机构4活动连接有旋转机构3的上方。
[0036]伸缩柱407的表面缠绕有用于对大小不同的沉积炉进行夹持固定的弹簧408。
[0037]第二电动伸缩杆405位于两个第一电动伸缩杆402之间，首先将沉积炉放置在盛料筒401的内部，启动第一电动伸缩杆402推动夹具404对沉积炉的底部进行夹持固定，然后根据沉积炉的高度，启动第二电动伸缩杆405推动夹具404移动到合适的高度，然后根据沉积炉的直径大小，利用弹簧408的弹力使伸缩柱407一端的夹具404始终与沉积炉接触对其进行夹持，伸缩柱407会跟着弹簧408进行收缩。
[0038]参照图1和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种沉积炉支撑装置，包括主体(1)、用于调节沉积炉高度的升降机构(2)、用于使沉积炉转动的旋转机构(3)和用于对沉积炉夹持固定的夹持机构(4)，其特征在于：所述夹持机构(4)具有用于承载沉积炉的盛料筒(401)，所述盛料筒(401)的内部圆周阵列有三个贯穿盛料筒(401)侧壁的第一电动伸缩杆(402)，所述第一电动伸缩杆(402)的一端焊接有与盛料筒(401)固定连接的固定板(403)。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉支撑装置，其特征在于：所述夹持机构(4)还包括圆周阵列在盛料筒(401)上表面的三个第二电动伸缩杆(405)，所述第二电动伸缩杆(405)的一端焊接有圆盘(406)，所述圆盘(406)的表面固定安装有伸缩柱(407)，所述伸缩柱(407)的一端和第一电动伸缩杆(402)的另一端均固定连接有用于对沉积炉进行夹持的夹具(404)。3.根据权利要求1所述的一种沉积炉支撑装置，其特征在于：所述升降机构(2)包括与主体(1)一端活动连接的套筒(201)和固定安装在主体(1)上表面的第一电机(203)，所述套筒(201)的一端螺纹连接有第一螺纹杆(202)，所述第一电机(203)的输出轴与套筒(201)的另一端均连接有链轮(204)，且两者连接的链轮(204)之...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄志国，周伟，黄硕，
申请(专利权)人：扬州市硕成伟业电热设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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