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本实用新型涉及光伏技术领域，提供一种抽真空装置及太阳能电池加工系统，包括真空泵、抽气管道、检测反应室压力的压力检测元件和控制器，抽气管道包括第一抽气管道和第二抽气管道，第一抽气管道和第二抽气管道进气口与反应室连通，第一抽气管道和第二抽气管道...
该专利属于三一硅能（株洲）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三一硅能（株洲）有限公司授权不得商用。

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