转印膜、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法技术

本发明专利技术的第一个课题在于提供如下一种转印膜：运载膜时，在组合物层与引导辊的接触面不易发生感光性组合物层对引导辊的附着，而且在热层压于配线基板等具有阶梯差的基材上时对广范围的各种层压温度具有优异的阶梯差追随性。并且，本发明专利技术的第二个课题在于提供一种使用上述转印膜的层叠体的制造方法及电路配线的制造方法。本发明专利技术的转印膜具有临时支承体及配置于上述临时支承体上的组合物层，上述组合物层包含感光性组合物层，在频率1Hz及升温速度5℃/分钟的条件下，测定上述组合物层在25～150℃下的动态粘弹性时，满足下述式(1A)～式(3A)的全部要件，式(1A)tanδ

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】转印膜、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种转印膜、层叠体的制造方法、及电路配线的制造方法。

技术介绍

[0002]由于用于获得规定图案的工序数少，因此广泛使用如下方法：使用转印膜在任意基板上配置感光性组合物层，并隔着掩膜对该感光性组合物层进行曝光之后进行显影。
[0003]例如，在专利文献1中公开了一种感光性元件(转印膜)，其具有支承膜及设置于上述支承膜上的感光性树脂组合物层(感光性组合物层)。
[0004]以往技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2015
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121929号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术课题
[0008]本专利技术人对专利文献1中记载的转印膜进行研究的结果，发现卷出卷状的转印膜并在转印膜中的未固化状态的感光性组合物层与引导辊接触的状态下进行膜运载时，存在感光性组合物层附着于引导辊而发生感光性组合物层的剥离的情况。
[0009]而且，本专利技术人发现，以转印膜中的未固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种转印膜，其具有：临时支承体；及配置于所述临时支承体上的组合物层，所述组合物层包含感光性组合物层，在频率1Hz及升温速度5℃/分钟的条件下测定所述组合物层在25℃～150℃下的动态粘弹性时满足下述式(1A)～式(3A)的全部要件，式(1A)tanδ
T25
≤1.5式(2A)tanδ
T120
≥0.80式(3A)0.50≤tanδ
T120
/tanδ
T80
≤10其中，在上述式(1A)～式(3A)中，tanδ
T25
表示在25℃下的tanδ，tanδ
T120
表示在120℃下的tanδ，tanδ
T80
表示在80℃下的tanδ。2.根据权利要求1所述的转印膜，其满足下述式(1A
’
)的要件，式(1A
’
)tanδ
T25
≤1.2。3.根据权利要求1或2所述的转印膜，其满足下述式(1A”)的要件，式(1A”)tanδ
T25
≤1.0。4.根据权利要求1至3中任一项所述的转印膜，其满足下述式(3A
’
)的要件，式(3A
’
)1.0≤tanδ
T120
/tanδ
T80
≤8.0。5.根据权利要求1至4中任一项所述的转印膜，其满足下述式(2A
’
)的要件，式(2A
’
)tanδ
T120
...

【专利技术属性】
技术研发人员：霜山达也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：