感光性组合物、层叠体、图案形成方法及带图案的层叠体技术

技术编号:37668210 阅读:32 留言:0更新日期:2023-05-26 04:28
本发明专利技术提供一种形成含有抑制迁移且能够进行碱显影的金属纳米材料的层的感光性组合物、层叠体、图案形成方法及带图案的层叠体。在该感光性组合物、层叠体、图案形成方法及带图案的层叠体中,该感光性组合物含有金属纳米材料和碱溶性化合物。料和碱溶性化合物。

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物、层叠体、图案形成方法及带图案的层叠体


[0001]本专利技术涉及一种感光性组合物、层叠体、图案形成方法及带图案的层叠体。

技术介绍

[0002]含有银纳米线等金属纳米材料的层具有高导电性及透明性,因此作为透明导电膜是有用的。并且,含有银纳米线等的层能够形成强度高于一直以来被广泛使用的无机透明导电膜(例如,ITO膜、IZO膜等)的膜,因此期待作为可弯曲且可折叠的触摸面板用透明导电膜的用途。
[0003]形成含有银纳米线的层及使用该层的导电性图案的技术例如已在专利文献1~6中公开。
[0004]专利文献1:日本特开2019

117794号公报
[0005]专利文献2:国际公开第2010/021224号
[0006]专利文献3:日本特开2011

175972号公报
[0007]专利文献4:国际公开第2014/196154号
[0008]专利文献5:国际公开第2013/151052号
[0009]专利文献6:国际公开第2015/049939号
[0010]若在水分(湿度)较多的环境条件下对印刷电路板施加电压,则容易发生所谓的离子迁移(以下,有时简称为“迁移”),即,导电性图案(以下,有时简称为“图案”)的阳极的金属被离子化而移动至对置的阴极,并再次在阴极生成为金属的现象,有时会在配线间发生短路(short circuit)。在形成这种导电性图案时,例如,如专利文献1~6中公开那样,需要如下工序:在形成含有银纳米线的层之后,层叠其他树脂层等并实施蚀刻等。然而,这种工序容易使水残留在图案上,因此有时会恶化迁移。

技术实现思路

[0011]本专利技术是鉴于这种状况而完成的,本专利技术的一实施方式要解决的课题在于,提供一种形成含有抑制迁移且能够进行碱显影的金属纳米材料的层的感光性组合物。
[0012]本专利技术的另一实施方式要解决的课题在于,提供一种含有抑制迁移且能够进行碱显影的金属纳米材料的层叠体。
[0013]本专利技术的另一实施方式要解决的课题在于,提供一种使用上述层叠体的图案形成方法。
[0014]本专利技术的另一实施方式要解决的课题在于,提供一种由上述层叠体获得的带图案的层叠体。
[0015]本专利技术包括以下方式。
[0016]<1>一种感光性组合物,其含有金属纳米材料和碱溶性化合物。
[0017]<2>根据<1>所述的感光性组合物,其满足下述(1)及(2)中的至少一者。
[0018](1)含有光聚合性化合物,碱溶性化合物为碱溶性树脂。
[0019](2)碱溶性化合物为碱溶性光聚合性化合物。
[0020]<3>根据<2>所述的感光性组合物,其中,碱溶性树脂为含羧基树脂。
[0021]<4>根据<2>或<3>所述的感光性组合物,其中,碱溶性光聚合性化合物为含羧基光聚合性化合物。
[0022]<5>一种层叠体,其依次具有:
[0023]基板;及
[0024]含有金属纳米材料和碱溶性化合物的感光层。
[0025]<6>一种层叠体,其依次具有:
[0026]基板;
[0027]含有金属纳米材料的层;及
[0028]含有碱溶性化合物的感光层。
[0029]<7>一种层叠体,其依次具有:
[0030]基板;
[0031]含有碱溶性化合物的感光层;及
[0032]含有金属纳米材料的层。
[0033]<8>根据<5>至<7>中任一项所述的层叠体,其满足下述(1)及(2)中的至少一者。
[0034](1)含有光聚合性化合物,碱溶性化合物为碱溶性树脂。
[0035](2)碱溶性化合物为碱溶性光聚合性化合物。
[0036]<9>根据<8>所述的层叠体,其中,碱溶性树脂为含羧基树脂。
[0037]<10>根据<8>或<9>所述的层叠体,其中,碱溶性光聚合性化合物为含羧基光聚合性化合物。
[0038]<11>根据<5>至<10>中任一项所述的层叠体,其在感光层的与具有基板的一侧相反的一侧具有阻氧层。
[0039]<12>根据<11>所述的层叠体,其中,阻氧层含有选自聚乙烯醇系树脂、聚乙烯吡咯烷酮系树脂、纤维素系树脂、丙烯酰胺系树脂、聚环氧乙烷系树脂、明胶、乙烯醚系树脂及聚酰胺系树脂中的一种以上。
[0040]<13>根据<5>至<12>中任一项所述的层叠体,其在基板的两个面具有感光层,
[0041]基板的365nm下的吸光度为0.5以上。
[0042]<14>一种图案形成方法,其包括:
[0043]准备<5>至<12>中任一项所述的层叠体的工序;
[0044]对感光层进行图案曝光的工序;及
[0045]对经图案曝光的感光层进行显影的工序。
[0046]<15>一种图案形成方法,其包括:
[0047]准备层叠体的工序,该层叠体依次具有含有金属纳米材料和碱溶性化合物的第一感光层、包括对曝光波长的光具有透射性的区域的基板以及含有金属纳米材料和碱溶性化合物的第二感光层;
[0048]对第一感光层进行曝光的工序;
[0049]对第二感光层进行曝光的工序;
[0050]对经曝光的第一感光层进行显影来形成第一树脂图案的工序;及
[0051]对经曝光的第二感光层进行显影来形成第二树脂图案的工序,
[0052]对第一感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ1及对第二感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ2满足λ1≠λ2的关系。
[0053]<16>一种图案形成方法,其包括:
[0054]准备层叠体的工序,该层叠体依次具有含有金属纳米材料的层、含有碱溶性化合物的第一感光层、包括对曝光波长的光具有透射性的区域的基板、含有金属纳米材料的层以及含有碱溶性化合物的第二感光层;...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光性组合物,其含有金属纳米材料和碱溶性化合物。2.根据权利要求1所述的感光性组合物,其满足下述(1)及(2)中的至少一者,(1)含有光聚合性化合物,所述碱溶性化合物为碱溶性树脂,(2)所述碱溶性化合物为碱溶性光聚合性化合物。3.根据权利要求2所述的感光性组合物,其中,所述碱溶性树脂为含羧基树脂。4.根据权利要求2或3所述的感光性组合物,其中,所述碱溶性光聚合性化合物为含羧基光聚合性化合物。5.一种层叠体,其依次具有:基板;及含有金属纳米材料和碱溶性化合物的感光层。6.一种层叠体,其依次具有:基板;含有金属纳米材料的层;及含有碱溶性化合物的感光层。7.一种层叠体,其依次具有:基板;含有碱溶性化合物的感光层;及含有金属纳米材料的层。8.根据权利要求5至7中任一项所述的层叠体,其满足下述(1)及(2)中的至少一者,(1)含有光聚合性化合物,所述碱溶性化合物为碱溶性树脂,(2)所述碱溶性化合物为碱溶性光聚合性化合物。9.根据权利要求8所述的层叠体,其中,所述碱溶性树脂为含羧基树脂。10.根据权利要求8所述的层叠体,其中,所述碱溶性光聚合性化合物为含羧基光聚合性化合物。11.根据权利要求5至7中任一项所述的层叠体,其在所述感光层的与具有基板的一侧相反的一侧具有阻氧层。12.根据权利要求11所述的层叠体,其中,所述阻氧层含有选自聚乙烯醇系树脂、聚乙烯吡咯烷酮系树脂、纤维素系树脂、丙烯酰胺系树脂、聚环氧乙烷系树脂、明胶、乙烯醚系树脂及聚酰胺系树脂中的一种以上。13.根据权利要求5至7中任一项所述的层叠体,其在所述基板的两个面具有所述感光层,所述基板的365nm下的吸光度为0.5以上。14.一种图案形成方法,其包括:准备权利要求5至12中任一项所述的层叠体的工序;对所述感光层进行图案曝光的工序;及对经所述图案曝光的所述感光层进行显影的工序。15.一种图案形成方法,其包括:
准备层叠体的工序,所述层叠体依次具有含有金属纳米材料和碱溶性化合物的第一感光层、包括对曝光波长的光具有透射性的区域的基板以及含有金属纳米材料和碱溶性化合物的第二感光层;对所述第一感光层进行曝光的工序;对所述第二感光层进行曝光的工序;对经曝光的所述第一感光层进行显影来形成第一树脂图案的工序;及对经曝光的所述第二感光层进行显影来形成第二树脂图案的工序,对所述第一感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ1及对所述第二感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ2满足λ1≠λ2的关系。16.一种图案形成方法,其包括:准备层叠体的工序,所述层叠体依次具有含有金属纳米材料的层、含有碱溶性化合物的第一感光层、包括对曝光波长的光具有透射性的区域的基板、含有金属纳米材料的层以及含有碱溶性化合物的第二感光层;对所述第一感光层进行曝光的工序;对所述第二感光层进行曝光的工序;对经曝光的所述第一感光层进行显影来形成第一树脂图案的工序;及对经曝光的所述第二感光层进行显影来形成第二树脂图案的工序,对所述第一感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ1及对所述第二感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ2满足λ1≠λ2的关系。17.一种图案形成方法,其包括:准备层叠体的工序,所述层叠体依次...

【专利技术属性】
技术研发人员:藤本进二有富隆志片山晃男
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:

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