通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于通过超临界流体路线，用于在样品(104)上沉积厚金属氮化物的装置(100)，包括：

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】通过超临界流体路径沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法


[0001]本专利技术涉及金属氮化物涂层的一般领域，并且更特别地涉及金属氮化物的厚涂层(大于1μm)，并且甚至更特别地，本专利技术涉及用于通过超临界流体沉积厚金属氮化物涂层的装置和方法。

技术介绍

[0002]目前，工业家赞誉了通过化学和电解合成生产的具有铬IV形成的基于硬铬的涂层，因为它们生产简单、廉价和允许覆盖许多应用。然而，由于关于保护人类健康和环境的新规定，他们注定消失。
[0003]为了替代这些涂层和/或制造方法，已经提出了通过等离子体炬技术生产的基于碳化钨、钢或金属陶瓷的涂层。尽管如此，它们不允许生产厚的涂层，特别地，因为涂层的摩擦特性的退化以及裂缝的形成。
[0004]还已经提出了自动催化镀镍或者电解镍沉积的技术，但是它们昂贵，并且所获得的涂层几乎没有耐腐蚀性和/或随温度退化。气相沉积技术也不合适，因为它们不允许生产厚的涂层，并且不允许涂覆具有复杂几何形状(即，非平面的)的零件。此外，必需的前体经常是危险的，并且需要其上沉积有涂层的材料经受高于700℃的温度。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于通过超临界流体，在样品(104)上沉积具有大于或等于1μm厚度的金属氮化物的装置(100)，包括：
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第一外壳(110)，其由形成第一封闭容积(V1)的外壁(101)界定；
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第二外壳(120)，其由形成第二封闭容积(V2)的内壁(102)界定，第二外壳被放置在第一外壳中，并且旨在容纳超临界条件下的流体，并且内壁的材料可透过电磁辐射；
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传热介电流体，其围绕第二外壳在第一容积中循环；
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样品保持架(105)，其存在于第二容积中，并且被构造成支撑样品(104)；
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感应加热装置(103)，其被放置在第一外壳中，并且围绕第二外壳，以便能够加热在样品保持架上所放置的样品；
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入口(150)，其被构造成将流体引入到第二容积中；
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入口(151)，其被构造成将至少一种前体材料引入到第二容积中；以及
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至少一个出口(152)，其被构造成净化第二容积。2.根据权利要求1所述的金属氮化物沉积装置，其中，内壁的材料是陶瓷。3.根据权利要求1或2所述的金属氮化物沉积装置，其中，通过由316L不锈钢制成的两个盖(140、141)，封闭第一外壳和第二外壳。4.一种由根据权利要求1至3中任一项所述的装置实施的用于通过超临界流体，在样品上沉积具有大于或等于1μm厚度的金属氮化物的方法，所述方法包括至少以下步骤：
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将样品放置在样品保持架上(201，301)；
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通过感应，加热样品，并且通过介电传热流体，加热第二容积(202，302)；
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将每种前体材料和流体引入到第二容积中(203，303)，以使前体材料和流体在超临界条件下反应，以在样品的表面上形成金属氮化物(204，304)，并且使在样品的表面上形成的金属氮化物生长；以及
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【专利技术属性】
技术研发人员：马乔里，
申请(专利权)人：国家科学研究中心波尔多大学，
类型：发明
国别省市：