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本发明涉及一种用于通过超临界流体路线，用于在样品(104)上沉积厚金属氮化物的装置(100)，包括：
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该专利属于国家科学研究中心波尔多大学所有，仅供学习研究参考，未经过国家科学研究中心波尔多大学授权不得商用。

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