一种新型源瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型源瓶，包括第一源瓶、第二源瓶及多个支撑台，所述第一源瓶顶端分别固接第一长管及第一短管，所述第二源瓶顶面固接第二长管及第二短管，所述第一长管、第一短管、第二长管及第二短管上连通管路部件，所述管路部件包括进气组件、出气组件、第一辅助组件、第二辅助组件及连接组件，所述进气组件连通第一长管，所述出气组件连通第二短管，所述连接组件两端分别连通第一短管及第二长管，所述第一辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件。本实用新型专利技术可以通过启闭多个阀门的方式改变气体在源瓶内的流量和方向，在不同阶段保证mo源与气体的接触面积，保证源效率，并且无需调整进气位置即可实现，操作更加简便，也更加效率。也更加效率。也更加效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型源瓶


[0001]本技术涉及半导体芯片
，具体为一种新型源瓶。

技术介绍

[0002]在目前半导体行业MOCVD量产芯片过程中，对各种参与反应的原材料Mo源的实际消耗量要求精度很高，Mo源的消耗量会直接影响到产出的良率、性能等重要参数，Mo源物理状况分为液态、固态等状态，其中MOCVD生产过程中Mo源固态源是通过源瓶进行反应的，源瓶包括为一个钢瓶瓶体，顶端连通一个长管和一个短管，长管用于进气，短管用于出气，mo源位于瓶体内，在通气后，气体与mo源在钢瓶内反应，反应初期气体与mo源接触面积较大，源效率高，但是反应较长时间后，内部的mo源及气体分布受到短管出气的影响，接触位置表面倾斜，降低了气体与mo源的接触面积，这就导致了源利用率下降的现象，随着使用时间的推移，固态源的接触面积会越来越小，目前的解决方式是让其进出口可以对调，改变载气流向，从而获得最大的接触面积，提高源效率。
[0003]但是这种改变气流进入的方式需要调节源瓶方向，较为麻烦，并且在改变时还需要暂停通气，也会影响效率。
[0004]为此我们提出一种新型源瓶用于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种新型源瓶，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型源瓶，包括第一源瓶、第二源瓶及多个支撑台，所述第一源瓶顶端分别固接第一长管及第一短管，所述第二源瓶顶面固接第二长管及第二短管，所述第一长管、第一短管、第二长管及第二短管上连通管路部件，所述管路部件包括进气组件、出气组件、第一辅助组件、第二辅助组件及连接组件；
[0007]所述进气组件连通第一长管，所述出气组件连通第二短管，所述连接组件两端分别连通第一短管及第二长管，所述第一辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件，所述第二辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件。
[0008]优选的，所述进气组件包括进气管，所述进气管一端插接并连通第一双通速接头，所述第一双通速接头插接并连通第一长管，所述进气管上连通第一三通速接头及第二三通速接头，所述第二三通速接头位于第一三通速接头与第一双通速接头之间位置，所述进气管上位于第一三通速接头与第二三通速接头之间位置固接第一阀门，所述进气管靠近第一双通速接头位置固接第一启闭阀。
[0009]优选的，所述出气组件包括出气管，所述出气管一端插接并连通第二双通速接头，所述第二双通速接头插接并连通第二短管端部，所述出气管上连通第三三通速接头及第四三通速接头，所述第四三通速接头位于第三三通速接头与第二双通速接头之间位置，所述出气管上位于第三三通速接头与第四三通速接头之间位置固接第二阀门，所述出气管靠近第二双通速接头位置固接第二启闭阀。
[0010]优选的，所述第一辅助组件包括第一L型管、第二L型管及第一软管，所述第一软管两端分别插接并连通两个第三双通速接头，两个所述第三双通速接头分别插接并连通第一L型管及第二L型管一端，所述第一L型管另一端插接并连通第二三通速接头，所述第二L型管另一端插接并连通第三三通速接头，所述第一L型管上固接第三阀门。
[0011]优选的，所述第二辅助组件包括第三L型管、第四L型管及第二软管，所述第二软管两端分别插接并连通两个第四双通速接头，两个所述第四双通速接头分别插接并连通第三L型管及第四L型管一端，所述第三L型管另一端插接并连通第一三通速接头，所述第四L型管另一端插接并连通第四三通速接头，所述第三L型管上固接第四阀门。
[0012]优选的，所述连接组件包括连接U型管，所述连接U型管两端分别插接并连通两个第五双通速接头，两个所述第五双通速接头分别插接并连通第一短管及第二长管，所述连接U型管靠近两个第五双通速接头位置分别固接两个第三启闭阀。
[0013]优选的，所述支撑台包括立杆，所述立杆底端固接底座、顶端固接托板，所述托板接触管路部件。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]本技术可以通过启闭多个阀门的方式改变气体在源瓶内的流量，在不同阶段保证mo源与气体的接触面积，保证源效率，并且无需调整进气位置即可实现，操作更加简便，也更加效率。
附图说明
[0016]图1为本技术第一、二个实施例中主体结构示意图；
[0017]图2为本技术第二个实施例中管路部件处爆炸结构示意图；
[0018]图3为本技术第一、二个实施例中第一源瓶及第二源瓶处剖切结构示意图。
[0019]图中：1、第一源瓶；2、第二源瓶；3、管路部件；4、进气组件；5、出气组件；6、第一辅助组件；7、第二辅助组件；8、连接组件；9、支撑台；11、第一长管；12、第一短管；21、第二长管；22、第二短管；41、进气管；42、第一双通速接头；43、第一三通速接头；44、第二三通速接头；45、第一阀门；46、第一启闭阀；51、出气管；52、第二双通速接头；53、第三三通速接头；54、第四三通速接头；55、第二阀门；56、第二启闭阀；61、第一L型管；62、第二L型管；63、第一软管；64、第三双通速接头；65、第三阀门；71、第三L型管；72、第四L型管；73、第二软管；74、第四双通速接头；75、第四阀门；81、连接U型管；82、第五双通速接头；83、第三启闭阀；91、立杆；92、底座；94、托板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1：
[0022]请参阅图1及图3，本技术提供一种技术方案：一种新型源瓶，包括第一源瓶1、第二源瓶2及多个支撑台9，第一源瓶1顶端分别固接第一长管11及第一短管12，第二源瓶2
顶面固接第二长管21及第二短管22，第一长管11、第一短管12、第二长管21及第二短管22上连通管路部件3，管路部件3包括进气组件4、出气组件5、第一辅助组件6、第二辅助组件7及连接组件8；
[0023]进气组件4连通第一长管11，出气组件5连通第二短管22，连接组件8两端分别连通第一短管12及第二长管21，第一辅助组件6两端分别连通进气组件4及出气组件5，第二辅助组件7两端分别连通进气组件4及出气组件5，通过两个辅助组件配合各个阀门启闭来实现气流在源瓶内的流向。
[0024]实施例2：
[0025]请参阅图1
‑
3，为本技术第二个实施例，该实施例基于上一个实施例，进气组件4包括进气管41，进气管41一端插接并连通第一双通速接头42，第一双通速接头42插接并连通第一长管11，进气管41上连通第一三通速接头43及第二三通速接头44，第二三通速接头44位于第一三通速接头43与第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型源瓶，包括第一源瓶（1）、第二源瓶（2）及多个支撑台（9），所述第一源瓶（1）顶端分别固接第一长管（11）及第一短管（12），所述第二源瓶（2）顶面固接第二长管（21）及第二短管（22），其特征在于：所述第一长管（11）、第一短管（12）、第二长管（21）及第二短管（22）上连通管路部件（3），所述管路部件（3）包括进气组件（4）、出气组件（5）、第一辅助组件（6）、第二辅助组件（7）及连接组件（8）；所述进气组件（4）连通第一长管（11），所述出气组件（5）连通第二短管（22），所述连接组件（8）两端分别连通第一短管（12）及第二长管（21），所述第一辅助组件（6）两端分别连通进气组件（4）及出气组件（5），所述第二辅助组件（7）两端分别连通进气组件（4）及出气组件（5）。2.根据权利要求1所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述进气组件（4）包括进气管（41），所述进气管（41）一端插接并连通第一双通速接头（42），所述第一双通速接头（42）插接并连通第一长管（11），所述进气管（41）上连通第一三通速接头（43）及第二三通速接头（44），所述第二三通速接头（44）位于第一三通速接头（43）与第一双通速接头（42）之间位置，所述进气管（41）上位于第一三通速接头（43）与第二三通速接头（44）之间位置固接第一阀门（45），所述进气管（41）靠近第一双通速接头（42）位置固接第一启闭阀（46）。3.根据权利要求2所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述出气组件（5）包括出气管（51），所述出气管（51）一端插接并连通第二双通速接头（52），所述第二双通速接头（52）插接并连通第二短管（22）端部，所述出气管（51）上连通第三三通速接头（53）及第四三通速接头（54），所述第四三通速接头（54）位于第三三通速接头（53）与第二双通速接头（52）之间位置，所述出气管（...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐志军，刘勇，蒲健，谢陶，李本功，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：新型
国别省市：