一种工件镀膜和高温渗氘气设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种工件镀膜和高温渗氘气设备，包括镀膜腔体、渗氘腔体、转料装置，镀膜腔体为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体与镀膜装置相连接，渗氘腔体为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体与渗氘装置相连接，镀膜腔体和渗氘腔体之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。本实用新型专利技术提供的上述方案，可以在一台设备上实现对工件的镀膜处理和渗氘处理，解决膜层污染问题和提高生产效率。生产效率。生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种工件镀膜和高温渗氘气设备


[0001]本技术涉及镀膜领域，具体涉及一种工件镀膜和高温渗氘气设备。

技术介绍

[0002]目前市场上的设备，磁控溅射镀膜和表面渗氘气的工艺流程是分开实施的，中途会有膜层污染问题，而且生产效率不高，不适合工业生产。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种工件镀膜和高温渗氘气设备，其可以在一台设备上实现对工件的镀膜处理和渗氘处理。
[0004]本技术采取的技术方案具体为：一种工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：包括镀膜腔体、渗氘腔体、转料装置，镀膜腔体为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体与镀膜装置相连接，渗氘腔体为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体与渗氘装置相连接，镀膜腔体和渗氘腔体之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。
[0005]具体的操作为：还包括载具，工件装配在载具上，转料装置用于实现载具在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移动。
[0006]转送通道呈直线状，记转送通道的长度方向为A方向，移料装置沿A方向移动工件实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。
[0007]载具上设置有装配槽，转料装置包括横状布置的U型的转料叉，转料叉沿A方向活动安装，转料叉插入装配槽内与载具进行装配。
[0008]镀膜腔体上设置有沿A方向布置的装配套，装配套内设置有推杆，推杆沿A方向与密封装配套滑动且密封装配，推杆延伸至镀膜腔体内的端部用于安装转料装置，推杆延伸至装配套外侧的另一端与驱动推杆沿A方向移动的驱动机构相连接。
[0009]调节装置包括转送通道上设置的插板阀。
[0010]镀膜装置为真空磁控溅射镀膜装置。
[0011]镀膜腔体内设置有镀膜载物台，镀膜载物台转动和升降式安装，镀膜载物台上设置有镀膜加热组件，镀膜载物台与偏压组件相连接，镀膜腔室上还设置有对工件进行清洗的离子束清洗装置。
[0012]渗氘腔体内设置有渗氘载物台，渗氘载物台升降式安装，渗氘载物台上设置有渗氘加热组件。
[0013]本技术还提供了一种工件镀膜和高温渗氘气的工艺，其特征在于，包括如下操作：将工件和载具布置在镀膜腔室内的镀膜载物台上，关闭插板阀调整转送通道处于关闭状态，调节镀膜载物台自转和启动镀膜加热组件，工件加热到设定温度后，打开离子束清洗装置对工件的表面进行清洗处理，清洗处理后，启动偏压装置对工件施加偏压以及打开
镀膜装置对工件进行镀膜处理，镀膜处理结束后，打开插板阀调整转送通道处于连通状态，调整转料装置平移与静置状态的镀膜载物台上的载具进行装配，随后调整镀膜载物台下行至低位使得载具和镀膜载物台分离，调整转料装置继续移动，将载具移至渗氘腔体内渗氘载物台的上侧，调整渗氘载物台由低位上行至高位对载具进行撑托，载具被渗氘载物台撑托后，转料装置回缩至镀膜腔体内，关闭插板阀调整转送通道处于关闭状态，工件被渗氘加热组件加热，加热到设置的温度后，开始往渗氘腔体充入氘气，渗氘腔体内部的气压达到2个大气压后，停止充氘气和加热，让工件自然冷却至室温，将氘气渗入工件膜层表面。
[0014]本技术提供的上述方案，可以在一台设备上实现对工件的镀膜处理和渗氘处理，解决膜层污染问题和提高生产效率。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图。
[0016]图2为镀膜腔体、渗氘腔体取出部分腔壁后的结构示意图。
[0017]图3为图2中载具、工件移至渗氘腔体内的结构示意图。
[0018]图4为转料装置的结构示意图。
[0019]100
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机架、101
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电气柜、110
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镀膜腔体、111
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A安装孔、112
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B安装孔、113
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镀膜载物台、120
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渗氘腔体、121
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渗氘载物台、131
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转料叉、132
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推杆、133
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导杆、135
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驱动机构、136
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活动支架、137
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装配套、140
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载具、150
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插板阀。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本技术进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本技术具体请求的保护范围进行严格限定。
[0021]如图1
‑
4所示，一种工件镀膜和高温渗氘气设备，包括镀膜腔体110、渗氘腔体120、转料装置，镀膜腔体110为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体110与镀膜装置相连接，渗氘腔体120为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体120与渗氘装置相连接，镀膜腔体110和渗氘腔体120之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体110和渗氘腔体120之间的移送。本技术提供的上述方案，可以在一台设备上实现对工件的镀膜处理和渗氘处理，解决膜层污染问题和提高生产效率。
[0022]具体的操作为：还包括载具140，工件装配在载具140上，转料装置用于实现载具140在镀膜腔体110和渗氘腔体120之间的移动。转送通道呈直线状，记转送通道的长度方向为A方向，移料装置沿A方向移动工件实现工件在镀膜腔体110和渗氘腔体120之间的移送。载具140上设置有装配槽，转料装置包括横状布置的U型的转料叉131，转料叉131沿A方向活动安装，转料叉131插入装配槽内与载具140进行装配。载具140具体可以设置呈圆形，在载具140的侧壁上设置环形槽，所述的环形槽构成所述的装配槽，从而方便转料叉131与装配槽的快速方便的装配。镀膜腔体110（的腔壁）上设置有沿A方向布置的装配套137（装配套管），装配套137内设置有推杆132，推杆132沿A方向与装配套137滑动且密封装配，推杆132延伸至镀膜腔体110内的端部用于安装转料装置，推杆132延伸至装配套外侧的另一端与驱
动推杆132沿A方向移动的驱动机构135相连接。具体的如图4所示，将转料叉131安装在推杆132的一端部，推杆132的另一端杆身为管件构成，管件滑动套设在导杆133上，推杆132安装在活动支架136上，活动支架136沿A方向滑动装配在机架100上，活动支架136与驱动机构135相连接，驱动机构35具体可以为驱动电缸137构成。
[0023]详细的操作为：调节装置包括转送通道上设置的插板阀150。插板阀150具体可以为高真空插板阀150，镀膜装置为真空磁控溅射镀膜装置。镀膜腔体110内设置有镀膜载物台113，镀膜载物台113转动和升降式安装，镀膜载物台113上设置有镀膜加热组件，镀膜加热组件具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：包括镀膜腔体、渗氘腔体、转料装置，镀膜腔体为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体与镀膜装置相连接，渗氘腔体为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体与渗氘装置相连接，镀膜腔体和渗氘腔体之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。2.根据权利要求1所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：还包括载具，工件装配在载具上，转料装置用于实现载具在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移动。3.根据权利要求1或2所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：转送通道呈直线状，记转送通道的长度方向为A方向，移料装置沿A方向移动工件实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。4.根据权利要求3所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：载具上设置有装配槽，转料装置包括横状布置的U型的转料叉，转料叉沿A方向活动安装，转料叉插入装配槽内与载具进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，汪鹏，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：