一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统技术方案

本发明专利技术涉及极高真空离子泵领域，具体来说该发明专利技术是一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统。主要包括离子泵电源的开关机冲击测试、离子泵电源老化动态数据捕捉及记录、离子泵抽速测试动态数据捕捉、计算及记录、离子泵电源多元化通讯检测。其用法将该装置与测试或老化中的离子泵电源用通讯方式连接，打开对应界面(开关机冲击需设置运行参数)即可开始测试；测试后，将U盘插入该装置中，即可导出测试过程中的所有数据，以及测试分析结果包括：离子泵电源电流、电压、真空度、离子泵抽速等。本发明专利技术的优势在于测试数据的动态捕捉、自由设置测试参数、数据存储提高了数据记录质量且安装简单，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统


[0001]本专利技术适用于极高真空离子泵领域，具体来说该专利技术提出一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统与装置，可以对离子泵及其电源进行功能性、可靠性进行测试，以及将测试获取的数据进行记录

技术介绍

[0002]极高真空离子泵又称潘宁泵，是一种广泛使用的清洁真空泵。离子泵及其控制仪测试中常见的测试数据记录多以人工为主体，例如离子泵抽速测试时数据变化较快且计算复杂，导致人工记录的测试数据会存在偏差，且占用大量的人力、物力，得出的实验结果也很难让人信服。

技术实现思路

[0003]为了解决以上问题，本专利技术设计了一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统与装置，其功能包含了离子泵电源的开关机冲击测试、离子泵电源老化动态数据捕捉及记录、离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录、离子泵电源多元化通讯检测。
[0004]本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，包括：
[0005]离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于进行开关机冲击，使离子泵电源在设置周期内开启高压、关闭高压；
[0006]离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块，用于同时记录多台离子泵电源老化过程中的电压及电流数据；
[0007]离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录模块，用于动态捕捉真空计示数并计算出实时抽速并记录；
[0008]离子泵电源多元化通讯检测模块，用于对离子泵电源的RS232和RS485通讯功能性进行检测。
[0009]所述离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于：
[0010]利用软件计时器1限制总时长，再通过计时器2控制电源的开启及关闭时间，同时利用条件自主判断电源的当前状态从而开启或关闭电源直至运行时间大于计时器1则停止测试。
[0011]所述离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于：
[0012]1)判断该测试模块运行总时长是否小于等于软件计时器1设定时长；若是，则执行下一步骤；若否，则发送关闭高压指令输出至离子泵电源以关闭电源，测试结束；
[0013]2)判断离子泵高压开启或关闭的时间是否小于等于软件计时器2设定时长；若是，则监测当前离子泵电源状态；若当前高压状态为开，则发送关闭高压指令；若当前高压状态为关，则发送开启高压指令，且计时器2清零，重新开始计时；
[0014]3)返回步骤1)，直到该测试模块运行总时长大于软件计时器1设定时长，则发送关
闭高压指令输出至离子泵以关闭电源，测试结束。
[0015]所述离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块，用于：
[0016]通过与离子泵电源串口通讯的方式，读取电压、电流、真空度，并合并成组对象添加至表内，映射到屏幕上以实现实时数据观测；并将该组对象设置为周期5s记录一次当前数据并存盘，以便使用U盘导出数据。
[0017]所述离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录模块，用于：
[0018]使用RS485对两个真空计和离子泵电源进行通讯，分别读取真空度、以及离子泵电源的电压、电流，经过数据处理还原真空计的科学计数法，并对这两个真空计进行抽速运算得出当前实时抽速；
[0019]然后将真空计数值、抽速数据、离子泵电源的电流、电压合并成组对象添加至表内并映射到屏幕上从而实现实时数据观测，而且将该组对象设置为周期1s记录一次当前数据并存盘，以便后续使用U盘导出数据。
[0020]所述离子泵电源多元化通讯检测模块，用于：
[0021]首先，使用RS485的Modbus通讯协议与离子泵电源建立通讯；通过开关高压的指令控制离子泵电源，并读取其连锁状态、运行状态、远程状态，判断电源的RS485的Modbus通讯协议是否正常；若正常，则执行下一步骤；否则，表示需要对离子泵电源进行检修；
[0022]然后，切换离子泵电源通讯方式为RS485的Ascii码通讯方式，通过对应指令控制离子泵电源的开关高压、设置保护电流的功能是否正常；若正常，则执行下一步骤；否则，表示需要对离子泵电源进行检修；
[0023]最后，切换离子泵电源通讯方式为RS232的Ascii码通讯方式，通过对应指令控制离子泵电源的开关高压、设置保护电流的功能是否正常；若正常，则完成测试；否则，表示需要对离子泵电源进行检修。
[0024]一种新型适用于极高真空离子泵智能测试方法，包括以下步骤：
[0025]离子泵电源的开关机冲击测试模块进行开关机冲击，使离子泵电源在设置周期内开启高压、关闭高压；
[0026]离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块同时记录多台离子泵电源老化过程中的电压及电流数据；
[0027]离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录模块动态捕捉真空计示数并计算出实时抽速并记录；
[0028]离子泵电源多元化通讯检测模块对离子泵电源的RS232和RS485通讯功能性进行检测。
[0029]本专利技术具有以下有益效果及优点：
[0030]1.本专利技术提出一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统与装置。从现有技术出发，实现了测试数据自动化记录，储存以及计算等功能，大大提高了测试效率及测试数据统计与管理能力。
[0031]2.本专利技术实现离子泵电源在规定时间开启高压并在规定时间关闭高压，反复周期性冲击以检验电源可靠性，该功能可自动化，测试参数自由设置，从而对离子泵电源可靠性进行有效的检测。
[0032]3.本专利技术实现离子泵电源老化动态数据捕捉及记录可同时记录多台离子泵电源
老化过程中的电压及电流数据，即可实时检测多台离子泵电源的电压、电流数据，又可以进行数据记录并下载拷贝，使测试方面数据更加完整。
[0033]4.本专利技术实现离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录，在抽速测试过程中，可对实时真空计示数通过计算得出实时的抽速数据，并对真空计的真空度、离子泵电源的电流和电压、实时计算抽速等数据进行记录，保证测试数据的准确性，改善了数据质量。
[0034]5.本专利技术实现离子泵电源多元化通讯检测，对离子泵电源的RS232和RS485通讯功能进行检测。该系统会自动对比测试数据，系统也会自动记录并出具相应的测试报告用来证明该项测试通过，当某项测试未达标时，则出具该项测试不通过的报告，还会标注出具体不合格项。此报告可正常导出。
附图说明
[0035]图1为本专利技术离子泵电源的开关机冲击测试模块逻辑流程图；
[0036]图2为本专利技术离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块逻辑流程图；
[0037]图3为本专利技术离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录逻辑流程图；
[0038]图4为本专利技术离子泵电源多元化通讯检测逻辑流程图；
[0039]图5为本专利技术自动化测试离子泵及控制器同时进行数据记录的装置控制屏幕示意图；
[0040]图6为自动化测试离子泵及控制器同时进行数据记录的装置与真空系统的连接示意图；
[0041]其中，1—装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，包括：离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于进行开关机冲击，使离子泵电源在设置周期内开启高压、关闭高压；离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块，用于同时记录多台离子泵电源老化过程中的电压及电流数据；离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录模块，用于动态捕捉真空计示数并计算出实时抽速并记录；离子泵电源多元化通讯检测模块，用于对离子泵电源的RS232和RS485通讯功能性进行检测。2.根据权利要求1所述的一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，所述离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于：利用软件计时器1限制总时长，再通过计时器2控制电源的开启及关闭时间，同时利用条件自主判断电源的当前状态从而开启或关闭电源直至运行时间大于计时器1则停止测试。3.根据权利要求1或2所述的一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，所述离子泵电源的开关机冲击测试模块，用于：1)判断该测试模块运行总时长是否小于等于软件计时器1设定时长；若是，则执行下一步骤；若否，则发送关闭高压指令输出至离子泵电源以关闭电源，测试结束；2)判断离子泵高压开启或关闭的时间是否小于等于软件计时器2设定时长；若是，则监测当前离子泵电源状态；若当前高压状态为开，则发送关闭高压指令；若当前高压状态为关，则发送开启高压指令，且计时器2清零，重新开始计时；3)返回步骤1)，直到该测试模块运行总时长大于软件计时器1设定时长，则发送关闭高压指令输出至离子泵以关闭电源，测试结束。4.根据权利要求1所述的一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，所述离子泵电源老化动态数据捕捉及记录模块，用于：通过与离子泵电源串口通讯的方式，读取电压、电流、真空度，并合并成组对象添加至表内，映射到屏幕上以实现实时数据观测；并将该组对象设置为周期5s记录一次当前数据并存盘，以便使用U盘导出数据。5.根据权利要求1所述的一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，所述离子泵抽速测试动态数据捕捉和计算及记录模块，用于：使用RS485对两个真空计和离子泵电源进行通讯，分别读取真空度、以及离子泵电源的电压、电流，经过数据处理还原真空计的科学计数法，并对这两个真空计进行抽速运算得出当前实时抽速；然后将真空计数值、抽速数据、离子泵电源的电流、电压合并成组对象添加至表内并映射到屏幕上从而实现实时数据观测，而且将该组对象设置为周期1s记录一次当前数据并存盘，以便后续使用U盘导出数据。6.根据权利要求1所述的一种新型适用于极高真空离子泵智能测试系统，其特征在于，所述离子泵电源多元化通讯检测模块，用于：首先，使用RS485的Modbus通讯协议与离子泵电源建立通讯；通过开关高压的指令控制
离子泵电源，并读取其连锁状态、运行状态、远程状态，判断电源的RS485的Modbus通讯协议是否正常；若正常，则执行下一步骤；否则，表示需要对离子泵电源进行检修；然后，切换离子泵电源通讯方式为RS485的Ascii码通讯方式，通过对应指令控制离子泵电源的开关高压、设置保护电流的功能是否正常；若正常，则执行下一步骤；否则，表示需要...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜向辉，佟雷，叶琳琳，汪良，袁方，赵崇凌，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：