制造参考样本的方法、测量液滴的方法和测量液滴的装置制造方法及图纸

本申请涉及制造参考样本的方法、测量液滴的方法和用于测量液滴的装置。制造参考样本的方法包括：排放液滴；通过根据预定的周期针对限定在排放的液滴的下落路径上的虚构平面拍摄液滴，来获取多个拍摄图像；分析多个拍摄图像；以及基于分析多个拍摄图像的结果，将与液滴的下落路径对应的点标记在样本基板上。滴的下落路径对应的点标记在样本基板上。滴的下落路径对应的点标记在样本基板上。

【技术实现步骤摘要】
制造参考样本的方法、测量液滴的方法和测量液滴的装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年11月16日提交的第10
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2021
‑
0158047号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文中。


[0003]本专利技术的实施例涉及制造参考样本的方法、测量液滴的方法和用于测量液滴的装置。

技术介绍

[0004]半导体设备、显示设备和其它电子设备可以包括多个薄膜。多个薄膜可以通过诸如光刻和喷墨印刷的各种方法形成。

技术实现思路

[0005]在通过喷墨印刷形成薄膜的情况下，薄膜可以通过排放液滴形成。当所排放的液滴的量、沿其排放液滴的方向、所排放的液滴沿其下落的方向等可能不恒定时，通过液滴形成的薄膜的可靠性可能会降低。
[0006]本专利技术的实施例提供制造参考样本的方法，所述方法能够制造用于测量液滴排放装置的液滴排放特性的参考样本。
[0007]本专利技术的实施例提供液滴排放装置和简化且高精度的测量液滴的方法。
[0008]根据本专利技术的实施例，制造参考样本的方法包括：排放液滴；通过根据预定的周期针对限定在液滴的下落路径上的虚构平面拍摄液滴，获取多个拍摄图像；分析多个拍摄图像；以及基于分析多个拍摄图像的结果，将与液滴的下落路径对应的点标记在样本基板上。
[0009]在实施例中，获取多个拍摄图像可以包括：根据预定的周期在第一时间点和第一时间点之后的第二时间点时顺序地向虚构平面辐射光；以及通过接收穿过虚构平面的光，获取与虚构平面上的液滴对应的多个拍摄图像。
[0010]在实施例中，光可以在液滴从喷嘴排放的时间点到液滴的下落运动结束的时间点的时间段内辐射。
[0011]在实施例中，获取多个拍摄图像可以包括：在第一时间点时获取第一拍摄图像；以及在第二时间点时获取第二拍摄图像。
[0012]在实施例中，分析多个拍摄图像可以包括：基于多个拍摄图像提取与液滴的下落路径、液滴的下落速度和液滴的尺寸有关的信息。
[0013]在实施例中，分析多个拍摄图像可以包括：分析第一拍摄图像以分析液滴在第一时间点时的位置和尺寸；以及分析第二拍摄图像以分析液滴在第二时间点时的位置和尺寸。
[0014]在实施例中，标记与液滴的下落路径对应的点可以包括：基于与液滴在第一时间点时的位置和液滴在第二时间点时的位置对应的点，在样本基板上标记标志点。
[0015]在实施例中，标志点的形状可以与液滴的形状对应。
[0016]在实施例中，标志点可以包括阴影。
[0017]在实施例中，样本基板可以包括透光材料。
[0018]根据本专利技术的实施例，测量从喷嘴排放到基板上的液滴的方法包括：排放液滴；在液滴从喷嘴排放的时间点到液滴到达基板上的时间点的时间段内，根据预定的周期在基板和喷嘴之间辐射光；通过接收从光源辐射并且穿过朝向基板下落的液滴的光，获取液滴拍摄图像；以及将液滴拍摄图像与参考样本比较。参考样本可以包括基于与液滴的参考下落路径对应的点提供的标志点。
[0019]在实施例中，获取液滴拍摄图像可以包括：在第一时间点时获取第一液滴拍摄图像；以及在第一时间点之后的第二时间点时获取第二液滴拍摄图像。
[0020]在实施例中，标志点可以包括用于与液滴的在第一时间点时的参考下落路径对应的点的标志点和用于与液滴的在第二时间点时的参考下落路径对应的点的标志点。
[0021]在实施例中，将液滴拍摄图像与参考样本比较可以包括：将第一液滴拍摄图像上的液滴的位置和尺寸与对应于第一时间点的标志点的位置和尺寸比较；以及将第二液滴拍摄图像上的液滴的位置和尺寸与对应于第二时间点的标志点的位置和尺寸比较。
[0022]在实施例中，包括在参考样本中的标志点和液滴拍摄图像上的液滴中的每一个可以包括阴影。
[0023]根据本专利技术的实施例，用于测量从喷嘴排放到基板上的液滴的装置包括：光辐射器，在液滴从喷嘴排放的时间点到液滴到达基板上的时间点的时间段内，根据预定的周期在基板和喷嘴之间辐射光；成像发生器，接收从光辐射器辐射并且穿过朝向基板下落的液滴的光以产生液滴拍摄图像；以及液滴分析器，将液滴拍摄图像与参考样本比较。在这种实施例中，参考样本包括基于与液滴的参考下落路径对应的点提供的标志点。
[0024]在实施例中，成像发生器可以在第一时间点时产生第一液滴拍摄图像并且在第一时间点之后的第二时间点时产生第二液滴拍摄图像。
[0025]在实施例中，标志点可以包括用于与液滴的在第一时间点时的参考下落路径对应的点的标志点和用于与液滴的在第二时间点时的参考下落路径对应的点的标志点。
[0026]在实施例中，液滴分析器可以将第一液滴拍摄图像上的液滴的位置和尺寸与对应于第一时间点的标志点的位置和尺寸比较，并且将第二液滴拍摄图像上的液滴的位置和尺寸与对应于第二时间点的标志点的位置和尺寸比较。
[0027]在实施例中，包括在参考样本中的标志点和液滴拍摄图像上的液滴中的每一个可以包括阴影。
附图说明
[0028]通过参考附图更详细地描述本专利技术的实施例，本专利技术的以上和其它特征将变得更显而易见，在附图中：
[0029]图1是示出根据本专利技术的实施例的用于制造参考样本的装置的框图；
[0030]图2是示出包括在图1的用于制造参考样本的装置中的图像分析器的实施例的框图；
[0031]图3A和图3B是示出通过包括在图1的用于制造参考样本的装置中的成像发生器产
生的拍摄图像的实施例的图；
[0032]图4是示出通过图2的用于制造参考样本的装置产生的参考样本的实施例的图；
[0033]图5是示出根据本专利技术的实施例的制造参考样本的方法的流程图；
[0034]图6是示出根据本专利技术的实施例的用于测量液滴的装置的框图；
[0035]图7是用于解释图6的用于测量液滴的装置使用参考样本来测量所排放的液滴的操作的实施例的图；以及
[0036]图8是示出根据本专利技术的实施例的测量液滴的方法的流程图。
具体实施方式
[0037]在下文中，将参考在其中示出了各种实施例的附图更全面地描述本专利技术。然而，本专利技术可以以许多不同的形式实施，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施例。更确切地，提供这些实施例以使本公开将是透彻且完整的，并且将向本领域的技术人员充分传达本专利技术的范围。相同的附图标记始终表示相同的元件。
[0038]将理解的是，当元件被称为“在”另一元件“上”时，它可以直接在另一元件“上”或中间元件可以在它们之间。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。
[0039]将理解的是，尽管本文中可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或部分不应由这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、部件、区域、层或部分与另一元件、部件、区域、层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.制造参考样本的方法，所述方法包括：排放液滴；通过根据预定的周期针对限定在所述液滴的下落路径上的虚构平面拍摄所述液滴，获取多个拍摄图像；分析所述多个拍摄图像；以及基于分析所述多个拍摄图像的结果，将与所述液滴的所述下落路径对应的点标记在样本基板上。2.根据权利要求1所述的方法，其中，获取所述多个拍摄图像包括：根据所述预定的周期在第一时间点和所述第一时间点之后的第二时间点时顺序地向所述虚构平面辐射光；以及通过接收穿过所述虚构平面的所述光，获取与所述虚构平面上的所述液滴对应的所述多个拍摄图像。3.根据权利要求2所述的方法，其中，获取所述多个拍摄图像包括：在所述第一时间点时获取第一拍摄图像；以及在所述第二时间点时获取第二拍摄图像。4.根据权利要求3所述的方法，其中，分析所述多个拍摄图像包括：分析所述第一拍摄图像以分析所述液滴在所述第一时间点时的位置和尺寸；以及分析所述第二拍摄图像以分析所述液滴在所述第二时间点时的位置和尺寸，以及其中，标记与所述液滴的所述下落路径对应的所述点包括：基于与所述液滴在所述第一时间点时的所述位置和所述液滴在所述第二时间点时的所述位置对应的点，在所述样本基板上标记标志点。5.测量从喷嘴排放到基板上的液滴的方法，所述方法包括：排放所述液滴；在所述液滴从所述喷嘴排放的时间点到所述液滴到达所述基板上的时间点的时间段内，根据预定的周期在所述基板和所述喷嘴之间辐射光；通过接收从光源辐射并且穿过朝向所述基板下落的所述液滴的所述光，获取液滴拍摄图像；以及将所述液滴拍摄图像与参考样本比较，其中，所述参考样本包括基于与所述液滴的参考下落路径对应的点提供的标志点。6.根据权利要求5所述的方法，其中，获取所述液滴拍摄图像包括：在第一时间点时获取第一液滴拍摄图像；以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：高荣秀，李延载，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：