一种晶圆测试装置制造方法及图纸

本申请提供了一种晶圆测试装置，包括：第一安装板；测试板，安装于第一安装板上，测试板上设有用于对晶圆的性能进行测试并反馈至测试板的测试组件；测试板上还设有至少两个电连接器，电连接器与测试板电连接；至少两个测试盒，各测试盒分别安装于第一安装板上，各测试盒与各电连接器一一对应电连接；测试盒用于收集测试板的测试数据并反馈至上位机。本申请的晶圆测试装置，可以通过几个测试盒、测试板及测试组件即可完成晶圆的测试机数据收集，无需使用庞大的测试机来对晶圆进行测试，从而达到减少了晶圆的测试成本，减少了晶圆测试所需占用的空间，此外，该晶圆测试装置结构简单，便于维护。维护。维护。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试装置


[0001]本申请属于晶圆测试
，更具体地说，是涉及一种晶圆测试装置。

技术介绍

[0002]在晶粒的系统级测试前一般要进行晶圆测试，晶圆测试指的是位于晶圆上还未进行封装的晶粒的测试，其意义在于，在封装前检出晶圆(wafer)上的异常管芯(die)，从而降低封装成本提高后续FT(final test)测试的良率。
[0003]目前，晶圆测试领域一般使用一整套测试机对晶圆进行测试，不仅测试成本高，且占用空间大，此外，整套设备结构复杂不便于维护。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种晶圆测试装置，以解决现有技术中存在的使用一整套测试机对晶圆进行测试导致成本高、占用空间大且维护不便的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种晶圆测试装置，包括：
[0006]第一安装板；
[0007]测试板，安装于所述第一安装板上，所述测试板上设有用于对晶圆的性能进行测试并反馈至所述测试板的测试组件；所述测试板上还设有至少两个电连接器，所述电连接器与所述测试板电连接；
[0008]至少两个测试盒，各测试盒分别安装于所述第一安装板上，各所述测试盒与各所述电连接器一一对应电连接；所述测试盒用于收集所述测试板的测试数据并反馈至上位机。
[0009]在一种可能的设计中，所述晶圆测试装置还包括拆装机构，所述测试盒通过所述拆装机构可拆卸地安装于所述第一安装板上。
[0010]在一种可能的设计中，所述拆装机构包括：
[0011]固定座，所述固定座安装于所述第一安装板上；
[0012]升降机构，所述升降机构安装于所述固定座上并能够输出升降运动，所述测试盒可拆卸地安装于所述升降机构的输出端；
[0013]导向组件，所述导向组件用于对所述测试盒的升降运动进行导向。
[0014]在一种可能的设计中，所述升降机构包括：
[0015]旋转手柄，所述旋转手柄能够在外力驱动下旋转；
[0016]转动件，与所述旋转手柄连接，并能够被所述旋转手柄带动旋转；
[0017]移动件，与所述转动件连接，所述移动件用于将所述转动件的旋转运动转化成直线运动，所述测试盒安装于所述移动件上。
[0018]在一种可能的设计中，所述拆装机构还包括滑板，所述滑板贴设于所述测试盒的外侧壁上，所述滑板与所述升降机构的输出端连接；
[0019]所述拆装机构包括至少两组导向组件，各所述导向组件沿所述测试盒的宽度方向
间隔分布，所述导向组件连接于所述滑板与所述固定座之间。
[0020]在一种可能的设计中，所述拆装机构还包括至少两根导向杆，各所述导向杆分布于各所述导向组件的相对两侧；所述导向杆的一端固定于所述第一安装板上，所述导向杆的另一端与所述滑板导向配合。
[0021]在一种可能的设计中，所述导向组件包括：
[0022]滑轨，所述滑轨安装于所述固定座上；
[0023]滑块，所述滑块安装于所述滑板上，所述测试盒通过紧固件锁紧固定于所述滑板上。
[0024]在一种可能的设计中，所述测试组件包括：
[0025]光源，安装于所述测试板上，所述光源能够在所述上位机的控制下实现开、关及亮暗程度，所述光源用于照射在所述晶圆上；
[0026]若干探针，安装于所述测试板上并与所述测试板电连接，所述探针用于与所述晶圆上的晶粒电连接以测试所述晶粒在不同光照下的性能。
[0027]在一种可能的设计中，所述光源朝向所述晶圆的一侧设有多个镜头，各所述镜头用于将所述光源发出的光线进行处理并集中照射在所述晶圆上。
[0028]在一种可能的设计中，所述测试板上设有限位板，所述限位板为绝缘结构，所述限位板上开设有多个第一限位孔及多个第二限位孔，各所述第一限位孔与各所述镜头一一对应设置，所述镜头贯穿所述第一限位孔设置；每个所述第一限位孔的一周围设于有多个所述第二限位孔，每个所述第二限位孔用于定位若干所述探针以保证所述探针的水平度。
[0029]本申请提供的晶圆测试装置的有益效果在于：本申请实施例提供的晶圆测试装置，通过将测试板及至少两个测试盒集成安装在第一安装板上，通过测试组件对晶圆进行测试并将测试数据反馈至测试板，测试板将测试数据进行分组并分别通过电连接器传输至测试盒，最后测试盒将收集到的数据反馈至上位机，如此设置，可以通过几个测试盒、测试板及测试组件即可完成晶圆的测试机数据收集，无需使用庞大的测试机来对晶圆进行测试，从而达到减少了晶圆的测试成本，减少了晶圆测试所需占用的空间，此外，该晶圆测试装置结构简单，便于维护。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本申请实施例提供的晶圆测试装置的正面示意图；
[0032]图2为本申请实施例提供的晶圆测试装置与晶圆的组合示意图；
[0033]图3为本申请实施例提供的晶圆测试装置的背面示意图；
[0034]图4为图3中A局部的放大示意图；
[0035]图5为本申请实施例提供的晶圆测试装置的分解示意图；
[0036]图6为图1中第一安装板、第二安装板、安装架、光源及电连接器的装配示意图；
[0037]图7为图1中第一安装板、测试盒及拆装机构的装配示意图；
[0038]图8为图7中第一安装板与拆装机构的装配示意图；
[0039]图9为图8中拆装结构的结构示意图。
[0040]其中，图中各附图标记：
[0041]1、第一安装板；11、第一通槽；2、测试板；3、测试组件；31、光源；32、镜头；33、探针；34、安装架；35、限位板；351、第一限位孔；352、第二限位孔；4、测试盒；5、电连接器；6、第二安装板；61、第二通槽；7、拆装机构；71、固定座；72、升降机构；721、旋转手柄；722、减速器；723、连接座；724、转动件；725、移动件；73、导向组件；731、滑轨；732、滑块；74、滑板；75、导向杆；8、安装座；200、晶圆。
具体实施方式
[0042]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0043]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0044]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括：第一安装板；测试板，安装于所述第一安装板上，所述测试板上设有用于对晶圆的性能进行测试并反馈至所述测试板的测试组件；所述测试板上还设有至少两个电连接器，所述电连接器与所述测试板电连接；至少两个测试盒，各测试盒分别安装于所述第一安装板上，各所述测试盒与各所述电连接器一一对应电连接；所述测试盒用于收集所述测试板的测试数据并反馈至上位机。2.如权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述晶圆测试装置还包括拆装机构，所述测试盒通过所述拆装机构可拆卸地安装于所述第一安装板上。3.如权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述拆装机构包括：固定座，所述固定座安装于所述第一安装板上；升降机构，所述升降机构安装于所述固定座上并能够输出升降运动，所述测试盒可拆卸地安装于所述升降机构的输出端；导向组件，所述导向组件用于对所述测试盒的升降运动进行导向。4.如权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述升降机构包括：旋转手柄，所述旋转手柄能够在外力驱动下旋转；转动件，与所述旋转手柄连接，并能够被所述旋转手柄带动旋转；移动件，与所述转动件连接，所述移动件用于将所述转动件的旋转运动转化成直线运动，所述测试盒安装于所述移动件上。5.如权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述拆装机构还包括滑板，所述滑板贴设于所述测试盒的外侧壁上，所述滑板与所述升降机构的输出端连接；所述拆装机构包括至少两组导向组件，各所述导向组件沿所述测试盒...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨建设，张雅凯，贾勇，
申请(专利权)人：思特威上海电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：