四氯化硅的纯化系统和方法技术方案

本发明专利技术提供了一种四氯化硅的纯化系统和方法。本申请提供的四氯化硅的纯化系统包括催化反应单元和精馏纯化单元，催化反应单元包括气相反应器，用于将气相的待纯化四氯化硅与氯化氢在催化剂的作用下反应，得到纯化四氯化硅和低沸物的混合物，将纯化四氯化硅和低沸物的混合物进行精馏分离，得到纯化四氯化硅。本申请提供的四氯化硅的纯化系统催化反应单元将待纯化四氯化硅中的甲基氯硅烷催化转化为四氯化硅和低沸物，再通过精馏纯化单元将四氯化硅与低沸物精馏分离，得到纯化四氯化硅和低沸物，系统简单，工艺流程短，能够适用于工业化生产，同时还避免剧毒物氯气的使用，更安全环保。更安全环保。更安全环保。

【技术实现步骤摘要】
四氯化硅的纯化系统和方法


[0001]本专利技术涉及四氯化硅纯化领域，具体而言，涉及一种四氯化硅的纯化系统和方法。

技术介绍

[0002]纯化四氯化硅是光纤预制棒的主要原料，同时，也在半导体制造中作为外延沉积的原料，碳和氢含量是纯化四氯化硅的重要指标，主要以甲基氯硅烷形式存在，直接影响产品的质量。
[0003]目前四氯化硅的纯化主要有常规精馏，光催化氯化反应，常规精馏是通过设置串联的精馏塔，采用物理的方法，根据杂质组分和四氯化硅的沸点不同，通过多级精馏进行分离纯化，因三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷与四氯化硅沸点接近，会与四氯化硅形成共沸物，依靠常规精馏分离难度大，需要设置多级精馏塔串联提纯，工艺流程长，系统投资高，且最终杂质组分分离效果受限。例如：专利201110101343.3采用连续精馏方法制备光纤用纯化四氯化硅，将工业级四氯化硅先脱轻组分再进入脱重塔脱掉重组分，继续进入减压精馏塔，进一步分离出难分离的轻组分，侧线采出光纤用纯化四氯化硅。专利200910068887.7采用连续共沸脱轻精馏方法进行光纤四氯化硅的制备，系统配置三台精馏塔进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种四氯化硅的纯化系统，其特征在于，所述纯化系统包括：催化反应单元，所述催化反应单元包括气相反应器(21)，所述气相反应器(21)中装填有催化剂，所述气相反应器(21)用于将气相的待纯化四氯化硅与氯化氢混合在催化剂的作用下进行反应，得到纯化四氯化硅和低沸物的混合物；精馏纯化单元，所述精馏纯化单元包括精馏塔(31)，所述精馏塔(31)与所述气相反应器(21)连接，用于将所述纯化四氯化硅和低沸物的混合物进行精馏分离，得到纯化四氯化硅和低沸物。2.根据权利要求1所述的纯化系统，其特征在于，所述纯化系统还包括原料供应单元，所述原料供应单元包括氯化氢储罐(12)、待纯化四氯化硅储罐(11)和汽化器(13)，所述氯化氢储罐(12)和所述待纯化四氯化硅储罐(11)分别与所述汽化器(13)连接，所述汽化器(13)与所述气相反应器(21)连接。3.根据权利要求1所述的纯化系统，其特征在于，所述精馏纯化单元还包括低沸物储罐，所述低沸物储罐与所述精馏塔(31)的气相出口连接，用于储存所述精馏塔(31)排出的所述低沸物；优选地，所述低沸物储罐与所述精馏塔(31)之间的管线上设置有冷凝器(32)。4.根据权利要求1所述的纯化系统，其特征在于，所述精馏纯化单元还包括纯化四氯化硅储罐，所述纯化四氯化硅储罐与所述精馏塔(31)的液相出口连接，用于储存所述精馏塔(31)排出的所述纯化四氯化硅；优选地，所述精馏纯化单元还包括再沸器(33)，所述再沸器(33)设置于所述精馏塔(31)与所述纯化四氯化硅储罐之间的管线上，且所述再沸器(33)还与所述精馏塔(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：万烨，刘见华，常欣，赵雄，严大洲，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司中国有色工程有限公司，
类型：发明
国别省市：