下载四氯化硅的纯化系统和方法的技术资料

文档序号:37607511

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本发明提供了一种四氯化硅的纯化系统和方法。本申请提供的四氯化硅的纯化系统包括催化反应单元和精馏纯化单元,催化反应单元包括气相反应器,用于将气相的待纯化四氯化硅与氯化氢在催化剂的作用下反应,得到纯化四氯化硅和低沸物的混合物,将纯化四氯化硅和低...
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